专利名称：低压淀积氧化硅工艺方法
技术领域：
本发明涉及半导体芯片制造工艺技术领域，尤其涉及一种低压淀积氧化硅工艺 方法。
背景技术：
通常，制造半导体器件的方法主要包括生成薄膜和在薄膜上形成图案。用于制 造半导体器件的薄膜根据需要可分为绝缘薄膜、电介质薄膜、导电薄膜、平面薄膜和钝 化薄膜等。淀积薄膜的方法有物理淀积、真空淀积、化学气相淀积(CVD)和溅射淀积 等。其中，化学气相淀积是最常用的方法。化学气相淀积方法生成薄膜，就是在基片上形成材料气体，基片上或气体中产 生的粒子散布在基片的表面，原子经历迁移和膜形成化学反应进而淀积成膜(例如氧化 硅)。最常用的化学气相淀积设备有常压化学气相淀积(APCVD)设备、低压化学气相淀 积(LPCVD)设备以及等离子体增强化学气相淀积(PECVD)设备等。低压化学气相淀积 设备的低压化学淀积方法较常压化学气相淀积方法，改进了分步覆盖，而且淀积生成的 薄膜厚度均勻。但是，在现有的低压淀积氧化硅(LPTEOS)工艺实现中，低压化学气相淀积设 备由已写入有预设程式的软件控制。具体而言，如图5所示，即采用实时温度自适控制 的方法，通过软件控制淀积室不同区段的第一温度点51、第二温度点52、第三温度点53 和第四温度点54。分步淀积过程中，在第三温度点53降温到第四温度点54的过程中， 便开始低压淀积氧化硅工艺。上述分步淀积过程依次循环执行3次，每次淀积膜厚1000 埃。由于软件的程式已经写入，且固定设置第一温度点51、第二温度点52、第三温度点 53和第四温度点54，因而必然导致在低压淀积氧化硅的工艺过程中，需相应地调整低压 化学气相淀积设备的二十多项参数，以控制上述四个不同的温度点，使得现有低压淀积 氧化硅工艺协调难度大，效率低，并且不能满足芯片制造商对不同膜厚淀积的需求。同 时，所述用于控制低压化学气相淀积设备的软件价格昂贵，进而限制了低压化学气相淀 积设备的使用范围。针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究 改良，于是有了本发明低压淀积氧化硅工艺方法。
发明内容
本发明是针对现有技术中，低压淀积氧化硅的工艺协调难度大，效率低，并且 不能满足芯片制造商对不同膜厚淀积的需求，以及用于控制低压化学气相淀积设备的软 件价格昂贵，成本高等缺陷，提供一种低压淀积氧化硅工艺方法。为了解决上述问题，本发明提供一种低压淀积氧化硅工艺方法，所述方法包 括固定晶圆，并置入反应腔；向反应腔输送反应气体；调节反应腔加热装置上控温区 的上温度点和下控温区的下温度点，所述上温度点和下温度点的调节方式为将上温度点和下温度点同步上调或降低相同的温度；氧化硅膜的分步淀积，所述分步淀积是在反应 腔的上温度点下降到下温度点的过程中执行；重复执行分步淀积，完成氧化硅膜淀积。可选的，所述加热装置为电阻加热装置。可选的，所述反应腔为具有不同区段的立式炉管。所述立式炉管的各不同区段 的上温度点和下温度点具有相同的差值。可选的，所述上控温区的温度范围为680 710°C。可选的，所述下控温区的温度范围为660 685°C。可选的，所述反应气体包括硅源气体和氧化源气体。所述硅源气体包括但不限 于硅烷、乙硅烷、甲基硅烷和卤代硅烷。所述氧化源气体包括但不限于氮氧化物、臭 氧、氧气和四乙基甲硅烷。可选的，所述完成氧化硅膜淀积的淀积时间为9 12分钟。可选的，所述重复执行分步淀积的次数为3次或3次以上。可选的，所述重复执行分步淀积的次数为5次。可选的，所述分步淀积生成的氧化硅膜的厚度为600埃。可选的，所述完成氧化硅膜淀积的淀积时间为10分钟33秒。综上所述，本发明通过调节反应腔的上控温区的上温度点和同步调节下控温区 的下温度点，并在上温度点下降到下温度点的过程中，进行氧化硅膜分步淀积，不仅能 极大的改善氧化硅膜淀积的均勻度，提高产品品质，而且该工艺方法操作简单，又能满 足芯片制造商对不同膜厚的需求。
图1是本发明低压淀积氧化硅工艺方法的实现装置的结构示意图；图2是本发明低压淀积氧化硅工艺方法的流程图；图3是本发明低压淀积氧化硅工艺方法的控温淀积过程图；图4(a)是采用现有技术所获得的氧化硅膜均勻度的示意图。图4(b)是采用本发明低压淀积氧化硅工艺方法所获取的氧化硅膜均勻度的示意 图；图5是现有技术低压淀积氧化硅工艺方法的控温淀积过程图。
