专利名称：电路载体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种电路载体，其包括金属的载体层，在载体层上至 少局部设置介电层，该介电层具有许多细孔。
背景技术：
这种电路载体优选应用在大功率电子装置的领域内，特别是在汽 车的发动机舱的高温应用领域内。
每个电气的或电子的电路的工作与废热的产生相关联，为了避免 损害工作或者破坏电路，它们必须尽可能快地排出。特别是大功率电
子装置在工作时展现出非常大量的废热。在高温应用中超过100。C的 较高环境温度(在汽车的发动机舱的一定区域内例如大约150°C)使 之困难。为了实现废热的尽可能快的排出，电气的或电子的电路设置 在电路载体上，其金属的载体材料可以起到电路的冷却体的作用。
介电材料层大多数构成得远薄于由金属材料构成的层，介电材料 层用于将设置于介电材料层上的各个印制导线于金属的载体材料电绝 缘。此外可以选择这样一种介电材料，其特点在于非常低的热阻，使 得设置在介电材料层上的电气的或电子的构件的废热可以尽可能快地 通过金属的载体元件排出。
介电层可以在其制造之后具有许多细孔。由于不同原因可能必要 的是，这些细孔用密封材料密封。例如细孔的存在损害介电材料层的 电绝缘性能，这尤其是在潮湿的工作环境中可能是有问题的。由于湿 气进入到细孔内，可能在印制导线与金属的载体材料之间发生电短路。
按照制造方法的不同情况，形成细孔的问题出现不同的程度。特 别是这样一些方法与形成细孔的问题有关，在这些方法中介电材料层 以热式喷射方法施加到金属的载体材料上。这种方法例如描述于GB 990 023、 GB 1 461 031和EP 115 412 A2
中。尽管热式喷射方法本身非常良好地适合于将介电材料施加到金属 的载体材料上，但是出现如下问题，即喷射的介电材料层具有许多细
孔，这可能明显降低介电材料层的电绝缘能力。细孔的存在在潮湿环
境中是特别有问题的。
例如EP 48 992 A2描述一种方法，其中在热式喷射介电材料层之 后将用于密封细孔的树脂涂刷到介电材料层上。由DE 195 29 627 Cl 同样得知通过施加环氧树脂来密封细孔。此外也描述了通过在600°C 至800。C之间的温度范围内熔化的陶资釉来密封细孔。
树脂材料的采用在其涉及相对耗费的方法方面是不利的，因为树 脂必须在合适的型模中硬化(例如通过聚合，见EP48 992A2)。另外 在DE 195 29 627 Cl中附加描述的来自陶瓷行业的陶瓷釉的施加对于 在上述说明的温度中熔化的陶瓷釉大大含铅时是不利的，并且因此在 大多数国家不再允许应用。另外已经证实，这种陶瓷釉经常本身是有 细孔的，使得施加到介电材料层上的薄膜本身可能有孔。在这种情况 下根本不能排除短路的发生。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种电路载体，该电路载体避免现有技 术的上述缺点。
所述目的通过具有权利要求1的特征的电路载体达到。
按本发明规定的将玻璃作为密封材料的使用相对于树脂的使用具 有如下优点，即玻璃不必在单独的工步中硬化。
特别是可以设定，玻璃在热式喷射方法中施加。优选这与介电材 料层(简称介电层)的热式喷射同时进行。在这两种情况中玻璃的硬 化通过冷却自动进行。
也可以设定，玻璃涂刷或套印(例如用丝网印刷法)到介电材料 层上。在这种情况下可以在炉子中进行硬化。
相对于在现有技术中描述的陶瓷釉的施加，玻璃的应用具有如下
5优点，即玻璃不必含铅并且在施加之后本身还没有孔。
特别有利地设定，介电层的背离载体层的一侧的表面基本上没有
玻璃。这可以通过从介电层的表面去除玻璃或者在采用热式喷射方法
的情况下通过选择合适的工艺参数而达到。
在密封的介电层上可以按已知的方式施加印制导线。制成的电路
载体可以具有电气的和/或电子的构件。为了产生印制导线，可以将导
电的骨施加到介电层上并且紧接着烘烤。骨的施加可以优选以丝网印
刷或者喷射方法进行。
例如对于介电层可以采用陶资材料，优选氧化铝(A1203)或者氮 化铝(A1N)。
例如可以设定，采用的玻璃由三氧化二铋、氧化铝、二氧化硅或 者三氧化二硼或者两种或更多种上述组分的混合物制成。在一种可能 的实施例中可以设定，采用的玻璃由55%的三氧化二铋、21%的氧化 铝、14%的二氧化硅和10%的三氧化二硼制成。合适的玻璃可以例如 由公司Ferro Corporation, 1000 Lakeside Avenue, Cleveland, Ohio 44114-7000， USA ) ( www.ferro.com )得到。
细孔的期望的密封可以用一定量的密封材料(玻璃)达到，该量 为介电材料和密封材料(玻璃)的总量的大约5%至30%。
金属的载体层例如可以由铝或铜制成。
如果选择等离子喷射作为热式喷射方法，那么应当注意，大多数 以粉末形式存在的密封材料以这样的颗粒尺寸和融化温度进行选择， 使得密封材料直至必要的喷射温度例如2100。C可以无燃烧地喷射到 金属的载体材料上。
