待命位置，此待命位置位于有效蒸镀角涵盖区域之外。仔细地说，蒸镀源106为可加热的坩锅，其具有蒸镀角Θ以及此蒸镀角Θ所涵盖的一个有效蒸镀角涵盖区域，在此区域内的待镀基材会被镀膜，而在此区域之外的物体则不会被直接影响。
[0036]第一拨动件410与第二拨动件420在枢转的过程可分为三个作动。如图3Β所示，第一个作动是转动器440转动第一拨动件410以顺时针方向旋转，此时第一拨动件410会先贴合地推抵旋臂210的弧臂212，而喂料盘320会受旋臂210连接带动而从原待命位置朝喂料位置的方向位移。此喂料位置位于有效蒸镀角涵盖区域内。当第一拨动件410拨动旋臂210至弧臂212与弧臂214的交接处时，喂料模块300被变换定位至喂料位置上。
[0037]如图3C所示，第二个作动是第一拨动件410推抵至弧臂212与弧臂214的交接处后，第一拨动件410会贴抵着弧臂214持续朝顺时针方向转动。此时，喂料盘320以及整个喂料模块300会定位于喂料位置上而不会移动。换句话说，弧臂214的弧度与第一拨动件410转动的弧形轨迹相同且重叠，因而造成第一拨动件410转动而弧臂214不动的状况产生。再者，当喂料盘320位移至喂料位置时，喂料孔314对应蒸镀源106，且喂料位置位于蒸镀源106的中心上方。此外，在第二个作动中，第二拨动件420会拨动其中一个拨杆322，使喂料盘320及拨杆322旋转角度α而让其中一个含有待镀原料104的储料槽324对齐喂料孔314，进而导致待镀原料104穿过喂料孔314而掉落释放至蒸镀源106内。值得一提的是，上述角度α为两相邻拨杆322的间隔夹角，以本实施例的喂料盘320具有十六个拨杆322而言，此角度α为22.5度，而不同的拨杆322数量会产生不同的角度α大小。
[0038]如图3Α所示，第三个作动是在第一拨动件410不接触旋臂210且第二拨动件420不接触拨杆322的条件下，转动器440仍顺时针方向转动第一拨动件410、第二拨动件420以及转轴430。此时弹性件500会拉动旋臂210而使喂料模块300位移至待命位置。本结构透过单一转轴430结合第一拨动件410与第二拨动件420的架构可实现稳定且迅速的喂料控制，其无需使用两个转动器440以及两个真空馈孔110，仅需一个转动器440与一个真空馈孔110即可完成喂料作动，不但操作简单而且可以大幅降低喂料装置的制造成本。
[0039]弹性件500的一端连接旋臂210，而弹性件500的一端可连接真空腔体102的内壁或设于内壁上的定位杆。无论设于真空腔体102内何处，只要其伸缩的过程中能将旋臂210稳定地往复位移于待命位置与喂料位置之间以完成掉料的作动即可。
[0040]配合参阅图1，图4是绘示本实用新型另一实施方式的真空镀膜的喂料装置10a的示意图。此真空镀膜的喂料装置10a设置于真空腔体102且可控制待镀原料104喂料于蒸镀源106的时机，而且此真空镀膜的喂料装置10a包含移动模块200a、喂料模块300、拨动模块400a。
[0041]在图4图的实施方式中，喂料模块300与图1中对应的方块相同，不再赘述。特别的是，移动模块200a包含旋臂210a、连动轴240、第一齿轮250、第二齿轮260、第二转轴270以及第二转动器280。其中旋臂210a连接喂料模块300的本体310与连动轴240。连动轴240连接第一齿轮250，第一齿轮250啮合第二齿轮260。第二齿轮260连接第二转轴270的一端，而第二转动器280则连动第二转轴270的另一端。此外，拨动模块400a包含拨动件410a、第一转轴430a、第一转动器440a以及固定座450a。其中第一转轴430a的一端连接拨动件410a。第一转动器440a则连动第一转轴430a的另一端而使拨动件410a转动。再者，真空腔体102设有第一真空馈孔IlOa与第二真空馈孔120。其中第一转轴430a贯穿第一真空馈孔110a，而第二转轴270则贯穿第二真空馈孔120。第一转动器440a与第二转动器280均位于真空腔体102的外侧，且其透过固定座450a定位。另外值得一提的是，旋转的拨动件410a可拨动喂料模块300的拨杆322，使喂料盘320及拨杆322旋转角度α而让含有待镀原料104的储料槽324对齐喂料孔314，进而促使待镀原料104穿过喂料孔314而掉落释放至蒸镀源106内，以实现持续不间断的镀膜程序。此真空镀膜的喂料装置10a利用双轴结合双转动器的结构来实现喂料的控制，不但可使喂料模块300位移于待命位置与喂料位置之间，还能在真空环境下迅速补充待镀原料104，使工艺可以持续进行而无需破真空补充待镀原料104。