具体实施例方式为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结 合实施例并配合附图予以详细说明。请参阅图1，图1为低压淀积氧化硅工艺实现装置1的结构示意图。所述低压淀 积氧化硅工艺实现装置1包括气体控制体系11、反应腔12、真空泵13以及用以连通所述 气体控制体系11、反应腔12、真空泵13的管线14。其中，所述气体控制体系11用以向反应腔12输送反应气体、稳定气体或清洗气 体。所述反应气体包括硅源气体和氧化源气体。硅源气体包括但不限于硅烷、乙硅烷、 甲基硅烷和卤代硅烷。氧化源气体包括但不限于氮氧化物、臭氧、氧气和四乙基甲硅烷 (TEOS)。硅源气体和氧化物源气体的流量通过流量计(未图示)控制。在本实施例中，
4真空泵13为机械真空泵。反应腔12为立式炉管。低压淀积氧化硅工艺需要在低压反应 腔12中进行。反应腔12为该工艺提供没有污染气体的工艺条件。反应腔12的低压真 空环境通过真空泵13获得。请继续参阅图1，所述低压淀积氧化硅工艺实现装置1用于形成氧化硅膜。该工 艺是使用反应腔12中的热能源分解由气体控制系统11输送到反应腔12内的反应气体以 形成氧化物膜。所述用于反应腔12中进行氧化硅膜淀积的热能源由加热装置(未图示) 控制。在本实施例中，加热装置为电阻加热装置。所述加热装置具有上控温区121和下 控温区122。其中，所述上控温区121的温度范围为680 710°C。所述下控温区122 的温度范围为660 685 °C。请参阅图2，并结合参阅图1与图3，图2所示为低压淀积氧化硅工艺2的流程 图。图3为低压淀积氧化硅工艺2的控温淀积过程图。所述低压淀积氧化硅工艺2的流 程包括以下步骤执行步骤S21 将晶圆3固定在晶舟(未图示)上，并置入反应腔12。执行步骤S22 通过气体控制体系11向反应腔12输送反应气体。反应气体在 与晶圆3的表面面积相一致的面积上进行分布。执行步骤S23:反应腔12的加热装置温度调控。具体而言，即根据氧化硅膜厚 的要求，调控加热装置的上控温区121和下控温区122的温度，使反应腔12的不同区段 具有预期的温度设置。具体而言，即使上控温区121具有上温度点1211，下控温区具有 下温度点1221。执行步骤S24:氧化硅膜的分步淀积。分步淀积过程中，在反应腔12的上控温 区121的上温度点1211下降到下控温区122的下温度点1221的过程中，反应腔12内部 和晶圆3上的温度控制在预定水平，足以热分解反应气体，便开始在晶圆3上淀积形成氧 化硅膜。其中，在分步淀积过程中，反应腔12的各个不同区段，其上控温区121的上温 度点1211和下控温区122的下温度点1221具有相同的差值。同时，根据氧化硅膜淀积 的厚度要求，可相应地将上温度点1211和下温度点1221同步上调或降低相同的温度。执行步骤S25:氧化硅膜的淀积。依次重复执行步骤S24，重复执行的次数为3 次或3次以上，淀积时间为9 12分钟。在本实施例中，优选的重复执行次数为5次， 淀积时间为10分33秒，每次淀积氧化硅膜厚为600埃。利用注入到反应腔内的反应气体，同时保持期望的温度和压力恒定不变，反应 气体热分解，硅和氧中间反应并在晶圆3的表面上形成氧化硅膜。根据所期望的氧化硅 膜的厚度、压力，以及所有反应气体的流速，可相应地调控加热装置的上控温区121的 上温度点1211和下控温区122的下温度点1221以控制氧化硅膜的厚度。请参阅图4 (a)、图4 (b)，图4 (a)所示为采用现有技术所获得的氧化硅膜均勻度 的示意图。图4(b)所示为采用上述低压淀积氧化硅工艺2的流程所获取的氧化硅膜均勻 度的示意图。明显地，采用本实施例低压淀积氧化硅工艺2的流程所获取的氧化硅膜均 勻度得到了很大的改善。具体而言，均勻度从1.5%改善到了 0.9%。在本实施例中，将 氧化硅膜淀积进行5次分步淀积，在获得相同膜厚的同时，使得反应气体能够充分的反 应，并均一的淀积在晶圆3表面。综上所述，本发明通过调节反应腔12的上控温区121的上温度点1211和同步调节下控温区122的下温度点1221，并在上温度点1211下降到下温度点1221的过程中，进 行氧化硅膜分步淀积，不仅能极大的改善氧化硅膜淀积的均勻度，提高产品品质，而且 该工艺方法操作简单，又能满足芯片制造商对不同膜厚的需求。 本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本 发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的 保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。
