光扫描装置、输送装置以及特征检测装置的制作方法

文档序号:11176117阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供光扫描装置、输送装置以及特征检测装置。并提供可抑制光扫描装置中的空间频率灵敏度的凹陷的产生的技术。光扫描装置具备具有供扫描光被介质反射所得到的反射光的一部分穿过的穿过区域的反射光穿过部。穿过区域的外周轮廓线包括通过如下的点的集合而构成的轮廓线,该点在扫描方向的正交方向上的坐标相对于其在扫描方向上的坐标唯一确定。轮廓曲线描绘出朝向穿过区域凸出的曲线。在将穿过区域中与轮廓曲线相接的区域分割为如下的四边形形状的多个微小区域时,微小区域在扫描方向上的宽度按照其在正交方向上的位置而不同,多个微小区域具有互为相等的面积并从轮廓曲线延伸至扫描方向上的预先确定的坐标位置,且在正交方向上连续排列。

技术研发人员:大塚修司;谷口诚一
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
技术研发日:2017.03.24
技术公布日:2017.10.03
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