[0042]配合参阅图1，图5是绘示本实用新型又一实施方式的真空镀膜的喂料装置10b的示意图。此真空镀膜的喂料装置10b设置于真空腔体102且可控制待镀原料104喂料于蒸镀源106的时机，而且此真空镀膜的喂料装置10b包含移动模块200b、喂料模块300、拨动模块400b。
[0043]在图5的实施方式中，喂料模块300与图1中对应的方块相同，不再赘述。特别的是，移动模块200b包含旋臂210b、连动轴240b、外轴242、第一皮带轮292、皮带294、第二皮带轮296、第二转轴270b以及第二转动器280b。其中旋臂210b连动喂料模块300且连接连动轴240b，而外轴242连接连动轴240b与第一皮带轮292，皮带294连接第一皮带轮292与第二皮带轮296，至于第二转轴270b的一端则连动第二皮带轮296，第二转动器280b连动第二转轴270b的另一端。此外，拨动模块400b包含拨动件410b、第一转轴430b、第一转动器440b以及固定座450b。其中第一转轴430b的一端连接拨动件410b。第一转动器440b则连动第一转轴430b的另一端而使拨动件410b转动。再者，真空腔体102设有一真空馈孔110b，第一转轴430b与外轴242均贯穿真空馈孔110b。第一转动器440b与第二转动器280b均设于真空腔体102的外侧，且其透过固定座450b定位。此真空镀膜的喂料装置10b利用利用贯穿真空馈孔IlOb的第一转轴430b结合双转动器的结构来实现喂料的控制，不但可使喂料模块300位移于待命位置与喂料位置之间，还能在高真空环境下迅速补充待镀原料104，使工艺可以持续进行而无需破真空补充待镀原料104，从而延长工艺时间，同时可避免因中途断料而必须破真空填料让其他尚未用尽且对大气成分中水氧极为敏感的材料产生劣化变质的可能。
[0044]图1的第一拨动件410与第二拨动件420、图4的拨动件410a以及图5的拨动件410b若旋转十六周，则喂料盘320会旋转一周，且待镀原料104会全部释放完毕。有此可知，若每个储料槽324均放置待镀原料104，则本实用新型的真空镀膜的喂料装置100、100a、10b可补充十六次。
[0045]除了上述的实施例外，本实用新型的移动模块还可利用位移件(未示于图中)来实现直线方式的位移。喂料盘320可受位移件直线地位移而变换定位在待命位置或喂料位置。此外，位移件可包含转移部(未示于图中)，此转移部可为现有的蜗杆蜗轮或气压缸结构，透过自动控制可使喂料盘320限位地往复直线位移于待命位置与喂料位置之间。此外，上述实施例的转动器440、第一转动器440a、440b以及第二转动器280、280b可为电动马达、压电致动器或电磁阀等，其结构细节为现有技术，不再赘述。
[0046]由上述实施方式可知，本实用新型具有下列优点:其一，可弧形或直线地往复位移喂料模块的喂料盘于待命位置与喂料位置之间，其不但能在高真空环境下迅速补充待镀原料，使工艺得以持续进行不中断进而延长工艺时间，同时可避免因中途断料而必须破真空填料让其他尚未用尽且对大气成分中水氧极为敏感的材料产生劣化变质的可能。其二，透过单一转轴结合双拨动件的结构可实现喂料的控制，其无需两个转动器以及两个真空馈孔，仅需一个转动器与一个真空馈孔，其操作简单且可大幅降低喂料装置的制造成本。其三，利用双转动器的结构也可实现喂料的控制，此类结构可以精准地控制各模块的作动时间与对应位置。
[0047]虽然本实用新型已经以实施方式公开如上，然其并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种变动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求所界定者为准。
【主权项】
1.一种真空镀膜的喂料装置，其设置于真空腔体且控制待镀原料喂料于蒸镀源的时机，其特征在于，所述真空镀膜的喂料装置包含: 喂料模块，其包含喂料盘，所述喂料盘包含多个储料槽，所述待镀原料预置于其中一个所述储料槽内；以及 移动模块，其包含旋臂，所述喂料盘受所述旋臂连接带动变换定位在待命位置或喂料位置，所述喂料位置位于有效蒸镀角涵盖区域内，所述待命位置则位于所述有效蒸镀角涵盖区域外，所述旋臂使所述移动模块位移至所述喂料位置而释放所述待镀原料，所述旋臂随后连接带动所述移动模块位移至所述待命位置。2.如权利要求1所述的真空镀膜的喂料装置，其特征在于，所述移动模