权利要求
1.一种低压淀积氧化硅工艺方法，其特征在于所述方法包括固定晶圆，并置入反应腔；向反应腔输送反应气体；调节反应腔加热装置上控温区的上温度点和下控温区的下温度点，所述上温度点和 下温度点的调节方式为将上温度点和下温度点同步上调或降低相同的温度；氧化硅膜的分步淀积，所述分步淀积是在反应腔的上温度点下降到下温度点的过程 中执行；重复执行分步淀积，完成氧化硅膜淀积。
2.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 阻加热装置。
3.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 不同区段的立式炉管。
4.如权利要求3所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 不同区段的上温度点和下温度点具有相同的差值。
5.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 度范围为680 710°C。
6.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 度范围为660 685°C。
7.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 硅源气体和氧化源气体。
8.如权利要求9所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 但不限于硅烷、乙硅烷、甲基硅烷和卤代硅烷。
9.如权利要求9所述的低压淀积氧化硅工艺方法， 括但不限于氮氧化物、臭氧、氧气和四乙基甲硅烷。
10.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法 淀积的淀积时间为9 12分钟。
11.如权利要求1所述的低压淀积氧化硅工艺方法 淀积的次数为3次或3次以上。
12.如权利要求12所述的低压淀积氧化硅工艺方法，其特征在于所述重复执行分 步淀积的次数为5次。
13.如权利要求13所述的低压淀积氧化硅工艺方法，其特征在于所述分步淀积生 成的氧化硅膜的厚度为600埃。
14.如权利要求13所述的低压淀积氧化硅工艺方法，其特征在于所述完成氧化硅 膜淀积的淀积时间为10分钟33秒。其特征在于所述加热装置为电 其特征在于所述反应腔为具有 其特征在于所述立式炉管的各 其特征在于所述上控温区的温 其特征在于所述下控温区的温 其特征在于所述反应气体包括 其特征在于所述硅源气体包括 其特征在于所述氧化源气体包 ，其特征在于所述完成氧化硅膜 ，其特征在于所述重复执行分步
全文摘要
一种低压淀积氧化硅工艺方法，所述方法包括固定晶圆，并置入反应腔；向反应腔输送反应气体；调节反应腔加热装置上控温区的上温度点和下控温区的下温度点，所述上温度点和下温度点的调节方式为将上温度点和下温度点同步上调或降低相同的温度；氧化硅膜的分步淀积，所述分步淀积是在反应腔的上温度点下降到下温度点的过程中执行；重复执行分步淀积，完成氧化硅膜淀积。本发明通过调节反应腔的上控温区的上温度点和同步调节下控温区的下温度点，并在上温度点下降到下温度点的过程中，进行氧化硅膜分步淀积，不仅能极大的改善氧化硅膜淀积的均匀度，提高产品品质，而且该工艺方法操作简单，又能满足芯片制造商对不同膜厚的需求。
文档编号C23C16/40GK102011105SQ20101050469
公开日2011年4月13日 申请日期2010年10月12日 优先权日2010年10月12日
发明者王硕, 许忠义 申请人:上海宏力半导体制造有限公司