磨削装置的制作方法

文档序号:12150662阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磨削装置,其具有:

两个以上的保持单元,该保持单元具有使对晶片进行保持的卡盘工作台旋转的电动机;

旋转工作台,两个以上的该保持单元以均等的间隔配设于该旋转工作台,并且该旋转工作台旋转;

分隔部,其配设在该旋转工作台之上并将两个以上的卡盘工作台之间分隔;

磨削单元,其具有对该卡盘工作台所保持的晶片进行磨削的磨削磨具;以及

磨削水提供单元,其对晶片和该磨削磨具提供磨削水,

其特征在于,

该电动机配设在该旋转工作台之上,

该分隔部具有凹部,该凹部将配设在该旋转工作台之上的该电动机收纳在内侧,

通过使该磨削水与该分隔部的外侧接触,而对该分隔部和收纳在该分隔部内的该电动机进行冷却。

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