如，在载物台10内设置真空吸附孔，真空吸附孔的开口位于载物台10的上表面，真空吸附孔与真空抽取装置连通，使用时，将待研磨基板放置在载物台10的上表面上后，启动真空抽取装置，以将待研磨基板吸附在载物台10的上表面上，实现对待研磨基板的固定;或者，在载物台10上设置环绕载物台10的上表面的多个夹具，使用时，将待研磨基板放置在载物台10的上表面上后，通过多个夹具将待研磨基板固定在载物台10的上表面上。
[0047]在本实用新型实施例中，请继续参阅图1和图2，所述基板研磨装置还包括压头40，压头40安装在升降台20上；磨头30随升降台20朝向载物台10移动，磨头30与待研磨基板的研磨区接触时，压头40将待研磨基板压紧在载物台10的上表面上。举例来说，载物台10的上表面呈矩形，载物台10的上表面其中一对相对的两个边缘分别竖直设置一个升降导柱13;升降台20包括支撑杆21，支撑杆21的两端分别安装在对应的升降导柱13上;磨头30和压头40分别安装在支撑杆21上。使用时，可以先将待研磨基板放置在载物台10的上表面上，并调整磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区之间的相对位置关系，使待研磨基板的研磨区与磨头30上的研磨面32正对;然后使支撑杆21沿着升降导柱13的长度方向朝向载物台10移动，带动磨头30和压头40沿着升降导柱13的长度方向朝向载物台10移动，当磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区接触时，使支撑杆21停止移动，此时，利用压头40将待研磨基板压紧在载物台10的上表面上。
[0048]请继续参阅图1至图4，升降台20包括安装盘22，磨头30和压头40分别安装在安装盘22上，磨头30位于在安装盘22的中部，压头40位于在安装盘22的边缘。举例来说，升降台20包括支撑杆21和安装盘22，安装盘22滑动安装在支撑杆21上，安装盘22可沿支撑杆21的长度方向滑动，安装盘22为圆盘结构；磨头30和压头40均安装在安装盘22的下方，且磨头30位于安装盘22的中部，压头40位于安装盘22的边缘。使用时，使支撑杆21沿垂直于载物台10的上表面的方向做升降移动，安装盘22、磨头30和压头40也沿垂直于载物台10的上表面的方向做升降移动，当磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区接触时，使支撑杆21停止移动，并通过压头40对临近待研磨基板的研磨区的边缘施加压力，以将待研磨基板压紧在载物台10的上表面上。
[0049]将磨头30和压头40均安装在安装盘22上，使安装盘22沿支撑杆21的长度方向滑动时，可同时带动磨头30和压头40沿支撑杆21的长度方向滑动，由于磨头30位于安装盘22的中部，压头40位于安装盘22的边缘，因而通过压头40将待研磨基板压紧在载物台10的上表面上时，待研磨基板上与压头40接触的区域始终位于待研磨基板的研磨区的周围，防止因待研磨基板的研磨区的周围未被压紧而导致研磨区受力不均，从而可以改善对待研磨基板的研磨区进行研磨时的精度和平整度。
[0050]上述实施例中，压头40的数量可以为一个，也可以为两个或两个以上。在本实用新型实施例中，请继续参阅图1和图2，压头40的数量为四个，四个压头40均匀分布在安装盘22的边缘。如图1所示，安装盘22为圆盘结构，且安装盘22滑动安装在支撑杆21上，安装盘22可沿支撑杆21的长度方向滑动;磨头30和四个压头40均安装在安装盘22的下方，其中，磨头30位于安装盘22的中部，四个压头40均匀分布在安装盘22的边缘。四个压头40环绕磨头30均匀分布，可以改善待研磨基板的研磨区的周边区域的受力均匀性，防止待研磨基板因受力不均而破损。
