悬浮掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及机械加工领域，尤其涉及悬浮掩膜板的制作方法。
【背景技术】
[0002]真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶材原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的。为了更好的固定靶材，提高基片表面镀膜质量，需要在溅射基台和靶材之间安装悬浮掩膜板。
[0003]目前对悬浮掩膜板的机械加工工艺不成熟，加工出的悬浮掩膜板的加工精度不闻。
[0004]有鉴于此，实有必要提出一种悬浮掩膜板的加工方法，避免上述缺陷。
【发明内容】
[0005]本发明解决的问题是对悬浮掩膜板的机械加工工艺非常不成熟，加工出的悬浮掩膜板的加工精度不高。
[0006]为解决上述问题，本发明提供一种悬浮掩膜板的制作方法，包括:
[0007]提供方形板坯料，对所述方形板坯料的正面进行车削形成平行于长边的第一斜面、平行于宽边的第二斜面，所述第一斜面和第二斜面垂直、相连；
[0008]在所述第一斜面外侧的方形板坯料上形成第一通孔，在所述第二斜面外侧的方形板坯料上形成第二通孔；
[0009]在所述第一斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第一斜面的第一凹槽，在所述第二斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第二斜面的第二凹槽；
[0010]对所述方形板坯料的背面进行车削，形成与所述第一斜面相对的第三斜面、与所述第二斜面相对的第四斜面，所述第三斜面和第四斜面垂直、相连，所述第三斜面上具有与第一凹槽相对的第一凸台，所述第四斜面上具有与第二凹槽相对的第二凸台；
[0011]在所述第三斜面外侧的方形板坯料上形成与第一通孔连通的第三通孔，在所述第四斜面外侧的方形板坯料上形成与第二通孔连通的第四通孔；
[0012]沿所述第三斜面、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分；
[0013]将所述悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。
[0014]可选的，所述第一斜面、第二斜面各为两个时，所述第一斜面和第二斜面围成一个长方形，所述第一斜面与第二斜面的连接处位于所述方形板坯料的正面的对角。
[0015]可选的，所述悬浮掩膜板的制作方法还包括:
[0016]提供长条板坯料，对所述长条板坯料的正面进行车削形成平行于长条板坯料长边的第五斜面；
[0017]在所述第五斜面一侧的长条板坯料上形成第五通孔，在所述第五斜面另一侧的长条板坯料上形成靠近第五斜面的第三凹槽，所述第五斜面一侧的长条板坯料的高度小于所述第五斜面另一侧的长条板坯料的高度；
[0018]对所述长条板坯料的背面进行车削，形成于与第五斜面相对的第六斜面，所述第六斜面上具有与第三凹槽相对的第三凸台；
[0019]在所述第六斜面一侧的长条板坯料上形成与第五通孔连通的第六通孔，形成悬浮掩膜板第二部分，所述第六斜面一侧与所述第五斜面一侧为相同侧；
[0020]将所述悬浮掩膜板第二部分拼接在所述两个悬浮掩膜板第一部分之间。
[0021]可选的，所述第一斜面或第二斜面与第五斜面等高且等宽，所述第三斜面或第四斜面与第六斜面等高且等宽。
[0022]可选的，所述第一斜面外侧的方形板坯料、第二斜面外侧的方形板坯料与第五斜面一侧的长条板坯料等高且等宽；
[0023]所述第一斜面内侧的方形板坯料、第二斜面内侧的方形板坯料与所述第五斜面另一侧的长条板坯料等高且等宽；
[0024]所述第一斜面内侧的方形板坯料高于第一斜面外侧的方形板坯料；
[0025]所述第三斜面外侧的方形板坯料、第四斜面外侧的方形板坯料与所述第六斜面一侧的长条板坯料等高且等宽。
[0026]可选的，采用夹具对所述长条板坯料背面进行车削加工时，所述夹具的顶面与所述第五斜面、所述第五斜面内侧的长条板坯料、所述第五斜面外侧的长条板坯料相契合。
[0027]可选的，对所述方形板坯料正面进行车削加工前，对所述方形板坯料进行热处理，所述方形板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440°C?460°C，在所述热处理温度下保温115min?125min。
