正型感光性树脂组合物的制作方法

技术特征：

1.一种正型感光性树脂组合物，含有具有式(1)的结构的多烯基酚树脂、碱可溶性树脂及醌二叠氮化合物，其中，所述碱可溶性树脂不包括具有式(1)的结构的多烯基酚树脂，

式(1)中，R¹、R²及R³分别独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、式(2)所表示的烯基、碳原子数1～2的烷氧基或羟基，且R¹、R²及R³中的至少1个为式(2)表示的烯基；Q分别独立地表示式-CR⁴R⁵-表示的亚烷基、碳原子数5～10的亚环烷基、具有芳香环的二价有机基团、具有脂环式缩合环的二价有机基团或将这些基团组合而成的二价基团，R⁴及R⁵分别独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数2～6的烯基、碳原子数5～10的环烷基或碳原子数6～12的芳基；

式(2)中，R⁶、R⁷、R⁸、R⁹及R¹⁰分别独立地表示氢原子、碳原子数1～5的烷基、碳原子数5～10的环烷基或碳原子数6～12的芳基；式(2)中的＊表示与构成芳香环的碳原子的键合部。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，

式(1)的结构为式(3)的结构，

式(3)中，R¹、R²及R³表示与式(1)中的R¹、R²及R³相同的意思。

3.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，具有式(3)的结构的多烯基酚树脂含有式(4)的结构，

式(4)中，R¹、R²及R³表示与式(1)中的R¹、R²及R³相同的意思，另外，p为0～50的整数。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，式(2)所表示的烯基为烯丙基。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，碱可溶性树脂为聚酰亚胺前体。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，

所述聚酰亚胺前体用式(5)表示，

式(5)中，R¹¹表示碳原子数2以上的二价有机基团，R¹²表示碳原子数2以上的三价或四价的有机基团，R¹³表示氢原子或碳原子数1～20的有机基团，R¹⁴表示氢原子或碳原子数1～50的有机基团，m表示1或2，n表示5～200的整数。

7.根据权利要求6所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，式(5)中的R¹⁴含有不饱和基团。

8.根据权利要求7所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述不饱和基团为马来酰亚胺基。

9.根据权利要求8所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚酰亚胺前体通过以下方法来制造，所述方法包含以下工序：

工序(i)：使式(6)所表示的二胺化合物与式(7)所表示的酸化合物以1:0.8～0.95的摩尔比进行反应从而得到末端具有氨基的聚酰胺酸，

H₂N-R¹¹-NH₂ (6)

其中，x、y表示0或1，z表示0～4的整数；以及

工序(ii)：通过使工序(i)中得到的聚酰胺酸的末端的氨基与双马来酰亚胺化合物反应来得到末端具有马来酰亚胺基的聚酰亚胺前体。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的正型感光性树脂组合物，含有多烯基酚树脂20～50质量份、碱可溶性树脂100质量份及醌二叠氮化合物20～70质量份。

11.根据权利要求6～10中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，式(5)所表示的聚酰亚胺前体的固体成分酸值为110～210mgKOH/g。

12.一种放射线光刻结构物，其是通过以下方法得到的，所述方法包含以下工序：

(1)涂布工序：在基材上涂布权利要求1～11中任一项所述的正型感光性树脂组合物；

(2)干燥工序：将涂布后的正型感光性树脂组合物中的溶剂除去；

(3)曝光工序：隔着光掩模照射放射线；

(4)显影工序：通过碱显影来形成图案；以及

(5)加热处理工序：在150～350℃的温度下进行加热。

13.根据权利要求12所述的放射线光刻结构物，其特征在于，热失重为5质量％时的温度为350℃以上。