>[0036]请继续参阅图1，载物台10的上表面的边缘设置有垂直于载物台10的上表面的升降导柱13;升降台20安装在升降导柱13上，升降台20可沿升降导柱13的长度方向做升降移动。具体实施时，载物台10的上表面为水平面，载物台10的上表面的边缘竖直设置有升降导柱13;升降台20安装在升降导柱13上，且升降台20可沿升降导柱13的长度方向做升降移动，例如，沿升降导柱13的长度方向，在升降导柱13上设置升降滑槽14或者升降滑轨，升降台20上设置有升降滑块，升降滑块滑动安装在升降滑槽14中，或者，升降滑块滑动安装在升降滑轨上；当升降台20沿升降导柱13的长度方向做升降移动时，带动磨头30做升降移动。
[0037]为了改善升降台20沿升降导柱13的长度方向做升降移动时的可靠性和稳定性，请继续参阅图1，载物台10的上表面为矩形，升降导柱13的数量为两个，两个升降导柱13分别位于载物台10的上表面的两个相对的边缘;升降台20包括支撑杆21，磨头30安装在支撑杆21上;支撑杆21的两端分别安装在对应的升降导柱13上，支撑杆21与升降驱动装置连接，升降驱动装置驱动支撑杆21沿升降导柱13的长度方向做升降移动。
[0038]举例来说，载物台10的上表面为水平面，且载物台10的上表面为矩形，载物台10的上表面的两个相对的边缘分别竖直设置有升降导柱13，例如，如图2所示，载物台10的上表面的左侧边缘竖直设置一个升降导柱13，载物台10的上表面的右侧边缘竖直设置有一个升降导柱13，且两个升降导柱13相对，也就是说，在载物台10的上表面相对的两个侧边的边缘分别设置一个升降导柱13，两个升降导柱13相对;沿升降导柱13的长度方向，两个升降导柱13上分别设置有升降滑槽14或升降滑轨，支撑杆21的两端分别设置有升降滑块，升降滑块分别安装在对应的升降滑槽14或者升降滑轨上;支撑杆21与升降驱动装置连接，升降驱动装置驱动支撑杆21沿升降导柱13的长度方向做升降移动。在载物台10的上表面的边缘设置两个升降导柱13，与设置一个升降导柱13相比，防止支撑杆21沿升降导柱13的长度方向做升降移动时发生晃动，进而改善支撑杆21沿升降导柱13的长度方向做升降移动时的可靠性和稳定性。
[0039]请继续参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，磨头30滑动安装在支撑杆21上，SP磨头30可沿支撑杆21的长度方向滑动。具体实施时，沿支撑杆21的长度方向，可以在支撑杆21上设置横向滑槽，在磨头30上设置与横向滑槽相配合的横向滑块，例如，如图2所示，支撑杆21的长度方向为左右方向，沿着左右方向，在支撑杆21上设置横向滑槽，在磨头30上设置与横向滑槽相配合的横向滑块，磨头30可沿左右方向往复移动。当使用时，通过使磨头30沿支撑杆21的长度方向移动，以调整磨头30的位置，使磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区正对，方便了磨头30的位置的调节，以使磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区对准，从而改善了磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区的对位精度。
[0040]为了进一步改善磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区的对位精度，请继续参阅图1，载物台1中设有通槽11，通槽11的开口位于载物台1的上表面，通槽11的延伸方向平行于载物台10的上表面，且通槽11的延伸方向不平行于支撑杆21的长度方向；载物台10包括滑动安装在通槽11内的载物板15，待研磨基板放置在载物板15的上表面上。
