料制成，从而通过导电销组件并沿着建立于卡盘内的导电路径将静电荷耗散。替代地，不锈钢或类似的导电嵌体3-7被安装在销组件3的主轴中的盲孔内，并暴露在销组件的接触导电滚针轴承3-3的底部处。
[0061]放电路径通过金属弹簧3-5延续至固定到基体9的导电板9-1和9-3，并最终至接地。
[0062]尽管传统上由绝缘材料制成的卡盘主体的盖5与晶片并没有互相接触，且尽管在本实施方式中设有从晶片通到且经过夹紧销的导电路径，但卡盘主体的盖5仍会导致静电荷积聚在芯片上。因此，在本实施方式中，盖5被制成以便包括面对晶片的导电材料，并设有由该导电材料通到接地的导电路径。
[0063]因此，再次参照图5，另一个导电路径被设置为自卡盘盖5 (或者由导电材料制成的卡盘盖的一部分)延伸至安装于盖5的下表面的上弹簧座5-3并继续经由螺旋弹簧5-5及安装于导电条9-3的下弹簧座5-7，而从该导电条9-3开始该导电路径与如上所述的前述路径相同。在图5中更需注意的是，每个弹簧5-5穿过对应的形成于环形齿轮7中的开孔。不用说，前述的第一及该第二导电路径中涉及的每个组件本身全部或部分导电而足以建立所讨论的导电路径。
[0064]如果需要的话，上弹簧座5-3与下弹簧座5-7可以采取环状或多元环段的形式，例如，与卡盘的旋转轴线同轴地设置，从而容纳多个弹簧5-5。
[0065]因此，卡盘I任选地提供至少一个额外的导电路径，该导电路径经过弹簧座5-3、弹簧5-5、弹簧座5-7及导电条9-3以及任选地从一个或多个销组件开始，经过滚针轴承3-3、螺旋弹簧3-5、弹簧座9-1及导电条9-3。上述导电路径中的每一个均可例如连接于卡盘电动机，并且再向前连接至电气接地端，举例来说，通过与相关的装置结构或其它合适的接地端的电气连接而连接至电气接地端。
[0066]应当了解的是，除了金属元件或者代替金属元件，任何具有足够导电性的相对导电塑料材料都可以用于形成前述导电路径。例如，合适的导电塑料材料包括混合了导电碳的聚偏二氟乙烯，例如市售的商品名为SMONA PVDF-EL的商品，其被报导过在DIN IEC60093的测量方式下，显示出的体积电阻率及表面电阻率分别彡106ohm*cm及彡106ohm。其它的相对导电塑料材料包含碳填充的乙烯-四氟乙烯共聚物，例如市售的商品名为FIuonLM-ETFE AH-3000的商品；以及碳纤维填充的全氟烷氧基树脂，例如由Dupont所销售的且商品名为VESPEL CR-6110的商品，其包含由碳纤维片及聚合物层所组成的混合物，并被认为在这些层的方向中，显示出的体积电阻率及表面电阻率分别约为KT1Ohn^cm及lO'hm，而在垂直于这些层的方向中，显示出的体积电阻率及表面电阻率分别约为10°Ohm*cm及11ohm0
[0067]虽然本发明已结合各种优选的实施方式进行描述，但应理解的是，这些实施方式仅供说明本发明，而不应用作借口来限制由所附权利要求的真正范围及精神所赋予的保护范围。
【主权项】
1.一种用于处理晶片状物品的装置，其包括适于在将在具有预定直径的晶片状物品上执行的处理操作期间容纳和旋转该晶片状物品的旋转卡盘，以及围绕所述旋转卡盘的液体收集器，所述液体收集器包括第一内表面，其中所述第一内表面包括第一导电材料，并且其中所述收集器还包括用于使所述第一导电材料接地的第一导电路径。
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述液体收集器包括至少两个层，并且其中所述旋转卡盘相对于所述液体收集器是能垂直移动的，以便将安装在所述旋转卡盘上的晶片定位于所述至少两个层中所选择的一个层处。
3.根据权利要求1所述的装置，其中所述液体收集器的不同于所述第一内表面的面对所述旋转卡盘的表面是由非导电塑料制成。
4.根据权利要求3所述的装置，其中所述非导电塑料包括选自以下成员中的一种或多种成员:聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基树脂(PFA)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯/聚乙基苯乙烯(PS/PES)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、三氟氯乙烯的均聚物(PCTFE)、聚全氟乙丙烯(FEP)和乙烯三氟氯乙烯(ECTFE)。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述非导电塑料包括PCTFE。
