晶棒端面拼接夹具的制作方法

文档序号:8036366阅读:186来源:国知局
专利名称:晶棒端面拼接夹具的制作方法
技术领域
晶棒端面拼接夹具技术领域[0001]本实用新型晶棒端面拼接夹具,属于晶棒拼接工具技术领域。
技术背景[0002]目前,由于行业内的拉晶拉出的单晶长度长短不一,造成后续工段切段后的晶 棒长度不能满足切片机的加工要求(300mm/根),为了提高切片机的加工效率,行业内 将两根较短的晶棒搭配在一起以达到300mm的长度,为了不把钢线夹断,传统的方法是 粘胶时在两根短棒之间留出2-3mm的缝隙,但是由于人工粘接时晶棒的平行度、直线度 等都不易掌握,在切片时极其容易造成碎片掉下的现象,有时会被带到线网上从而产生 跳线,严重时会产生断线,客户对硅片表面的质量要求较严格,断线就会造成报废,即 使断线被接起来,一般的硅片表面也会留下一条甚至几条线痕或是色差片等不良产品, 大大降低了产品的成品率。实用新型内容[0003]本实用新型克服现有技术存在的不足,所要解决的技术问题是提供一种在拼接 晶棒是能更好的保证两根晶棒平行度和直线度的晶棒端面拼接夹具。[0004]为解决上述技术问题,本实用新型采用的技术方案为晶棒端面拼接夹具,包 括挡板、夹具体和螺栓,所述的夹具体为L型,两块挡板设置在夹具体的两端,挡板的 中间开有螺纹孔,螺栓套装在挡板的螺纹孔内。[0005]所述夹具体的中间部分开有长条形的通孔。[0006]进行晶棒拼接时,将两根涂了胶水的晶棒平放在本实用新型上,两晶棒的端面 位于夹具体中间的长条形通孔上方,拧动本实用新型两端挡板上的螺栓,使晶棒在螺栓 的推力作用下靠近且挤紧,由于挤紧而溢流出来的胶水从夹具体中间的长条形通孔中流出ο[0007]本实用新型与现有技术相比所具有的有益效果为[0008]本晶棒端面拼接夹具的夹具体表面平坦,平面度好,由螺栓推动晶棒挤紧,力 度均勻,可以很好的保证两根晶棒粘接后的平行度和直线度,在切片时就减少了碎片掉 下的现象,从而提高了产品的成品率。


[0009]
以下结合附图对本实用新型作进一步说明[0010]图1为本实用新型的结构示意图;[0011]图2为图1的A-A剖视图;[0012]图3为图1的左视图。[0013]图中1为挡板、2为夹具体、3为螺栓。
具体实施方式
[0014]如图1、图2、图3所示,本实用新型晶棒端面拼接夹具,包括挡板1、夹具体2 和螺栓3,所述的夹具体2为L型,两块挡板1设置在夹具体2的两端,挡板1的中间开 有螺纹孔,螺栓3套装在挡板1的螺纹孔内。[0015]所述夹具体2的中间部分开有长条形的通孔。
权利要求1.晶棒端面拼接夹具,其特征在于包括挡板(1)、夹具体(2)和螺栓(3),所述的 夹具体(2)为L型,两块挡板(1)设置在夹具体(2)的两端,挡板(1)的中间开有螺纹 孔,螺栓(3)套装在挡板(1)的螺纹孔内。
2.根据权利要求1所述的晶棒端面拼接夹具,其特征在于所述夹具体(2)的中间部 分开有长条形的通孔。
专利摘要本实用新型晶棒端面拼接夹具,属于晶棒拼接工具技术领域。所要解决的技术问题是提供一种在拼接晶棒是能更好的保证两根晶棒平行度和直线度的晶棒端面拼接夹具。采用的技术方案为包括挡板、夹具体和螺栓,所述的夹具体为L型,两块挡板设置在夹具体的两端,挡板的中间开有螺纹孔,螺栓套装在挡板的螺纹孔内。所述夹具体的中间部分开有长条形的通孔。本实用新型的夹具体表面平坦,平面度好,由螺栓推动晶棒挤紧,力度均匀,可以很好的保证两根晶棒的平行度和直线度,在切片时减少了碎片掉下的现象,从而提高了产品的成品率。
文档编号C30B33/06GK201801638SQ201020518809
公开日2011年4月20日 申请日期2010年9月4日 优先权日2010年9月4日
发明者侯惠峰, 姚锦嵘, 宋克群, 秦海滨, 赵彦杰 申请人:山西天能科技股份有限公司
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