线圈单元及其制造方法、薄膜电感器及其制造方法
【专利说明】线圈单元及其制造方法、薄膜电感器及其制造方法
[0001]通过引用要求并包含的国内优先权申请和国外优先权申请如下:本申请要求于2014年7月2日提交的韩国专利申请号为第10-2014-0082511号的外国优先权权益，该申请的全部内容通过引用包含于此。
技术领域
[0002]本发明涉及一种用于薄膜电感器的线圈单元、一种用于薄膜电感器的线圈单元的制造方法、一种薄膜电感器和一种薄膜电感器的制造方法。
【背景技术】
[0003]近来，由于电子产业的进步，使得包括移动电话的小型化的且具有高级功能的电子产品已经得到快速发展，结果，不可避免的是，用在电子产品中的组件执行高级功能且更轻更小。因此，即使在开发用在电子产品中的电感器的领域中，小型化和纤薄化也变成非常关键的冋题。
[0004]根据这种趋势，随着电感器的发展已经集中在小型化与纤薄化特性之间的相容性以及高级功能，最近，作为这样的电感器的薄膜电感器得到发展并且商业化。
[0005]直到现在，薄膜电感器主要采用在绝缘基板的顶表面和底表面上形成线圈图案的线圈单元。
[0006]然而，由于线圈图案形成在绝缘基板的顶表面和底表面上，所以如上述结构那样的用于薄膜电感器的线圈单元在线圈单元的总厚度方面变厚，并且由于诸如镀覆厚度的分布、图案之间的短路等的问题，导致在设计薄膜电感器等的特性时出现困难。另外，在绝缘基板上的图案与绝缘层之间出现诸如分层的问题。
【发明内容】
[0007]已经创造了本发明以解决上述问题，因此，本发明的一个目的在于提供一种用于薄膜电感器的线圈单元和用于制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法以及一种薄膜电感器和用于制造薄膜电感器的方法，其能够被小型化和纤薄化，并且可防止图案分层。
[0008]此外，本发明的另一目的在于提供一种用于薄膜电感器的线圈单元和用于制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法以及一种薄膜电感器和用于制造薄膜电感器的方法，从而能够更自由地设计所述薄膜电感器的特性，并且也能够通过使制造工艺简化来实现大规模生产。
[0009]为了实现所述目的，根据本发明的一个方面，提供了一种用于薄膜电感器的线圈单元、一种用于制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法、一种薄膜电感器和一种用于制造薄膜电感器的方法，从而在包括嵌入到绝缘层内部的内镀层以及形成在绝缘层的顶表面和底表面上的外镀层的线圈图案中，能够在内镀层上形成生长导电层以用于生长外镀层。
[0010]此外，为了实现所述目的，根据本发明的另一方面，提供了一种用于薄膜电感器的线圈单元、一种用于制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法、一种薄膜电感器和一种用于制造薄膜电感器的方法，在将电路图案形成在通过粘附层的媒介粘附到基板层的两个表面的一对金属层的每个上之后，采取一种工艺使其上形成有电路图案的所述一对金属层与基板层分尚。
[0011]根据本发明的一方面，提供一种用于薄膜电感器的线圈单元，所述用于薄膜电感器的线圈单元包括:绝缘层和线圈图案，其中，所述线圈图案包括:内镀层，嵌在所述绝缘层中；生长导电层，形成在所述内镀层的表面上，并形成在所述绝缘层的顶表面和底表面上；外镀层，通过基于所述生长导电层进行镀覆和生长形成在所述绝缘层的顶表面和底表面上。
[0012]根据本发明的一方面，提供一种薄膜电感器，所述薄膜电感器包括:如上所述的用于薄膜电感器的线圈单元；磁性物质，粘附在所述用于薄膜电感器的线圈单元的顶表面和底表面中的至少一个表面上。
[0013]根据本发明的一方面，提供一种制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法，所述方法包括:在通过粘附层粘附在基板层的两个表面上的一对金属层上形成内镀层；将所述一对金属层从所述基板层分离；按照使形成在所述一对分离的金属层的每个上的所述内镀层嵌入的方式形成绝缘层；在所述内镀层上并且在所述绝缘层的顶表面和底表面上形成生长导电层；通过基于所述生长导电层进行镀覆和生长在所述绝缘层的顶表面和底表面上形成外镀层。