6.根据权利要求1所述的装置，其中所述液体收集器包括向内的挡板，并且其中所述第一导电材料被镶嵌在所述向内的挡板中。
7.根据权利要求2所述的装置，其中所述液体收集器包括在所述至少两个层中最上面的一个层处的向内的挡板，并且其中所述第一导电材料被镶嵌在所述向内的挡板中。
8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一导电材料为导电聚合物。
9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一导电材料为不锈钢。
10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一导电材料包括被环形地布置在所述液体收集器的所述第一内表面中的多个导电元件。
11.根据权利要求1所述的装置，其中所述旋转卡盘包括适配和定位的多个销组件，以便支撑待处理的晶片状物品，其中所述销组件中的至少一个销组件由化学惰性材料制成并且在一端包括导电嵌体，所述嵌体适于与轴承元件通过物理方式和电气方式啮合。
12.根据权利要求11所述的装置，其中所述轴承元件是导电滚针轴承。
13.—种在处理晶片状物品的装置中使用的液体收集器，所述液体收集器被配置成围绕适于在将在具有预定直径的晶片状物品上执行的处理操作期间容纳和旋转该晶片状物品的旋转卡盘，所述液体收集器包括第一内表面，其中所述第一内表面包括第一导电材料且其中所述收集器还包括用于使所述第一导电材料接地的第一导电路径。
14.根据权利要求13所述的液体收集器，其还包括限定至少两个处理层的内部结构，其中旋转卡盘可以通过所述液体收集器与旋转卡盘之间的相对垂直运动而定位。
15.根据权利要求13所述的液体收集器，其中所述液体收集器的不同于所述第一内表面的向内的表面是由非导电塑料制成。
16.根据权利要求15所述的液体收集器，其中所述非导电塑料包括选自以下成员中的一种或多种成员:聚四氟乙烯(PTFE)、全氟烷氧基树脂(PFA)、聚苯硫醚(PPS)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯/聚乙基苯乙烯(PS/PES)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、三氟氯乙烯的均聚物(PCTFE)、聚全氟乙丙烯(FEP)和乙烯三氟氯乙烯(ECTFE)。
17.根据权利要求16所述的液体收集器，其中所述非导电塑料包括PCTFE。
18.根据权利要求13所述的液体收集器，其还包括向内的挡板，并且其中所述第一导电材料被镶嵌在所述向内的挡板中。
19.根据权利要求14所述的液体收集器，其还包括在所述至少两个层中最上面的一个层处的向内的挡板，并且其中所述第一导电材料被镶嵌在所述向内的挡板中。
20.根据权利要求13所述的液体收集器，其中所述第一导电材料为导电聚合物。
21.根据权利要求13所述的液体收集器，其中所述第一导电材料为不锈钢。
22.根据权利要求13所述的液体收集器，其中所述第一导电材料包括被环形地布置在所述第一内表面中的多个导电元件。
【专利摘要】本发明提供了一种用于晶片状物品的液体处理的装置，其包括适于在处理操作期间容纳和旋转具有特定直径的晶片状物品的旋转卡盘。液体收集器围绕该旋转卡盘，并包括第一内表面。该第一内表面包括第一导电材料。该收集器还包括用于使第一导电材料接地的第一导电路径。
【IPC分类】H01L21-673
【公开号】CN104867852
【申请号】CN201510086331
【发明人】莱茵霍尔德·施瓦辛格, 米兰·普利斯卡
【申请人】朗姆研究公司
【公开日】2015年8月26日
【申请日】2015年2月17日
【公告号】US20150243543