一种多孔二氧化钛薄膜及其制备方法与流程

文档序号:11126673阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多孔二氧化钛薄膜的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)材料的预处理

把钛片剪成丝状,超声清洗,其中超声清洗的溶剂依次分别为丙酮、无水乙醇、蒸馏水,将清洗后的钛片于烤箱中,烘干,备用;

(2)真空蒸发镀膜

称取0.2-0.6g的钛,在压强为3.0×10-3Pa、蒸发电流为240A的环境下,以洁净的导电玻璃(FTO/glass)为载体,在真空蒸发系统中镀膜,得到Ti/FTO/glass,在压强为3.0×10-3Pa、温度为500℃的环境下退火,冷却;

(3)多孔二氧化钛薄膜的制备

将步骤(2)得到的Ti/FTO/glass在5-30V的电压下电解完成后在450-600℃的环境下退火,即得。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(1)每种溶剂的超声时间均为10min。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(1)的烘烤温度为80℃。

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)钛的质量为0.4g。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(2)的退火时间为30min,温度为500℃。

6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(3)的电解液为0.3mol/L的氟化铵的乙二醇溶液,所述电压为20V。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(3)中待Ti/FTO/glass电解至浅灰色时取出退火。

8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述步骤(3)的退火时间为30min, 退火温度为500℃。

9.一种多孔二氧化钛薄膜,其特征在于,所述多孔二氧化钛薄膜是由权利要求1-8中任意一项所述制备方法制备而成。

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