专利名称：带有废热锅炉设备的干膜制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及带有废热锅炉(boiler)设备的干膜保护层(以下，也简称为干膜)的制造装置。
背景技术：
作为感光性树脂组合物，例如包括有电路用印刷电路板中所使用的干膜。干膜在制造阶段经由将作为感光性树脂组合物的光致抗蚀剂承载于PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等载体膜上的工序。此时，需要将感光性树脂组合物的原料溶解于溶剂中，在含有溶剂的感光性树脂组合物被承载于载体膜上然后被干燥时，溶剂挥发而产生废气。该废气的浓度通常为约IOOppm 几个百分比，因此，为了防止环境污染，通常设置废气处理设备，作为废气处理设备，通常使用通过燃烧废气来对废气进行氧化处理的催化氧化设备。然而，在以往的干膜的制造装置中，从催化氧化设备中排出的废热没有被再利用。
发明内容本发明要解决的问题在于，提供一种在干膜的制造工序中能够对催化氧化设备排出口的废热进行再利用的新型干膜制造装置。为了解决所述课题，本发明人进行了深入研究和反复实验，结果发现，能利用以下结构的装置能够解决所述课题，从而完成了本发明。S卩，本发明如下所述。[1] 一种干膜制造装置，其包括以下设备用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备， 以及用于利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。[2]根据所述[1]所述的干膜制造装置，其中，所述催化氧化设备具有两个以上废热的排出口。[3]根据所述[2]所述的干膜制造装置，其中，所述排出口包括用于排出500°C以上的废热的排出口。根据本发明，在干膜的制造工序中，能够实现对催化氧化设备排出口的废热的再利用。
图1所示为本发明的干膜的制造装置的一个例子的概略图。附图标记说明1涂布设备[0018]2干燥设备3含有溶剂成分的废气4催化氧化设备5第一废热6第二废热7废热锅炉设备8 水9水蒸汽10热交换器11 空气12 热风
具体实施方式
以下，边参照附图边详细地说明本发明。图1示出了本发明的干膜制造装置的一个例子。图1中，附图标记1为用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，附图标记2为用于使所涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，附图标记3为由干燥设备产生的含有溶剂成分的废气，附图标记4为用于通过氧化而处理由干燥设备产生的废气中的溶剂成分的催化氧化设备，附图标记5为从催化氧化设备中排出的第一废热，附图标记6为在从催化氧化设备中排出的多种废热中的温度比废热1低的第二废热，附图标记7为利用第一废热的废热锅炉设备，附图标记8为被废热锅炉设备加热之前的水，附图标记9为被废热锅炉设备加热而成的水蒸汽，附图标记10为利用水蒸汽加热空气的热交换器，附图标记11为送入热交换器的空气，而且附图标记12为从热交换器中送出的热风。图1所示的干膜的制造装置采用将被废热锅炉设备加热而成的水蒸汽在干燥设备中再利用的工艺，但是，所述水蒸汽还能够在干燥设备以外的设备中利用。在涂布设备中，感光性树脂组合物溶液被涂布于PET (聚对苯二甲酸乙二醇酯；聚酯)等载体膜的表面。接着利用接下来的干燥设备使由涂布设备涂布于载体膜上的含有溶剂的感光性树脂组合物中所含的溶剂挥发，而在载体膜上仅残留下感光性粘着组合物。作为干燥设备，只要为能够使溶剂挥发的设备即可，例如，也可以设置干燥机(dryer)。本发明中，含有利用干燥设备挥发出来的溶剂的废气被供给至催化氧化设备。作为催化氧化装置，可使用利用钼催化剂等使脱附气体发生催化氧化反应来进行氧化分解的催化燃烧装置、或将钼催化剂等与蓄热体组合而有效地使脱附气体发生催化氧化反应来进行氧化分解的蓄热式催化燃烧装置等。从运行成本的观点来看，优选催化燃烧装置。此外， 催化氧化装置优选具有两个以上用于排出废热的排出口。通过具有两个以上的排出口，从而能够将从一个排出口排出的废热的温度设定为500°C以上，而能够有效地通过废热锅炉制造水蒸汽。在此，从另一排出口排出的低于500°C的废热例如可用于制造热水。本发明中，对由催化氧化装置排出的废热在废热锅炉设备中进行再利用。为了进一步提高利用效率，此处的废热锅炉设备可以同时使用热管、热盘管(thermo-coil)等。[0036]作为干膜中所含的感光性树脂组合物，优选含有20 90质量％的(A)含有羧基的碱可溶性高分子、5 75质量％的(B)加成聚合性单体、以及0.01 30质量％的(C)光聚合引发剂。从挠性的观点来看，成分(A)的碱可溶性高分子优选乙烯基共聚物，进而从显影性的观点来看，优选含羧酸的乙烯基共聚物。此处，含羧酸的乙烯基共聚物是指使选自α、 β-不饱和羧酸中的至少一种第1单体与选自以下物质中的至少一种第2单体进行乙烯基共聚合而得到的化合物烷基(甲基)丙烯酸酯、羟基烷基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺和将其氮上的氢置换成烷基或烷氧基的化合物、苯乙烯及苯乙烯衍生物、(甲基)丙烯腈、以及(甲基)丙烯酸缩水甘油酯。