一种低压超级结沟槽掩膜板的制作方法

技术总结
本实用新型涉及一种低压超级结沟槽掩膜板，所述沟槽掩膜板的源极区沟槽为分区并联的图形，令靠近栅极的沟槽拐角实施直角、弧形、斜角，所述沟槽拐角位于沟槽掩膜板左边中间区域两个拐角。本实用新型将源极从大面积单一极性优化为多块源极并联设计，使其可以使用更优化的拐角设计，让产品达到应用对参数的要求。

技术研发人员：杨乐;刘挺;岳玲
受保护的技术使用者：西安龙腾新能源科技发展有限公司
文档号码：201720251495
技术研发日：2017.03.15
技术公布日：2017.10.27