[0028]可选的，对所述长条板坯料正面进行车削加工前，对所述长条板坯料进行热处理，所述长条板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440°C?460°C，在所述热处理温度下保温115min?125min。
[0029]可选的，所述热处理后，还包括空冷的步骤。
[0030]与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点:
[0031]本发明的技术方案中，之所以先加工方形板坯料的正面，原因如下:如果先加工方形板坯料的背面，形成第三斜面及第三斜面上的第一凸台、第四斜面及第四斜面上的第二凸台，再加工方形板坯料的正面时，由于第一凸台、第二凸台的存在，使得平口钳、垫块与第三斜面及其上的第一凸台、第四斜面及其上的第二凸台的接触比较小，不能很好的契合，从而无法实现方形板坯料的稳固固定，影响后续悬浮掩膜板的加工精度。退一步讲，为了能够实现方形板坯料的稳固固定，也需要制作一个与第三斜面及其上的第一凸台、第四斜面及其上的第二凸台相契合的特殊夹具，该特殊夹具的制作难度大，另外，会增加工艺成本，降低工艺效率。因此，本实施例中，先加工没有第一凸台、第二凸台的正表面，能够实现方形板坯料的稳固固定，从而提高后续悬浮掩膜板的加工精度。
【附图说明】
[0032]图1是本发明具体实施例中的加工方形板坯料的立体结构示意图；
[0033]图2是本发明具体实施例中的加工后的方形板坯料正面的俯视结构示意图；
[0034]图3是本发明具体实施例中的加工后的方形板坯料背面俯视的结构示意图；
[0035]图4是本发明具体实施例中的悬浮掩膜板第一部分的正面结构示意图；
[0036]图5是本发明具体实施例中的悬浮掩膜板第一部分的背面结构示意图；
[0037]图6是本发明具体实施例中的长条形坯料的结构示意图；
[0038]图7是对图6的正面进行加工的结构示意图；
[0039]图8是对图6的背面进行加工的第二夹具的结构示意图；
[0040]图9是对图6的背面进行加工的结构示意图；
[0041]图10是本发明具体实施例中的悬浮掩膜板的结构示意图。
【具体实施方式】
[0042]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。具体为:
[0043]参考图1至图2，执行步骤S11，提供方形板坯料1，对所述方形板坯料的正面11进行车削形成平行于长边的第一斜面110、平行于宽边的第二斜面111，第一斜面110和第二斜面111垂直、相连。
[0044]方形板坯料I是经过熔炼、均匀化处理、塑性变形加工等步骤形成的，在严格控制方形板坯料纯度的基础上，通过选择不同的塑性变形加工来满足后续的机械加工工艺。本实施例中的塑性加工工艺为锻打和锻打后的压延。其中，提供一个圆柱体，材料为工艺纯钛。先对圆柱体的上表面进行锻打，接着，对圆柱体的侧面进行锻打，形成长方体。上述锻打的工艺条件为:锻打温度为在880°C?900°C，锻打压力300吨?850吨，锻打时间为2min?3min，锻打变形量为60%?70%。锻打后进行压延的工艺条件为:压延温度为750°C?800°C,压延时间为30min?60min,形成方形板还料I。接着,对方形板还料I进行热处理，以去除方形板坯料I的锻打和压延后的内部应力，来减小后续机械加工工艺的变形。本实施例中，热处理的温度为430°C?460°C，热处理的时间为120min。对方形板坯料I进行上述热处理后，还包括在空气中冷却的步骤。如果采用水冷等快速冷却方法，使得冷却后的方形板坯料的内部应力并不能完全去除。当然，其他实施例中，也可以采用其他慢速冷却方式，也属于本发明的保护范围。需要说明的是:上述锻打、压延以及热处理的温度、时间都必须严格控制，热处理后的空冷的操作也必须严格执行，防止后续对热处理后的方形靶材坯料I进行机械加工时变形量较大，从而影响加工精度。
[0045]参考图1，将平口钳2夹住热处理后的方形板坯料I的侧面，将方形板坯料I的正面11置于上方。由于方形板坯料I较薄，为了减小加工第正面时产生的变形量，在方形板坯料的下方放置垫块3，便于更好的加工方形板坯料I的正面11。
[0046]本实施例中，在正面11具有两个第一斜面110和两个第二斜面111，第一斜面110平行于长边，第二斜面111平行于宽边。所述第一斜面110与所述长边具有距离，所述第二斜面111与所述宽边具有距离。第一斜面110与第二斜面11等高且等宽。单个第一斜面110与单个第二斜面111呈“L”型。
[0047]接着，继续参考图2，执行步骤S12，在所述第一斜面110外侧的方形板坯料