[0041]举例来说，支撑杆21的长度方向为图2中的左右方向，磨头30可沿支撑杆21的长度方向滑动，即磨头30可沿图2中的左右方向滑动;沿垂直于支撑杆21的长度方向、且平行于载物台1的上表面的方向，载物台1内开设有通槽11，也就是说，通槽11的延伸方向垂直于支撑杆21的长度方向，且平行于载物台10的上表面的方向，即沿图2中前后的方向，载物台1内开设有通槽11，通槽11的开口位于载物台1的上表面;载物台1包括位于通槽11内的载物板15，载物板15的上表面与载物台10的上表面平行，且载物板15可沿通槽11的延伸方向滑动，例如，如图1所示，载物台10的上表面为矩形，在载物台10中开设通槽11，通槽11贯穿载物台10的前后两侧，且通槽11的开口位于载物台10的上表面，通槽11的延伸方向与支撑杆21的长度方向垂直，并与载物台10的上表面平行，通槽11的两个槽壁分别开设有朝向载物台1内凹陷的纵向滑槽12，纵向滑槽12贯穿载物台1的前后两端，即纵向滑槽12的延伸方向与通槽11的延伸方向相同，载物板15的截面为矩形，载物板15上相对的两侧分别设置有与对应的纵向滑槽12相匹配的纵向凸条16。
[0042]使用时，可以先将待研磨基板放置在载物板15的上表面，然后将载物板15的两个纵向凸条16分别插入对应的纵向滑槽12内，并推动载物板15，以带动载物板15的上表面上的待研磨基板，使待研磨基板位于磨头30的下方;然后使磨头30沿着支撑杆21的长度方向滑动，并使载物板15沿着纵向滑槽12的延伸方向滑动，调整磨头30在图2中的左右位置和待研磨基板在图2中的前后位置，以使待研磨基板的研磨区与磨头30上的研磨面32正对;然后使支撑杆21沿着升降导柱13的长度方向朝向载物台10移动，带动磨头30朝向载物台10移动，当磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区接触时，使支撑杆21停止移动;然后使磨头30对待研磨基板的研磨区进行研磨，以去除待研磨基板的表面上的局部划痕。
[0043]在载物台10的上表面设置载物板15，且载物板15在载物台10的上表面上可沿垂直于支撑杆21的长度方向的方向滑动，因而在本实用新型实施例提供的基板研磨装置中，可以在多个方向上调整待研磨基板的研磨区与磨头30上的研磨面32之间相对位置，以使待研磨基板的研磨区与磨头30上的研磨面32正对，从而进一步改善磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区的对位精度。
[0044]上述实施例中，通槽11的延伸方向垂直于支撑杆21的长度方向，在实际应用中，通槽11的延伸方向不平行于支撑杆21的长度方向即可，也就是说，通槽11的延伸方向与支撑杆21的长度方向呈一定夹角即可，例如通槽11的延伸方向与支撑杆21的长度方向呈30°，或者，45。，或者，60°。
[0045]值得一提的是，采用本实用新型实施例提供的基板研磨装置去除待研磨基板的表面上的局部划痕时，研磨步骤还可以为:首先，将待研磨基板放置在载物板15的上表面上，并载物板15的两个纵向凸条16分别插入对应的纵向滑槽12内，推动载物板15，以带动载物板15的上表面上的待研磨基板，使带研磨基板30位于磨头30的下方;然后，使支撑杆21沿着升降导柱13的长度方向朝向载物台10移动一定距离，带动磨头30朝向载物台10移动一定距离，此时磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区不接触;然后，使磨头30沿着支撑杆21的长度方向滑动，并使载物板15沿着纵向滑槽12的延伸方向滑动，调整磨头30在图2中的左右位置和待研磨基板在图2中的前后位置，即调整磨头30在图2中的左右位置和待研磨基板在图3中的左右位置，以使待研磨基板的研磨区与磨头30上的研磨面32正对;然后，使支撑杆21沿着升降导柱13的长度方向朝向载物台1移动，带动磨头30朝向载物台10移动，当磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区接触时，使支撑杆21停止移动；然后使磨头30对待研磨基板的研磨区进行研磨，以去除待研磨基板的表面上的局部划痕。
[0046]在上述实施例中，当将待研磨基板放置在载物台10的上表面上后，可以采用多种方式对待研磨基板进行固定，例