悬浮掩膜板的制作方法_2

文档序号:8351041阅读:来源:国知局
I上形成第一通孔116,在第二斜面111外侧的方形板坯料I上形成第二通孔117。
[0048]在第一斜面110外侧的方形板坯料,也就是说第一斜面110与所述方形板坯料的长边间的第一水平面112靠近所述长边的位置至少形成第一通孔116,第一通孔116至少为一个。在第二斜面111外侧的方形板坯料,也就是说第二斜面111与所述方形板坯料的宽边间的第二水平面113靠近所述宽边的位置至少形成第二通孔117,第二通孔也至少为一个。
[0049]本实施例中,车削形成第一斜面110、第二斜面111后,第一水平面112、第二水平面113也同时形成,并且第一水平面112与第二水平面113等高且等宽。第一水平面112与第二水平面113相连呈“L”型。第一水平面112与第二水平面113分别与剩余的正面11平行并且低于所述剩余的正面11。
[0050]第一通孔116、第二通孔117为U形长条孔,形成第一通孔116和第二通孔117的方法为铣床加工。
[0051]接着,执行步骤S13,在所述第一斜面110内侧的方形板坯料I上形成靠近第一斜面I1的第一凹槽118,在第二斜面111内侧的方形板坯料I上形成靠近第二斜面111的第二凹槽119。
[0052]本实施例中,第一斜面110内侧的方形板坯料I为第三水平面114,第一斜面111内侧的方形板还料I为第四水平面115。第一斜面110、第二斜面111形成后,第三水平面114与第四水平面115为剩余的正面11。因此第一水平面112低于第三水平面114 ;第二水平面113低于第四水平面115。
[0053]第一凹槽118为U形槽且至少为一个、第二凹槽119为U形槽且至少为一个,形成方法为铣床加工。
[0054]接着,参考图3和图4,执行步骤S14,对所述方形板坯料的背面12进行车削,形成与第一斜面I1相对的第三斜面120、与第二斜面111相对的第四斜面121,第三斜面120和第四斜面121垂直、相连,所述第三斜面120上具有与第一凹槽118相对的第一凸台124,第四斜面121上具有与第二凹槽119相对的第二凸台127。
[0055]本实施例中,翻转方形板坯料I,采用平口钳夹住热处理后的方形板坯料I的侧面,将方形板坯料I的第背面12置于上方。然后采用第一夹具(图未示)嵌入第一通孔116进一步实现方形板坯料I的稳固固定。
[0056]本实施例中,在背面12具有两个第三斜面120和两个第四斜面121,第三斜面120与第四斜面121等高且等宽。单个第三斜面110与单个第四斜面111拼成“L”型。需要说明的是,本实施例中,第三斜面120与第三斜面上的第一凸台124同时形成。第四斜面121与第四斜面上的第二凸台127同时形成。第一凸台124为第一凹槽118的底部,第二凸台127为第二凹槽119的底部。
[0057]接着,继续参考图3和图4,执行步骤S15,在所述第三斜面120外侧的方形板坯料上形成与第一通孔116连通的第三通孔125,在第四斜面121外侧的方形板坯料上形成与第二通孔117连通的第四通孔126。
[0058]在第三斜面120外侧的方形板坯料,也就是说第三斜面120与所述方形板坯料的长边间的第五水平面122靠近所述长边的位置形成第三通孔125,第三通孔125至少为一个。在第三斜面120外侧的方形板坯料,也就是说第三斜面120与所述方形板坯料的宽边间的第六水平面123靠近所述宽边的位置至少形成第四通孔126,第四通孔126也至少为一个。
[0059]第五水平面122与第六水平面123相连呈“L”型。第五水平面122与第六水平面123等高。第三通孔125为U形长条孔,长度大于第一通孔116的长度。第四通孔126的形状与第三通孔125的形状相同。第三通孔125和第四通孔126的加工为铣床加工。
[0060]接着,参考图3至图5,执行步骤S16,沿所述第三斜面120、第四斜面121另一侧线切割形成悬浮掩膜板第一部分4。
[0061]本实施例中,一个方形板还料I形成两个悬浮掩膜板第一部分4。悬浮掩膜板第一部分呈“L”型。
[0062]其他实施例中,一个方形板坯料也可以形成一个悬浮掩膜板的第一部分,也属于本发明的保护范围内。