例如可以采用颗粒尺寸为5nm至60nm(典型为5.6fim或22.5jim ) 且熔化温度为2050。C的Ah03粉末。
在所有实施例中优选设定，由金属的载体材料构成的层同时用作 为电路载体的所有部件的机械刚性的载体。
由附图以及相关的描述得出本发明的各实施形式的其它优点和细
节。其中
图1示意显示用于执行按本发明的方法的装置； 图2a、 2b、 2c显示通过本发明的方法装置的电路载体的俯-见图、 侧视图和详图。
具体实施例方式
图1显示将介电材料层3热式喷射到电路载体1的由金属的载体 材料制成的层2上。示意描述具有阴极14和阳极15的等离子枪13。 箭头16表示等离子气体的输送。通过高频点火在阴极14和阳极15 之间形成电弧，这导致等离子气体的电离。这样产生的等离子以高的 速度(大约300至700m/s )和大约15000至20000。C的温度离开烧嘴。 通过加入装置17将需要施加到层2上的材料(通过箭头18表示)加 入到等离子射束中，因此该材料通过等离子射束熔化并且加速到高的 速度。熔化的材料以高的速度撞到金属的载体层2上(射束19)并且 在那里沉积为介电材料层3 (简称介电层3)。在一种优选的实施形式 中，由密封材料(玻璃9)和介电材料构成的混合物共同通过加入装 置17加入到等离子射束中。
图2a以俯视图示例显示一个电路载体l，在该电路载体的介电材 料层3上设置印制导线4以及电气的或电子的构件5。在该实施例中， 金属的载体层2由铝制成，其在热式喷射之前借助于喷砂技术进行清 洁和打毛。在金属的载体层2的四个角部上设置孔8，通过它们可以 以后螺紋连接电路载体l。在图2a中还可见二十四极的多头连接器6 以及九极的多头连接器7。所描述的电气的或电子的构件5涉及微控 制器、调节器、触发回路、大功率晶体管和电阻。
在热式喷射介电层3之后套印印制导线4并且紧接着在400。C至 530°C之间的温度进行烧结。在印刷的印制导线4上紧接着借助于模板 印刷(Schablonendruck)施加一个焊骨层，在焊青层内配入电气的或 电子的构件5。
7配备的构件5和多头连接器6、 7同时钎焊在电路载体l上。
为了获得电气的或电子的构件5的理想散热，所有的电气的或电 子的构件5直接地(即没有中间载体地)装配在电路载体l上(在电 路载体的介电层3上)。
在图2b中描述按本发明的电路载体l的层结构。该图当然不是符 合尺寸的。例如金属的栽体层的厚度可以为2至10mm，典型地为1 至5mm,而介电层3通常具有30nm至70fim的厚度。
图2c在介电层3的区域内显示描述于图2a和2b中的电路载体l 的详图。可见设置于介电层3中的细孔20,它们通过玻璃9密封。另 外可见，介电层3的表面在细孔20的区域之外基本上是没有玻璃的。
权利要求
1. 电路载体，其包括金属的载体层，在载体层上至少局部设置介电层，该介电层具有许多细孔，其特征在于细孔(20)至少在介电层(3)的背离载体层(2)的一侧用玻璃(9)密封。
2. 根据权利要求1所述的电路载体，其特征在于介电层(3) 的背离载体层(2)的一侧的表面基本上没有玻璃(9)。
3. 根据权利要求1或2所述的电路载体，其特征在于在介电层 (3)上设置印制导线(4、 4')。
4. 根据权利要求1至3之一所述的电路载体，其特征在于在电 路载体(1)上设置电气的和/或电子的构件(5)。
5. 根据权利要求1至4之一所述的电路载体，其特征在于介电 层(3)的材料是陶瓷材料，优选氧化铝(A1203 )或氮化铝(A1N)。
6. 根据权利要求1至5之一所述的电路载体，其特征在于玻璃 (9)由三氧化二铋、氧化铝、二氧化硅或者三氧化二硼或者两种或更 多种上述组分的混合物制成。
7. 根据权利要求6所述的电路载体，其特征在于玻璃由55%的 三氧化二铋、21%的氧化铝、14%的二氧化硅和10%的三氧化二硼制 成。
8. 根据权利要求1至7之一所述的电路载体，其特征在于玻璃 (9)的量为介电材料和玻璃(9)的总量的大约5%至30%。
9. 用于制造根据权利要求1至8之一所述的电路载体的方法，在 该方法中将一个介电材料层施加到金属的载体材料上，其特征在于 在施加介电材料层期间或之后，将玻璃(9)施加到电路载体(1)上。
10. 根据权利要求9所述的方法，其特征在于介电材料层以丝 网印刷方法施加到金属的载体层(2)上。
11. 根据权利要求9或IO所述的方法，其特征在于将玻璃(9) 涂刷或套印到介电材料层上。
12 根据权利要求9所述的方法，其特征在于介电材料层优选与玻璃(9) 一起热式喷射到金属的载体层(2)上。
13.根据权利要求9至12之一所述的方法，其特征在于为了产 生印制导线(4、 4')，优选以丝网印刷或者喷射方法将导电的骨施加 到介电层(3)上并且紧接着烘烤。
全文摘要
一种电路载体，其包括金属的载体层，在载体层上至少局部设置介电层，该介电层具有许多细孔，细孔至少在介电层的背离载体层的一侧用玻璃密封。
文档编号H05K1/05GK101461293SQ200780020870
公开日2009年6月17日 申请日期2007年5月25日 优先权日2006年6月7日
发明者B·黑格勒 申请人:Ab微电子有限公司