具7沿长度方向的两个侧面。此时，第二夹具7上固定有长条板坯料5。需要说明的是，为了更好的固定第二夹具7与其上的长条板坯料5，可以采用多个平口钳6沿第二夹具7的长度方形进行固定。
[0077]第六斜面521与悬浮掩膜板第一部分4中的第三斜面120 (参考图3)、第四斜面121(参考图3)等高且等宽。第六斜面521与其上的第三凸台523同时形成。第三凸台523为第三凹槽515 (参考图7)的底部。
[0078]接着，继续参考图9，执行步骤S20，在所述第六斜面521 —侧的长条板坯料上形成与第五通孔514连通的第六通孔524，形成悬浮掩膜板第二部分8，所述第六斜面521 —侧与所述第五斜面511 —侧为相同侧。
[0079]所述第六斜面521 —侧与长条板坯料长边间长条板坯料为第九水平面522，在长条板坯料背面形成第六斜面521后，第九水平面522同时也形成了。第九水平面522与悬浮掩膜板第一部分4中的第五水平面122、第六水平面123 (参考图4)等高且等宽。
[0080]在第九水平面522上靠近所述长条板长边的位置至少形成至少一个第六通孔524，所述第六通孔524与所述第五通孔514相通。第六通孔524的形状与第三通孔125或第四通孔126 (参考图4)的形状相同。其中，第六通孔524也为铣床加工。这样悬浮掩膜板第二部分8就形成了。
[0081]本实施例中，之所以先加工长条板坯料的正面51，原因如下:如果先加工长条板坯料的背面52，形成第六斜面521及第六斜面521上的第三凸台523，再加工长条板坯料的正面51，由于第三凸台523的存在，使得平口钳6、第二夹具7中与第六斜面521及其上的第三凸台523的接触比较小，不能很好的契合，从而无法实现长条形坯料的稳固固定，影响后续悬浮掩膜板的加工精度。退一步讲，为了能够实现长条形坯料的稳固固定，也需要制作一个与第六斜面521及其上的第三凸台523相契合的特殊夹具，该特殊夹具的制作难度大，另外，同样会增加工艺成本，降低工艺效率。因此，本实施例中，先加工没有第三凸台523的正面，能够实现长条板坯料的稳固固定，从而提高后续悬浮掩膜板的加工精度。
[0082]本实施例中，需要形成四个悬浮掩膜板的第二部分8。
[0083]参考图10，形成四个悬浮掩膜板的第一部分4、悬浮掩膜板的第二部分8后，需要将他们拼接成一个方形框，该方形框为悬浮掩膜板。具体拼接方法如下:四个悬浮掩膜板第一部分4分别在方形框的四个拐角位置处，每个悬浮掩膜板第二部分8分别位于两个相邻的悬浮掩膜板第一部分4之间，首尾两端分别与两个相邻的悬浮掩膜板第一部分4相连，并且将悬浮掩膜板第一部分4中的第三斜面120或第四斜面121 (参考图4)与悬浮掩膜板第二部分8中第六斜面521 (参考图9)对齐。
[0084]其他实施例中，不同悬浮掩膜板的尺寸可以根据四个悬浮掩膜板第一部分与不同数量的悬浮掩膜板第二部分进行调节，需要说明的是，悬浮掩膜板的数量必须是偶数个，才能拼成方形的悬浮掩膜板。
[0085]其他实施例中，直接将四个悬浮掩膜板的第一部分进行拼接也能形成悬浮掩膜板。
[0086]本实施例中，车削刀具的刀尖修圆半径为0.1mm，车削加工的主轴转速为800?1000转/分钟，背吃刀量为小于0.1mm。
[0087]其中，车削车床的转速过快，车削时温度会上升，大大缩短车削刀具的使用寿命；车削车床转速过慢，容易使被加工面被加工成凸凹不平的表面，造成加工后的表面粗糙。但是，车削车床的转速如果比较高，则可以减小刀具对被加工表面的冲击力，避免产生大的应力；对于由此引起的温升，可以通过冷却介质解决。
[0088]车削过程是剪切与挤压并存的过程，背吃刀量为在被加工表面厚度方向上的相对位移。如果背吃刀量过小，挤压效果大于剪切效果，使得距表层不同深度的晶粒间大小不同，造成被加工表面残余应力大；如果背吃刀量过大，则在加工中易出现打滑现象。
[0089]需要说明的是，车削时采用上述加工参数，能够加工出精度高的悬浮掩膜板，而且加工后形成的悬浮掩膜板的变形量小。
[0090]虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
【主权项】
