吊装传送机的抓手单元的制作方法

本发明涉及一种吊装传送机的抓手单元，且更具体地涉及一种吊装传送机的抓手单元，其能够在装载和卸载卡匣时抓住卡匣。

在基板上进行各种工艺以制造半导体装置或液晶显示器装置。使用将基板转移至进行工艺的加工装置的吊装传送机。在这里，为了改进吊装传送机的转移效率，基板被收纳在能够收纳多个基板的卡匣中，且随后在卡匣中装载有基板的状态中将卡匣转移至吊装传送机。

此外，卡匣可通过吊装传送机下降且随后被装载至加工装置中的每一个的装载口中，或可由吊装传送机从装载口卸载卡匣以上升。在这里，吊装传送机可通过使用皮带而固定抓手单元以固定卡匣，并通过使用抬升单元而允许皮带上升，以进行卡匣的装载和卸载。

由于抓手单元是通过使用皮带而固定的，当抬升抓手单元时，在抓手单元中可能会频繁地发生振动。因此，由于振动，可能无法准确地装载和卸载卡匣。可替代地，由于卡匣必须待机直到解决振动为止，因此需要很长时间来装载和卸载卡匣。

技术实现要素：

本发明提供一种抓手单元，用于在卡匣被吊装传送机中的皮带固定的状态下抬升卡匣以装载和卸载卡匣时，减少所发生的振动。

根据一个示例性实施例，一种被固定至由吊装传送机中的抬升单元抬升的皮带以装载和卸载卡匣的吊装传送机的抓手单元包括本体部分，其被固定至皮带；感测部分，其被设置在本体部分上以测量本体部分的振动方向，该振动在抬升被固定至皮带的本体部分时发生；振动阻尼部分，其被设置在本体部分上以改变配重的位置，从而减少本体部分的振动；控制部分，其被配置成控制振动阻尼部分的操作以使得配重根据由感测部分测量的本体的振动方向改变位置；以及固定部分，其被设置在本体部分的底表面上以固定卡匣。

振动阻尼部分可包括配重，其被设置在本体部分的顶表面上以减少本体部分的振动；以及驱动马达，其被连接至配重以绕旋转轴的中心旋转配重，从而改变配重的位置。

振动阻尼部分还可包括扭转弹簧和旋转阻尼器，其被设置在驱动马达的旋转轴上以减少由于配重的旋转而产生的振动。

振动阻尼部分可包括第一和第二振动阻尼器，其是沿X轴线方向彼此对称地进行设置的且X轴线方向对应于关于本体部分的中心点的左/右方向；以及第三和第四振动阻尼器，其是沿Y轴线方向彼此对称地进行设置的且Y轴线方向对应于关于中心点的前/后方向。

控制部分控制第三和第四振动阻尼器，以当沿X轴线方向在本体部分中发生振动时，使第三和第四振动阻尼器的配重改变位置，且控制部分控制第一和第二振动阻尼器，以当沿Y轴线方向在本体部分中发生振动时，使第一和第二振动阻尼器的配重改变位置。

控制部分控制第一和第二振动阻尼器，以当在本体部分中发生偏航振动时，使第一和第二振动阻尼器的配重差异性地改变位置。

附图说明

根据结合附图的下列说明，将更详细地理解示例性实施例，其中：

图1是用于解释根据一个示例性实施例的吊装传送机的抓手单元的平面视图；以及

图2是用于解释图1所示的抓手单元的侧视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细描述根据一个示例性实施例的一种吊装传送机的抓手单元。由于本发明可具有不同的修改实施例，因此在附图中示出特定实施例并在本申请的具体实施方式中对其进行描述。然而，这并不将本发明限制在特定实施例内且应理解，本发明涵盖了在本发明的思想和技术范围内的所有修改、等同物和替换。在所有附图中，相同的参考数字指代相同的元件。在附图中，为了便于描述和清晰性，当与实际尺寸相比时，每个结构的尺寸均是放大的。

将要理解的是，尽管在本文中使用术语如“第一”和“第二”以描述各种元件，但这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个组件与其他组件区分开来。例如，在不脱离所附权利要求的范围的情况下，在一个实施例中被称为第一元件的第一元件可在另一个实施例中被称为第二元件。

在下列描述中，技术术语仅用于解释特定示例性实施例而不用于限制本发明。单数形式的术语可以包括复数形式，除非提及相反的情况为止。“包括”或“包含”的含义指定特性、区域、固定数量、步骤、过程、元件和/或组件，但并不排除其他特性、区域、固定数量、步骤、过程、元件和/或组件。

