正型感光性树脂组合物的制作方法

文档序号:12287411阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种从加热烧成后的膜放出气体少的正型感光性树脂组合物。一种正型感光性树脂组合物,含有具有式(1)的结构的多烯基酚树脂、碱可溶性树脂及醌二叠氮化合物,式(1)中,R1、R2及R3分别独立地表示氢原子、碳原子数1~5的烷基、式(2)所表示的烯基、碳原子数1~2的烷氧基或羟基,且R1、R2及R3中的至少1个为式(2)所表示的烯基。Q分别独立地表示式‑CR4R5‑表示的亚烷基、碳原子数5~10的亚环烷基、具有芳香环的二价有机基团、具有脂环式缩合环的二价有机基团或将这些基团组合而成的二价基团。其中,所述碱可溶性树脂不包括具有式(1)的结构的多烯基酚树脂。

技术研发人员:古江健太郎;大野由起
受保护的技术使用者:昭和电工株式会社
文档号码:201580031678
技术研发日:2015.07.16
技术公布日:2017.02.22

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