纳米粒子‑聚合物抗蚀剂的制作方法

文档序号:11132756阅读:来源:国知局
技术总结
一种复合材料,其是包含以下各者的掺和物:包含核心和围绕所述核心的涂层的纳米粒子;和聚合物,其中所述纳米粒子的所述涂层包含配体,其中所述配体是被取代或未被取代的C1‑C16羧酸或其盐、被取代或未被取代的C1‑C16氨基酸或其盐、被取代或未被取代的膦酸C1‑C16二烷酯或其组合;并且其中所述聚合物是以下的聚合产物:包含可聚合基团的光酸产生剂;至少一种不饱和单体,其不同于所述包含可聚合基团的光酸产生剂;和式(I)的链转移剂;其中:Z是y价的C1‑20有机基团,x是0或1,并且Rd是被取代或未被取代的C1‑20烷基、C3‑20环烷基、C6‑20芳基或C7‑20芳烷基。

技术研发人员:J·W·萨克莱;M·西奥沃;P·特雷福纳斯三世;I·布莱基;A·K·惠特克
受保护的技术使用者:罗门哈斯电子材料有限责任公司;昆士兰大学
文档号码:201610587085
技术研发日:2016.07.22
技术公布日:2017.02.15

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