除非在本文中使用的术语具有不同的定义，否则术语可被解释为本领域的技术人员已知的含义。术语，如通常所使用以及已收录在词典中的术语应被解释为具有与本领域中的语境意义相匹配的含义。在该说明书中，除非明确地进行定义外，术语不会按理论被过度地解释为其形式意义。

图1是用于解释根据一个示例性实施例的吊装传送机的抓手单元的平面视图，以及图2是用于解释图1所示的抓手单元的侧视图。

参考图1和2，吊装传送机的抓手单元100被配置成在吊装传送机中固定卡匣10并被固定至由抬升单元(未示出)抬升的皮带(未示出)。因此，抓手单元100在根据抬升单元的操作进行抬升的同时，将卡匣10的装载至加工装置的端口/从加工装置的端口卸载卡匣10。

抓手单元100包括本体部分110、感测部分120、振动阻尼部分130、控制部分140和固定部分150。

本体部分110具有大致为平板的形状，且皮带的下端被固定至本体部分110的顶表面。特别地，本体部分110包括位于其顶表面上的多个皮带固定构件112。可设有三个皮带固定构件112以由皮带稳定地固定本体部分110。然而，皮带固定构件112的数量并不仅限于此。例如，根据需要，可设有四个皮带固定构件112。

感测部分120被设置在本体部分110上以测量本体部分110的振动方向，该振动在抬升被固定至皮带的本体部分110时发生。

特别地，一个感测部分120可被设置在本体部分110的顶表面的中心部分处，或四个感测部分120可分别设置在限定本体部分110的顶表面的四个侧边的中心部分处。或者，五个感测部分120可分别设置在本体部分110的顶表面的中心部分处以及限定本体部分110的顶表面的四个侧边的中心部分处。

可设置包括加速度传感器、陀螺仪传感器、地磁传感器等的惯性传感器以作为感测部分120的实例。可使用惯性传感器来确认本体部分110的振动方向和速度。

振动阻尼部分130被设置在本体部分110以改变配重131、133、135和137的位置，从而对本体部分110的振动进行阻尼。

振动阻尼部分130可包括第一振动阻尼器130a、第二振动阻尼器130b、第三振动阻尼器130c和第四振动阻尼器130d。

第一和第二振动阻尼器130a和130b是沿X轴线方向彼此对称地进行设置的且对应于关于本体部分110的顶表面的中心点的左/右方向。

第三和第四振动阻尼器130c和130d是沿Y轴线方向彼此对称地进行设置的且对应于关于本体部分110的顶表面的中心点的前/后方向。

特别地，第一振动阻尼器130a包括第一配重131和第一驱动马达132。

第一配重配重131具有各种形状，如球形和六面体形状。第一配重配重131可具有根据本体部分110和卡匣10的重量而改变的重量。

第一驱动马达132被连接至第一配重131以绕第一驱动马达132的旋转轴旋转第一配重131，从而改变第一配重131的位置。

例如，第一驱动马达132被设置在本体部分110的内部，以使其旋转轴从本体部分110的顶表面突出。第一驱动马达132的旋转轴和第一配重131通过使用单独的连接构件而彼此相连。

当第一驱动马达132的旋转轴根据第一驱动马达132的操作旋转时，通过连接构件连接的第一配重131绕第一驱动马达132的旋转轴旋转。因此，第一配重131可改变位置。

当开始或停止第一配重131的旋转时或在第一配重131旋转的同时，可能会由于第一配重131的旋转而发生振动。

第一振动阻尼器130a还可包括扭转弹簧(未示出)和旋转阻尼器(未示出)，其被设于第一驱动马达132的旋转轴上。对扭转弹簧和旋转阻尼器进行配置，以使得第一配重131的旋转平稳地开始或停止。因此，可减少由于第一配重131的旋转而产生的振动。

第二振动阻尼器130b包括第二配重133和第二驱动马达134。第三振动阻尼器130c包括第三配重135和第三驱动马达136。第四振动阻尼器130d包括第四配重137和第四驱动马达138。

由于第二、第三和第四振动阻尼器130b、130c和130d中的每一个均基本上与第一振动阻尼器130a相同，因此将省略有关其的详细描述。

控制部分140从感测部分120接收关于本体部分110的振动方向的信息。此外，控制部分140控制振动阻尼部分130的操作以使得配重131、133、135和137中的每一个根据由感测部分120测量的本体部分110的振动方向改变位置。