1.一种悬浮掩膜板的制作方法，其特征在于，包括: 提供方形板坯料，对所述方形板坯料的正面进行车削形成平行于长边的第一斜面、平行于宽边的第二斜面，所述第一斜面和第二斜面垂直、相连； 在所述第一斜面外侧的方形板坯料上形成第一通孔，在所述第二斜面外侧的方形板坯料上形成第二通孔； 在所述第一斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第一斜面的第一凹槽，在所述第二斜面内侧的方形板坯料上形成靠近第二斜面的第二凹槽； 对所述方形板坯料的背面进行车削，形成与所述第一斜面相对的第三斜面、与所述第二斜面相对的第四斜面，所述第三斜面和第四斜面垂直、相连，所述第三斜面上具有与第一凹槽相对的第一凸台，所述第四斜面上具有与第二凹槽相对的第二凸台； 在所述第三斜面外侧的方形板坯料上形成与第一通孔连通的第三通孔，在所述第四斜面外侧的方形板坯料上形成与第二通孔连通的第四通孔； 沿所述第三斜面、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分； 将所述悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。
2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一斜面、第二斜面各为两个时，所述第一斜面和第二斜面围成一个长方形，所述第一斜面与第二斜面的连接处位于所述方形板坯料的正面的对角。
3.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，还包括: 提供长条板坯料，对所述长条板坯料的正面进行车削形成平行于长条板坯料长边的第五斜面； 在所述第五斜面一侧的长条板坯料上形成第五通孔，在所述第五斜面另一侧的长条板坯料上形成靠近第五斜面的第三凹槽，所述第五斜面一侧的长条板坯料的高度小于所述第五斜面另一侧的长条板还料的闻度； 对所述长条板坯料的背面进行车削，形成于与第五斜面相对的第六斜面，所述第六斜面上具有与第三凹槽相对的第三凸台； 在所述第六斜面一侧的长条板坯料上形成与第五通孔连通的第六通孔，形成悬浮掩膜板第二部分，所述第六斜面一侧与所述第五斜面一侧为相同侧； 将所述悬浮掩膜板第二部分拼接在所述两个悬浮掩膜板第一部分之间。
4.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一斜面或第二斜面与第五斜面等高且等宽，所述第三斜面或第四斜面与第六斜面等高且等宽。
5.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述第一斜面外侧的方形板坯料、第二斜面外侧的方形板坯料与第五斜面一侧的长条板坯料等高且等宽； 所述第一斜面内侧的方形板坯料、第二斜面内侧的方形板坯料与所述第五斜面另一侧的长条板还料等闻且等宽； 所述第一斜面内侧的方形板坯料高于第一斜面外侧的方形板坯料； 所述第三斜面外侧的方形板坯料、第四斜面外侧的方形板坯料与所述第六斜面一侧的长条板还料等闻且等宽。
6.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，采用夹具对所述长条板坯料背面进行车削加工时，所述夹具的顶面与所述第五斜面、所述第五斜面内侧的长条板坯料、所述第五斜面外侧的长条板坯料相契合。
7.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，对所述方形板坯料正面进行车削加工前，对所述方形板坯料进行热处理，所述方形板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440°C?460°C,在所述热处理温度下保温115min?125min。
8.如权利要求3所述的制作方法，其特征在于，对所述长条板坯料正面进行车削加工前，对所述长条板坯料进行热处理，所述长条板坯料的材料为工业纯钛，所述热处理的温度为大于等于440°C?460°C,在所述热处理温度下保温115min?125min。
9.如权利要求7或8所述的制作方法，其特征在于，所述热处理后，还包括空冷的步骤。
【专利摘要】一种悬浮掩膜板的制作方法，包括：车削方形板坯料正面形成平行长边的第一斜面、平行宽边的第二斜面，第一、第二斜面垂直、相连；第一斜面外侧形成第一通孔，在第二斜面外侧形成第二通孔；第一斜面内侧形成第一凹槽，第二斜面内侧形成第二凹槽；对方形板坯料背面进行车削，形成与第一斜面相对第三斜面、与第二斜面相对第四斜面，第三斜面和第四斜面垂直、相连，第三斜面上具有第一凸台，第四斜面上具有第二凸台；第三斜面外侧形成与第一通孔连通的第三通孔，在第四斜面外侧形成与第二通孔连通第四通孔；沿第三、第四斜面内侧边缘线切割形成悬浮掩膜板第一部分；将悬浮掩膜板第一部分拼接成方形框。采用本发明能提高悬浮掩膜板加工精度。
【IPC分类】B23P15-00
【公开号】CN104668894
【申请号】CN201310643254
【发明人】姚力军, 相原俊夫, 大岩一彦, 潘杰, 王学泽, 周杨
【申请人】宁波江丰电子材料股份有限公司
【公开日】2015年6月3日
【申请日】2013年12月3日