（甲基）丙烯酸酯和如异十二烷二（甲基）丙烯酸酯、异十六烷二 (甲基）丙烯酸酯、异十八烷二（甲基）丙烯酸酯、2, 2, 4-三甲基-1，3-戊二醇二（甲基） 丙烯酸酯和2-丁基-2-乙基-1，3-丙二醇二（甲基）丙烯酸酯等支链丙烯酸类单体中的 至少一种。
17. 根据权利要求13所述的压印用固化性组合物，其中所述A组分包括1，10-癸二醇 二丙烯酸酯。
18. -种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其特征在于，其包含： 至少一种（甲基）丙烯酸酯单体作为A组分；和 聚合引发剂作为B组分， 其中所述A组分的单体的至少一种存在具有以下通式化学式2和化学式3的结构，且 所述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下， [化学式2]
19. 根据权利要求18所述的压印用固化性组合物，其中所述通式化学式2中的n为4 以下。
20. 根据权利要求18所述的压印用固化性组合物，其中所述A组分包括选自丙烯酸 2-苯氧基乙酯、苯氧基聚（乙二醇）丙烯酸酯、苯氧基聚（乙二醇）二丙烯酸酯、烷基苯氧 基聚（乙二醇）丙烯酸酯、烷基苯氧基聚（乙二醇）二丙烯酸酯和3-苯氧基-1，2-丙烷二 丙烯酸酯中的至少一种。
21. 根据权利要求18所述的压印用固化性组合物，其中所述A组分包括丙烯酸2-苯氧 基乙醋。
22. 根据权利要求8所述的压印用固化性组合物，其中 所述最大冷凝性气体溶解度，即气体八固化性组合物+气体）以g/g计为〇. 1以上且 0.4以下，且 所述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下， 其中所述最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g所述固化性组合物装入9ml棕 色瓶，在23°C、Iatm下测量在以0.lL/min的流量使所述冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之 后所述固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以所述固化性组合物 和所述冷凝性气体的总重量。
23. 根据权利要求1所述的压印用固化性组合物，其中固化物的表面粗糙度PV，即峰至 谷为4nm以下。
24. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下，以及 将所述冷凝性气体引入所述模具与所述固化性组合物之间，使得所述压印用固化性组 合物的冷凝性气体溶解度，即气体八固化性组合物+气体）以g/g计为〇. 1以上且〇. 4以 下。
25. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物的最大冷凝性气体溶解度，即气体八固化性组合物+气 体）以g/g计为〇. 1以上且0.4以下且在23°C下的粘度为40cP以下。
26. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物含有 至少一种（甲基）丙烯酸酯单体作为A组分，和 聚合引发剂作为B组分，并且 所述A组分具有碳原子环结构；并且 所述环结构的碳量Mra与所述A组分的碳总量MTOT之间的关系满足下式数学式1，且所 述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下， 0. 3<Mce/MT0T^ 0. 8 数学式 1。
27. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物含有 至少一种（甲基）丙烯酸酯单体作为A组分，和 聚合引发剂作为B组分，并且 所述冷凝性气体与所述A组分的单体之间的汉森距离Ra'和所述单体的分子量MW满 足下式数学式6,以及所述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下， 800〈Ra' *MW〈3800,单位为（MPa)1/2,数学式 6。
28. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物含有至少两种（甲基）丙烯酸酯单体， 所述单体之间的最大冷凝性气体溶解度，即气体八固化性组合物+气体）以g/g计的 差为0.23以下，以及 所述压印用固化性组合物在23°C下的粘度为40cP以下。
29. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物含有 至少一种（甲基）丙烯酸酯单体作为A组分，和 聚合引发剂作为B组分，并且 所述A组分的单体的至少一种在23°C下的粘度为40cP以下并且包括具有其中n为9 以上的通式化学式1的结构。
30. -种压印方法，其用于通过在设置在基板上的压印用固化性组合物与具有表面凹 凸的模具接触的同时、使用光照射所述固化性组合物，并将所述模具从所述固化性组合物 的固化物脱模而形成固化物的图案，其特征在于，所述压印方法包括： 在冷凝性气体气氛中使所述模具与所述固化性组合物接触， 其中所述压印用固化性组合物含有 至少一种（甲基）丙烯酸酯单体作为A组分，和 聚合引发剂作为B组分，和 所述A组分的单体的至少一种在23°C下的粘度为40cP以下并且包括具有其中n为4 以下的通式化学式2和化学式3的结构。
31. 根据权利要求24所述的压印方法，其中所述冷凝性气体的沸点在-KTC~23°C范 围内。
32. 根据权利要求24所述的压印方法，其中所述冷凝性气体在23°C下的饱和蒸气压在 0. 1~0. 4MPa的范围内。
33. 根据权利要求24所述的压印方法，其进一步包括将所述压印用固化性组合物放置 在所述基板上，其中所述压印用固化性组合物的所述放置包括使用喷墨法将所述固化性组 合物的多个液滴互相分离地配置在所述基板上。
34. -种制造制品的方法，其特征在于，其包括： 使用根据权利要求24所述的压印方法在基板上形成固化性组合物的固化物的图案； 和 加工已形成有图案的基板。
【专利摘要】一种在冷凝性气体气氛下进行压印的压印用固化性组合物，其中最大冷凝性气体溶解度(气体/(固化性组合物+气体))(g/g)为0.1以上且0.4以下，且压印用固化性组合物在23℃下的粘度为40cP以下。最大冷凝性气体溶解度通过以下来测定：将3g固化性组合物装入9ml棕色瓶，在23℃、1atm下测量在以0.1L/min的流量使冷凝性气体鼓泡15分钟之前和之后固化性组合物的重量，并且将由于鼓泡所引起的增加的重量除以固化性组合物和冷凝性气体的总重量。
【IPC分类】H01L21-027, B29K33-04, C08F20-18, B29C59-02
【公开号】CN104823264
【申请号】CN201380062492
【发明人】千叶启子, 伊藤俊树, 饭村晶子, 川崎阳司, 山下敬司, 加藤顺
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2015年8月5日
【申请日】2013年11月26日
【公告号】EP2907156A1, WO2014084395A1