一种氮化铝陶瓷的金属化方法与流程

文档序号:15678488发布日期:2018-10-16 20:19阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种氮化铝陶瓷的金属化方法,包括以下步骤:1)、制备活化Mo‑Mn粉末;2)、加入有机载体,将活化Mo‑Mn粉末配成金属化膏剂;3)、在氮化铝陶瓷表面涂覆金属化膏剂;4)、陶瓷氧化与金属化层烧结:在低温下通入干氢或氢氮混合气体,在900℃后通入湿氢或湿氢氮混合气体,并在900~1100℃保温30~90min,露点控制在15±5℃,在氮化铝陶瓷表面出现氧化铝层;然后继续升温,在1400~1500℃保温45~90min,升温阶段通入干氢或氢氮混合气体,控制露点为5±10℃。本发明解决采用现有活化Mo‑Mn法对氮化铝陶瓷进行金属化处理导致氮化铝陶瓷氧化过度、在烧结过程中氮化铝陶瓷易发生水解的问题,且氧化和烧结一步完成,制备的氮化铝陶瓷‑金属封接件封接强度较高,气密性良好。

技术研发人员:陈欣;杨洁;黄刚;李天涛;向军;陈弹蛋;刘平;龙继东
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院流体物理研究所
技术研发日:2018.06.01
技术公布日:2018.10.16
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