一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构的制作方法

文档序号:13670129阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构,其特征在于:包括石墨托盘、衬底架外框片槽、衬底外框安装留槽、衬底架石墨外框、石墨衬底架、方形片槽、衬底块安装留槽、方块衬底,圆形衬底和石墨垫片,所述石墨托盘上设置有三个正六边形的衬底架外框片槽,所述衬底架外框片槽的边缘上设置多个所述衬底外框安装留槽,所述衬底架石墨外框为三个,三个所述衬底架石墨外框位于所述衬底架外框片槽内,所述石墨衬底架为圆形,所述石墨衬底架位于所述衬底架石墨外框内,所述石墨衬底架内的底部设置所述石墨垫片,所述石墨垫片上设置有所述圆形衬底,所述圆形衬底上设置有四个正方形的方形片槽,所述方形片槽的边缘设置所述衬底块安装留槽,所述方块衬底位于所述方形片槽内。

2.根据权利要求1所述的一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构,其特征在于:所述方形片槽的一侧且位于所述圆形衬底上设置有衬底编号刻码。

3.根据权利要求1所述的一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构,其特征在于:所述衬底架外框片槽的一侧且位于所述石墨托盘上设置有衬底架片槽编号刻码。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1