稳定的软磁性合金纳米颗粒的气相合成的制作方法

文档序号:11159671阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种软磁性纳米颗粒,其包含作为核的DO3相铁铝化物纳米合金,所述铁铝化物纳米合金包封在由氧化铝制成的惰性壳中。

2.如权利要求1所述的软磁性纳米颗粒,其还包含所述纳米颗粒上的聚合物涂层。

3.如权利要求1所述的软磁性纳米颗粒,其中,所述聚合物是阿拉伯胶(GA)。

4.如权利要求1所述的软磁性纳米颗粒,其中,所述纳米颗粒具有在300K下等于约170emu/g以上的饱和磁化强度和在300K下为约20Oe以下的矫顽磁性。

5.如权利要求1所述的软磁性纳米颗粒,其中,由铁铝化物制成的所述核是结晶相,并且所述惰性壳是非晶相。

6.一种形成软磁性纳米颗粒的方法,所述软磁性纳米颗粒各自包含作为核的DO3相铁铝化物纳米合金,所述铁铝化物纳米合金包封在由氧化铝制成的惰性壳中,所述方法包括:

通过在Ar气氛下共溅射Fe原子和Al原子而在聚集区中产生Al和Fe金属原子的过饱和蒸气;

由所述过饱和蒸气产生较大的纳米颗粒;

使所述较大的纳米颗粒穿过孔,在所述孔的前后具有压差,从而生成从所述孔中逸出的所述纳米颗粒的纳米团簇束;和

将所述纳米团簇束引导至基板以将所述纳米颗粒沉积到所述基板上。

7.如权利要求6所述的方法,其中,所述产生过饱和蒸气的步骤包括对Al靶材和对Fe靶材施加单独的磁控管功率来进行溅射。

8.如权利要求6所述的方法,其还包括将沉积在所述基板上的所述纳米颗粒暴露至氧化物,以将所述纳米颗粒的表面氧化。

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