技术总结
一种基于原子团簇束流的针对有机体的纳米加工方法，利用团簇束流对于蒸气压高的有机物进行真空内的纳米加工，实现纳米颗粒到达有机物表面并进行功能化生长；原子团簇离子达到1.5×108amu m/s的动量；指蒸气压在室温条件下为0.1‑100Pa的固体材料。有机物原子团簇束流的产生装置有串联的I室、II室和III室；通过I室、II室之间或/与II室、III室之间喷嘴张开角度的实现原子团簇束流等速度生长，喷嘴角度张开的角度为5到35度。
技术研发人员：王学锋
受保护的技术使用者：宋凤麒
文档号码：201610622687
技术研发日：2016.08.01
技术公布日：2016.11.16