技术总结
本实用新型公开了一种可在不同衬底块同步生长的两用MOCVD衬底架托盘结构，包括石墨托盘、衬底架外框片槽、衬底外框安装留槽、衬底架石墨外框、石墨衬底架、方形片槽、衬底块安装留槽、方块衬底，圆形衬底和石墨垫片，与现有技术相比，本实用新型让生长人员可以根据自己的需要，既可以将已经切割成块的衬底直接生长外延结构，也可以照传统的方法在一整块圆衬底上先生长完外延结构再切割，而且还可以将不同衬底在相同条件下生长的外延结构同时进行材料测试和器件性能测试的对比，新旧工艺非常兼容，而且很便于生长者根据实际需要选择方案生长及研究不同衬底对生长结果的影响等问题。
技术研发人员：宋亚峰;杨超普;曹娜;宋如普;苏淑英;宋亚光
受保护的技术使用者：商洛学院;宋亚峰
文档号码：201720575271
技术研发日：2017.05.23
技术公布日：2018.02.09