作为含羧酸的乙烯基共聚物中使用的第1单体，可列举出丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸半酯等，可以分别单独使用也可以将两种以上组合使用。含羧酸的乙烯基共聚物中的第1单体的比例优选为15质量％以上且40质量％以下， 更优选为20质量％以上且35质量％以下。为了保持碱显影性，第1单体的比例优选为15 质量％以上，从羧酸乙烯基共聚物的溶解度的观点来看，优选为40质量％以下。作为含羧酸的乙烯基共聚物中使用的第2单体，可列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羟基丁酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、N- 丁氧基甲基丙烯酰胺、苯乙烯、α -甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、对氯苯乙烯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等，可以分别单独使用也可以将两种以上组合使用。含羧酸的乙烯基共聚物中的第2单体的比例优选为60质量％以上且85质量％以下，更优选为65质量％以上且80质量％以下。从平衡剥离性和焊料耐性(ii&e耐性) 的观点来看，含羧酸的乙烯基共聚物优选使用含有不同重均分子量的物质。进而，以感光性树脂的总质量基准计，感光性树脂优选使用20 90质量％的(A)含羧基的碱可溶性高分子。成分⑶可以使用公知的加成聚合性单体。例如，可以将聚氧亚烷基单(甲基)丙烯酸酯(polyoxyalklene mono (meth) aery late)、聚氧亚烷基二 (甲基)丙烯酸酯 (polyoxyalklene di (meth) acrylate)、双酚A环氧化物改性二丙烯酸酯、多元醇的环氧乙烷改性聚(甲基)丙烯酸酯等的一种或两种以上组合使用。以感光性树脂的总质量基准计，配合量优选为5质量％以上且75质量％以下，更优选为20质量％以上且50质量％以下。为了使感光性树脂层充分固化而维持作为保护层的强度，上述含量优选为5质量％以上。此外，为了防止固化后的裂纹，上述加成聚合性单体的总含量优选为75质量％以下。成分(C)可以使用公知的光聚合引发剂。可以使用二苯甲酮衍生物、苄基缩酮衍生物、硫杂蒽酮衍生物、芳基咪唑衍生物等。从密合性的观点来看，优选2-(邻氯苯基)-4、 5-二苯基咪唑二聚体。以感光性树脂的总质量基准计，光聚合引发剂的含量优选为0.01质量％以上且30质量％以下，更优选为1质量％以上且10质量％以下。即，为了获得充分的感光度，优选为0.01质量％以上，为了使感光性树脂层的底部充分固化，优选为30质量％ 以下。[0042]实施例以下，利用实施例对本发明进行具体的说明。利用与图1所示的干膜制造装置相同的装置(system)进行了实验。制作并向载体膜涂布了包含甲乙酮的感光性树脂溶液来作为感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物含有(A)含羧基的碱可溶性高分子、(B)加成聚合性单体以及(C)光聚合引发剂。作为处理由干燥设备排出的废气的废气处理装置，使用了催化氧化设备。实验的结果使用本发明的带有废热锅炉的干膜制造装置时使用的蒸气流量变为不使用废热锅炉设备时使用的蒸气流量的大约一半。产业上的可利用件由于本发明在干膜的制造工序中能够实现对催化氧化设备排出口的废热进行再利用，因而在干膜的制造产业中的利用价值高。
权利要求1.一种干膜制造装置，其中，该干膜制造装置包括以下设备用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备， 用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备， 用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备，以及用于利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。
2.根据权利要求1所述的干膜制造装置，其中，所述催化氧化设备具有两个以上废热的排出口。
3.根据权利要求2所述的干膜制造装置，其中，所述排出口包括用于排出500°C以上的废热的排出口。
专利摘要本实用新型提供一种带有废热锅炉设备的干膜制造装置，其在干膜的制造工序中，能够实现对催化氧化设备排出口的废热的再利用。该干膜制造装置包括以下设备用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备，用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备，用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备，以及利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。
文档编号G03F7/16GK202205026SQ201120235518
公开日2012年4月25日 申请日期2011年7月4日 优先权日2011年4月4日
发明者宫崎贞二 申请人:旭化成电子材料株式会社