[0051]请参阅图1和图5，在本实用新型实施例中，压头40包括安装在升降台20上的压头支柱41和位于压头支柱41下方的压板42，压头支柱41上设置有用于调节压板42施加在待研磨基板上的压力的调压件50。如图所示，压头40的数量为四个，磨头30和四个压头40均安装在安装盘22上，每个压头40包括安装在安装盘22上的压头支柱41和位于压头支柱41下方的压板42，压板25可以与待研磨基板接触，以将待研磨基板压紧在载物台10的上表面上。使用时，使支撑杆21沿垂直于载物台10的上表面的方向做升降移动时，安装盘22、磨头30和四个压头40也沿垂直于载物台10的上表面的方向做升降移动，当磨头30上的研磨面32与待研磨基板的研磨区接触时，使支撑杆21停止移动，然后调节每个压头40的压头支柱41上的调压件50，以调节每个压头40的压板42施加在待研磨基板上的压力，改善待研磨基板的研磨区的周边区域的受力均匀性，并使每个压头40的压板42施加在待研磨基板上的压力合理，进而防止待研磨基板因受到压板42的压力不合理而引起损坏。
[0052]另外，每个压头40的压头支柱41上均设置有调压件50，调压件50用于调节对应的压板42施加在待研磨基板上的压力，对完成对盒后的显示基板的研磨区进行研磨，如果显示基板的研磨区位于显示基板靠近印刷电路板的边缘，此时，利用压头40将显示基板压紧在载物台10的上表面上时，其中一个或者两个压头40的压板42可能与印刷电路板接触，为了防止压头40的压板42对印刷电路板产生干扰，则可以调节可能与印刷电路板接触的压头40的压头支柱41上的调压件50，使对应的压板42不与印刷电路板接触，防止压头40的压板42对印刷电路板产生干扰。
[0053]上述实施例中，通过调压件50调节对应的压板42施加在待研磨基板上的压力，形式可以有多种。例如，压头支柱41包括多个呈圆柱形的伸缩杆节，每个伸缩杆节的外表面具有外螺纹，相邻的两个伸缩杆节中，外径较大的伸缩杆节内开设有容纳外径较小的伸缩杆节的容纳孔，容纳孔的孔壁上设置有与外径较小的伸缩杆节的外螺纹相匹配的内螺纹;压头支柱41的一端与压板42固定连接，另一端可插入设置有内螺纹的套筒中，调压件50包括具有内螺纹的套筒。使用时，转动套筒，使压头支柱41伸长或缩短，进而调节压板42施加在待研磨基板上的压力。
[0054]在本实用新型实施例中，请继续参阅图5，沿压头支柱41的长度方向，压头支柱41内具有容纳腔43;调压件50包括弹性件52、压柱51和调节旋钮53，其中，弹性件52和压柱51均位于容纳腔43内，弹性件52的一端与压板42连接，弹性件52的另一端与压柱51连接;压柱51与调节旋钮53固定连接，旋转调节旋钮53，压柱51可沿压头支柱41的长度方向滑动。举例来说，压头支柱41呈圆柱形，沿压头支柱41的轴向，压头支柱41内具有容纳腔43，压头支柱41的外周面上设置有外螺纹;弹性件52和压柱51均设置在容纳腔43内，弹性件52位于压柱51的下方，且弹性件52的一端与压板42连接，弹性件52的另一端与压柱51连接;调节旋钮53包括套设在压头支柱41的外周面上的套筒，套筒的内周面上具有与压头支柱41的外周面上的外螺纹相匹配的外螺纹;压柱51与套筒固定连接。弹性件52可以为弹簧。
[0055]使用时，旋转调节旋钮53的套筒，带动压柱51在容纳腔43内沿压头支柱41的长度方向滑动，以压缩或松开弹性件52，在弹性件52的作用下，调节压板42施加在待研磨基板上的压力。
[0056]在本实施例中，压板42与待研磨基板接触的表面上设置有缓冲层，也就是说，压板42的下表面上设置有缓冲层。缓冲层的设置，使得压板42与待研磨基板之间的接触为非刚性接触，从而可以防止因压板42与待研磨基板之间的接触为刚性接触时引起待研磨基板的损伤。缓冲层可以为橡胶缓冲层，或者，绒布缓冲层。
[0057]采用上述实施例提供的基板研磨装置去除待研磨基