特别地，当沿X轴线方向，即左/右方向在本体部分110中发生振动时，控制部分140控制第三和第四振动阻尼器130c和130d，以使得第三和第四配重135和137改变位置。

由于第三和第四振动阻尼器130c和130d是关于本体部分110的顶表面的中心点而沿X轴线方向彼此对称地进行设置的，因此第三和第四配重135和137可改变位置以对沿本体部分110的X轴线方向的振动进行阻尼。

例如，当本体部分110沿左方向倾斜时，控制部分140控制第三和第四振动阻尼器130c和130d，以使得第三和第四配重135和137位于关于Y轴线的右侧，其通过本体部分110的顶表面的中心点。当本体部分110沿右方向倾斜时，控制部分140控制第三和第四振动阻尼器130c和130d，以使得第三和第四配重135和137位于关于Y轴线的左侧，其通过本体部分110的顶表面的中心点。当重复进行上述过程时，可对本体部分110的X轴线方向中的振动进行阻尼。

当沿X轴线方向在本体部分110中发生振动时，由于第一和第二振动阻尼器130a和130b是关于本体部分110的顶表面的中心点沿X轴线方向彼此对称地进行设置的，即使第一和第二振动阻尼器130a和130b的第一和第二配重131和133改变位置，可能也难于控制在本体部分110的X轴线方向上的振动。

当沿Y轴线方向，即前/后方向在本体部分110中发生振动时，控制部分140控制第一和第二振动阻尼器130a和130b，以使得第一和第二配重131和133改变位置。

由于第一和第二振动阻尼器130a和130b是关于本体部分110的顶表面的中心点而沿X轴线方向彼此对称地进行设置的，因此第一和第二配重131和133可改变位置以对沿本体部分110的Y轴线方向的振动进行阻尼。

例如，当本体部分110沿前方向倾斜时，控制部分140控制第一和第二振动阻尼器130a和130b，以使得第一和第二配重131和133位于通过本体部分110的顶表面的中心点的X轴线的后侧。当本体部分110沿后方向倾斜时，控制单元140控制第一和第二振动阻尼器130a和130b，以使得第一和第二配重131和133位于通过本体部分110的顶表面的中心点的X轴线的后侧。当重复进行上述过程时，可对本体部分110的Y轴线方向中的振动进行阻尼。

当沿Y轴线方向在本体部分110中发生振动时，由于第三和第四振动阻尼器130c和130d是关于本体部分110的顶表面的中心点沿Y轴线方向彼此对称地进行设置的，即使第三和第四振动阻尼器130c和130d的第三和第四配重135和137改变位置，可能也难于控制在本体部分110的Y轴线方向上的振动。

当在本体部分110中发生偏航振动，即相关于通过本体部分110的顶表面的中心点的垂直线旋转的本体部分110发生振动时，控制部分140控制第一和第二振动阻尼器130a和130b，以使得第一和第二配重131和133差异性地改变位置。

特别地，控制部分140可控制第一和第二振动阻尼器130a和130b，以使得第一和第二配重131和133相关于本体部分110的顶表面的中心点沿与本体部分110的偏航振动方向相反的方向旋转。在这里，由于第一和第二配重131和133被设置在彼此不同的位置上，因此控制部分140差异性地改变第一和第二配重131和133的位置。因此，可对本体部分110的偏航振动进行阻尼。

当在本体部分110中发生偏航振动时，控制部分140可额外地控制第三和第四振动阻尼器130c和130d，以使得第三和第四配重135和137差异性地改变位置。因此，可更有效地对本体部分110的偏航振动进行阻尼。

固定部分150被设置在本体部分110的底表面上以固定卡匣10。

例如，可将固定部分150插入在卡匣10的顶表面中限定的孔中以固定卡匣10。再例如，固定部分150可夹住被设置在卡匣10的顶表面上的凸缘以固定卡匣10。

因此，当装载和卸载卡匣10时，固定部分150可稳定地抓住卡匣10。

如上所述，在吊装传送机的抓手单元中，振动阻尼部分的配重可根据由惯性测量感测部分测量的本体部分的振动方向改变位置，以减少本体部分的振动。因此，可通过使用抓手单元快速地减少当装载和卸载卡匣时发生的振动。因此，可防止由于振动导致的卡匣的装载和卸载缺点，且可减少装载和卸载卡匣所需的时间。

对于本领域的技术人员来说显而易见的是可对本发明进行各种修改和变型。因此，本发明旨在涵盖本发明的修改和变型，其条件是其要落在所附权利要求及其等同物的范围内。