[0014]根据本发明的一方面，提供一种制造薄膜电感器的方法，所述方法包括:在用于薄膜电感器的线圈单元的顶表面和底表面中的至少一个表面上结合磁性物质，其中，根据上述制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法来形成所述用于薄膜电感器的线圈单元。
[0015]另外的方面和/或优点部分地将通过下面的描述来阐述，部分地将通过说明书而明显或者可通过本发明的实践而获知。
【附图说明】
[0016]通过下面结合附图对实施例进行的描述，本公开的这些和/或其它方面和优点将会变得清楚且更容易理解，在附图中:
[0017]图1是根据本发明的一个实施例的用于薄膜电感器的线圈单元的示意性截面图；
[0018]图2是根据本发明的另一实施例的制造用于薄膜电感器的线圈单元的方法的工艺流程图；
[0019]图3是根据本发明的实施例的在制造线圈单元的方法中使用的载体的示意性截面图；
[0020]图4A和图4B是示出图2的形成内镀层的步骤的截面图；
[0021]图5是示出图2的分离金属层的步骤的截面图；
[0022]图6是示出形成绝缘层的步骤的截面图；
[0023]图7A和图7B是示出形成图2的生长导电层的步骤的截面图；
[0024]图8A至图8C是示出形成图2的外镀层和绝缘剂的步骤的截面图；
[0025]图9是根据本发明的另一实施例的薄膜电感器的示意性截面图。
【具体实施方式】
[0026]在此使用的术语被提供为解释实施例，而非限制本发明。在整个说明书中，除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式也包括复数形式。当在此使用术语“包含”和/或“包括”时，除了上述组件、步骤、操作和/或装置之外，不排除存在和附加另一个组件、步骤、操作和/或装置。
[0027]通过以下结合附图进行的详细描述和优选的实施例，本发明的目的、具体优势和新颖的特征将变得更加明显。在说明书中，在给每幅图的元件增加标号时，应注意的是即使元件被示出在不同的附图中，相同的标号也指示相同的元件。此外，在描述本发明时，将省略现有的公知技术的详细描述，从而不使本发明的主旨变得模糊。在说明书中，术语“第一”、“第二”等用于在相似的元件之间进行区分，而不限制这些元件。
[0028]<用于薄膜电感器的线圈单元>
[0029]首先，图1是根据本发明的一个实施例的用于薄膜电感器的线圈单元100的示意性截面图。
[0030]如图1所示，根据本发明的实施例的用于薄膜电感器的线圈单元100可包括绝缘层110和线圈图案120。
[0031]首先，如图1所示，绝缘层110使从绝缘层110的顶表面和底表面形成的线圈图案120的内镀层121嵌入。
[0032]此外，根据本发明的实施例的绝缘层110可以由半固化片(PPG)和树脂的混合物形成，或者由一种类型的树脂形成，但不限于此。其可以是任何物质，只要该物质能够通过使嵌入到其中的内镀层121绝缘而起到保护作用即可。
[0033]因此，对于绝缘层110，可进行各种应用，诸如可由从丙烯酸脂聚合物、酚醛树脂聚合物和聚酰胺聚合物的组中选择的至少一种或至少两种物质的混合物形成。
[0034]此外，如图1所示，根据本发明的实施例的绝缘层110可按照单个绝缘层结构来形成。然而，本发明不限于此。可采用不同物质的双绝缘层结构，在这种情况下，使内镀层121-1嵌在底表面上的绝缘层和将内镀层121-2嵌在顶表面上的绝缘层可以由不同的物质形成。
[0035]像以上一样，如果采用了具有不同物质的双绝缘层结构的绝缘层，则与单绝缘层结构相比，能够容易地调节厚度，并可容易地调节线圈图案与磁性物质之间的绝缘距离以及线圈的距离。因此，能够更自由地形成并设计薄膜电感器的电感特性。
[0036]接下来，如图1所示，线圈图案120可包括内镀层121、生长导电层122和外镀层123。
[0037]如图1所示，内镀层121可通过嵌在绝缘层110中来形成。
[0038]与镀层形成在绝缘层的顶表面和底表面上的线圈单元相比，在本发明的实施例的情况下，通过将线圈图案120的内镀层121嵌在绝缘层110中，能够使总厚度最小化。因此，能够实现包括线圈单元的薄膜电感器的小型化和纤薄化。
[0039]此外，如图1所示，线圈图案120的内镀层121可包括第一内镀层121_1和第二内镀层121-2。
[0040]如图1所示，第一内镀层121-1可通过从绝缘层110的底表面嵌入来形成。
[0041]如图1所示，第二内镀层