1.一种低压超级结沟槽掩膜板，其特征在于：
所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧形、斜角。
2.根据权利要求1所述的一种低压超级结沟槽掩膜板，其特征在于：
所述沟槽拐角位于沟槽掩膜板左边中间区域两个拐角。