镜501沿其光轴方向运动的调焦控制操作，以设定聚焦状态。
[0268]根据本技术的实施例的电子设备500，能够使固体摄像装置503中的摄像像素的敏感度和相位差检测像素的AF性能最优化，且作为结果，图像质量就得以提高。
[0269]本技术的实施例不局限于上述的各实施例，并且能够在不脱离本技术的范围的范围内进行各种变形。
[0270]本发明能够采取如下的技术方案。
[0271](I) 一种固体摄像装置，其包括:
[0272]摄像像素，它包括接收入射光的光电转换部；以及
[0273]相位差检测像素，它包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，
[0274]其中所述摄像像素还包括高折射率膜，所述高折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧，并且
[0275]所述相位差检测像素还包括低折射率膜，所述低折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧。
[0276](2)根据⑴所述的固体摄像装置，
[0277]其中所述摄像像素和所述相位差检测像素分别包括被形成于所述高折射率膜和所述低折射率膜的上层处的彩色滤光片层，并且
[0278]所述高折射率膜和所述低折射率膜还起到平坦化膜的作用。
[0279](3)根据⑵所述的固体摄像装置，
[0280]其中所述低折射率膜被形成得覆盖所述高折射率膜并且起到所述平坦化膜的作用。
[0281](4)根据⑵所述的固体摄像装置，
[0282]其中所述高折射率膜被形成得覆盖所述低折射率膜并且起到所述平坦化膜的作用。
[0283](5)根据⑴至(4)中任一项所述的固体摄像装置，
[0284]其中所述高折射率膜的折射率比所述低折射率膜的折射率高出0.1以上的值。
[0285](6)根据(5)所述的固体摄像装置，
[0286]其中所述高折射率膜的折射率被设定为从1.5至2.0范围内的值。
[0287](7)根据(5)所述的固体摄像装置，
[0288]其中所述低折射率膜的折射率被设定为从1.1至1.5范围内的值。
[0289](8)根据⑴至(7)中任一者所述的固体摄像装置，
[0290]其中所述高折射率膜和所述低折射率膜中的任一者或两者是由具有感光性的材料形成的。
[0291](9)根据⑴至⑶中任一者所述的固体摄像装置，
[0292]其中所述高折射率膜或所述低折射率膜被形成得具有如凸透镜形状一样的截面形状。
[0293](10)根据⑴至(9)中任一者所述的固体摄像装置，
[0294]其中所述摄像像素和所述相位差检测像素分别包括处于所述彩色滤光片层的上侧的微透镜，并且
[0295]在所述摄像像素和所述相位差检测像素中，所述微透镜是以同一形式而被形成的。
[0296](11) 一种固体摄像装置制造方法，所述固体摄像装置包括摄像像素和相位差检测像素，所述摄像像素包括接收入射光的光电转换部，所述相位差检测像素包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，所述方法包括:
[0297]在所述摄像像素中的所述光电转换部的上侧形成高折射率膜；并且
[0298]在所述相位差检测像素中的所述光电转换部的上侧形成低折射率膜。
[0299](12) 一种电子设备，其包括固体摄像装置，
[0300]所述固体摄像装置包括:
[0301]摄像像素，它包括接收入射光的光电转换部；以及
[0302]相位差检测像素，它包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，
[0303]其中所述摄像像素还包括高折射率膜，所述高折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧，并且
[0304]所述相位差检测像素还包括低折射率膜，所述低折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧。
[0305]除了上述的技术方案之外，本发明还能够采取如下的技术方案。
[0306](I) 一种固体摄像装置，其包括:
[0307]摄像像素，它包括接收入射光的光电转换部和被形成于所述光电转换部的上侧的彩色滤光片；以及
[0308]相位差检测像素，它包括所述光电转换部、所述彩色滤光片和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，
[0309]其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片被形成为具有比所述摄像像素中所包括的所述彩色滤光片的膜厚小的膜厚。
[0310](2)根据⑴所述的固体摄像装置，
[0311]其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片被形成为与所述摄像像素中所包括的某一种颜色的所述彩色滤光片具有相同颜色的彩色滤光片。
[0312](3)根据⑵所述的固体摄像装置，
[0313]其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片被形成为红色滤光片、绿色滤光片和蓝色滤光片中的任意一者。
[0314](4)根据⑵所述的固体摄像装置，
[0315]其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片被形成为白色滤光片。
[0316](5) 一种固体摄像装置制造方法，所述固体摄像装置包括摄像像素和相位差检测像素，所述摄像像素包括接收入射光的光电转换部和被形成于所述光电转换部的上侧的彩色滤光片，所述相位差检测像素包括所述光电转换部、所述彩色滤光片和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，所述方法包括:
[0317]将所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片形成得具有比所述摄像像素中所包括的所述彩色滤光片的膜厚小的膜厚。
[0318](6)根据(5)所述的固体摄像装置制造方法，其还包括:
[0319]通过使用具有使其中形成有所述摄像像素的区域曝光的第一曝光图案的第一掩模板，对彩色滤光片材料进行曝光；并且
[0320]通过使用具有使其中形成有所述相位差检测像素的区域曝光的第二曝光图案的第二掩模板，用与使用所述第一掩模板时的情况不同的曝光条件对所述彩色滤光片材料进行曝光。
[0321](7)根据(5)所述的固体摄像装置制造方法，其还包括:
[0322]通过使用具有第一曝光图案和第二曝光图案的灰度掩模，对彩色滤光片材料进行曝光，所述第一曝光图案用于使其中形成有所述摄像像素的区域曝光，所述第二曝光图案用于使其中形成有所述相位差检测像素的区域曝光，并且所述第二曝光图案具有与所述第一曝光图案的透光率不同的透光率。
[0323](8) 一种电子设备，其包括固体摄像装置，
[0324]所述固体摄像装置包括:
[0325]摄像像素，它包括接收入射光的光电转换部和被形成于所述光电转换部的上侧的彩色滤光片；以及
[0326]相位差检测像素，它包括所述光电转换部、所述彩色滤光片和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，
[0327]其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片被形成为具有比所述摄像像素中所包括的所述彩色滤光片的膜厚小的膜厚。
[0328]本领域技术人员应当理解，依据设计要求和其他因素，可以在本发明随附的权利要求或其等同物的范围内进行各种修改、组合、次组合以及改变。
[0329]相关申请的交叉参考
[0330]本申请要求2013年12月18日提交的日本优先权专利申请案JP2013-260785和2014年3月28日提交的日本优先权专利申请案JP2014-067809的权益，因此将这两个优先权申请的全部内容以引用的方式并入本文中。
【主权项】
1.一种固体摄像装置，其包括: 摄像像素，所述摄像像素包括接收入射光的光电转换部；以及 相位差检测像素，所述相位差检测像素包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分， 其中所述摄像像素还包括高折射率膜，所述高折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧，并且 所述相位差检测像素还包括低折射率膜，所述低折射率膜被形成于所述光电转换部的上侧。
2.根据权利要求1所述的固体摄像装置， 其中所述遮光部的开口的尺寸是所述光电转换部的受光区域的大致一半。
3.根据权利要求1所述的固体摄像装置， 其中所述摄像像素和所述相位差检测像素分别包括被形成于所述高折射率膜和所述低折射率膜的上层处的彩色滤光片层，并且 所述高折射率膜或所述低折射率膜还起到平坦化膜的作用。
4.根据权利要求3所述的固体摄像装置， 其中所述相位差检测像素中所包括的所述彩色滤光片层被形成为具有比所述摄像像素中所包括的所述彩色滤光片层的膜厚小的膜厚。
5.根据权利要求3所述的固体摄像装置， 其中所述低折射率膜被形成得覆盖所述高折射率膜并且还起到所述平坦化膜的作用。
6.根据权利要求3所述的固体摄像装置， 其中所述高折射率膜被形成得覆盖所述低折射率膜并且还起到所述平坦化膜的作用。
7.根据权利要求1所述的固体摄像装置， 其中所述高折射率膜的折射率比所述低折射率膜的折射率高出0.1以上的值。
8.根据权利要求7所述的固体摄像装置， 其中所述高折射率膜的折射率被设定为从1.5到2.0范围内的值。
9.根据权利要求7所述的固体摄像装置， 其中所述低折射率膜的折射率被设定为从1.1到1.5范围内的值。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的固体摄像装置， 其中所述高折射率膜和所述低折射率膜中的任一者或两者是由具有感光性的材料形成的。
11.根据权利要求1至9中任一项所述的固体摄像装置， 其中所述高折射率膜或所述低折射率膜被形成得具有如凸透镜形状一样的截面形状。
12.根据权利要求1至9中任一项所述的固体摄像装置， 其中所述摄像像素和所述相位差检测像素分别包括处于所述彩色滤光片层的上侧的微透镜，并且 在所述摄像像素和所述相位差检测像素中，所述微透镜以同一形式而被形成。
13.—种固体摄像装置制造方法，所述固体摄像装置包括摄像像素和相位差检测像素，所述摄像像素包括接收入射光的光电转换部，所述相位差检测像素包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分，所述方法包括:在所述摄像像素中的所述光电转换部的上侧形成高折射率膜；并且在所述相位差检测像素中的所述光电转换部的上侧形成低折射率膜。
14.一种电子设备，其包括权利要求1至12中任一项所述的固体摄像装置。
【专利摘要】本发明提供了固体摄像装置、固体摄像装置制造方法和电子设备。所述固体摄像装置包括：摄像像素，其包括接收入射光的光电转换部；以及相位差检测像素，其包括所述光电转换部和遮光部，所述遮光部遮挡向所述光电转换部入射的光的一部分。在所述固体摄像装置中，所述摄像像素还包括被形成于所述光电转换部的上侧的高折射率膜，并且所述相位差检测像素还包括被形成于所述光电转换部的上侧的低折射率膜。本发明能够使所述摄像像素的敏感度和所述相位差检测像素的AF性能最优化。
【IPC分类】H01L27-146
【公开号】CN104733482
【申请号】CN201410766332
【发明人】关勇一, 井上俊徳, 狭山征博, 中元幸香
【申请人】索尼公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2014年12月11日
【公告号】US20150171126