[0063]本实施例中,之所以先加工方形板坯料的正面11,原因如下:如果先加工方形板坯料的背面12,形成第三斜面120及第三斜面120上的第一凸台124、第四斜面121及第四斜面上的第二凸台127,再加工方形板坯料的正面11时,由于第一凸台124、第二凸台127的存在,使得平口钳2、垫块3与第三斜面120及其上的第一凸台124、第四斜面121及其上的第二凸台127的接触比较小,不能很好的契合,从而无法实现方形板坯料的稳固固定,影响后续悬浮掩膜板的加工精度。退一步讲,为了能够实现方形板坯料的稳固固定,也需要制作一个与第三斜面120及其上的第一凸台124、第四斜面121及其上的第二凸台127相契合的特殊夹具,该特殊夹具的制作难度大,另外,会增加工艺成本,降低工艺效率。因此,本实施例中,先加工没有第一凸台124、第二凸台127的正表面,能够实现方形板坯料的稳固固定,从而提高后续悬浮掩膜板的加工精度。
[0064]形成悬浮掩膜板第一部分4后,接着,还需要形成悬浮掩膜板第二部分。
[0065]接着,参考图6和图7,执行步骤17,提供长条板坯料5,对所述长条板坯料5的正面51进行车削形成平行于长条板坯料长边的第五斜面511。
[0066]本实施例中,长条板坯料5包括正面51、背面52和正面51、背面52之间的侧面53。车削加工形成的第五斜面511与长条板坯料长边具有第一距离。
[0067]长条板坯料5的材料也为工业纯钛。形成长条板坯料5的锻打、压延、热处理、冷却的方法与形成方形板坯料I的锻打、压延、热处理和冷却的方法相同。在此不再赘述。
[0068]将平口钳6夹住热处理后的长条板还料5的侧面,将长条板还料5的正面51置于上方。由于长条板坯料5较薄,为了减小加工长条板坯料正面51时产生的变形量,在方形板坯料的下方放置垫块,便于更好的加工固定长条板坯料5的正面51。需要说明的是,由于长条板坯料5的长度较长,为了能够更加稳固的固定长条板坯料,可以采用多个平口钳6并列的夹持长条板坯料5长度方向的侧面。
[0069]第五斜面511的长度与长条板还料5的长度相同。第五斜面511与长条板还料5的一条长边具有第一距离,与长条板坯料的另一条长边具有第二距离。
[0070]接着,参考图7,执行步骤S18,在所述第五斜面511 —侧的长条板坯料上形成第五通孔514,在所述第五斜面511另一侧的长条板坯料上形成靠近第五斜面的第三凹槽515,所述第五斜面511 —侧的长条板坯料的高度小于所述第五斜面511另一侧的长条板坯料的高度。
[0071]本实施例中,在第五斜面511 —侧与长条板坯料长边间的长条板坯料为第七水平面512,在第七水平面512上靠近长条板坯料长边的位置形成至少一个第五通孔514。在第五斜面511另一侧与长条板坯料长边间的长条板坯料为第八水平面513,在第八水平面513上靠近长条板坯料另一条长边的位置形成至少一个第三凹槽515。
[0072]第五斜面511与第一斜面110 (参考图2)或第二斜面111 (参考图2)等高且等宽。在长条板坯料上形成第五斜面511后,第七水平面512和第八水平面513同时也形成。第七水平面512与悬浮掩膜板第一部分4中的第一水平面112、第二水平面113等高且等宽。第八水平面513与第三水平面114、第四水平面115等高且等宽。
[0073]第五通孔514的形状与第一通孔116 (参考图2)或第二通孔117 (参考图2)的形状相同。第三凹槽515与第一凹槽118 (参考图2)或第二凹槽119 (参考图2)的形状相同。第五通孔514、第三凹槽515也为铣床加工。
[0074]接着,参考图8和图9,执行步骤S19,对所述长条板坯料的背面52进行车削,形成于与第五斜面511相对的第六斜面521,所述第六斜面521上具有与第三凹槽515相对的第三凸台523。
[0075]对所述长条板坯料背面52进行车削加工,形成平行于长条板坯料长边的第六斜面521,所述第六斜面521的位置与所述第五斜面511相对应,所述第六斜面521至少具有一个第三凸台523,所述第三凸台523与第三凹槽515的位置相对应。
[0076]本实施例中,加工长条板坯料背面52时,为了能够更加稳固的固定长条板坯料5,将长条板坯料5固定在第二夹具7上。参考图8,第二夹具7也为长条形结构,包括顶面71、底面72和位于顶面71、底面72之间的侧面73。顶面71的形状与加工后的长条板坯料正面51相契合,也就是说与第五斜面511、第七水平面512和第八水平面513相契合。与第七水平面512相契合的顶面部分沿夹具7长度方向具有若干个锁扣74。当长条板坯料5安装在第二夹具7上时,若干个锁扣74将长条板坯料5与第二夹具7锁在一起,然后采用平口钳6 (参考图9)夹持第二夹
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