送构件的俯仰运动变大。
[0016]为了抑制上述俯仰运动的放大，考虑升高水平方向振动的旋转振动模式的固有振动频率，而使驱动频率的水平方向振动的旋转振动模式的振动水平降低，或者降低水平方向振动的平移振动模式的固有振动频率(电磁铁的驱动频率)，而使铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平降低。
[0017]在为前者的情况下，为了升高水平方向振动的旋转振动模式的固有振动频率，减小下部刚体B的质量来使惯性力矩变小，但是如上所述，难以使平移振动模式与旋转振动模式的固有振动频率大幅度分离。因此，水平方向振动的平移振动模式的固有振动频率也升高，电磁铁的驱动频率也随之升高，因此铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平进一步变大，难以抑制俯仰运动。
[0018]另一方面，在为后者的情况下，为了降低水平方向振动的平移振动模式的固有振动频率，增加下部刚体B的质量来使惯性力矩变大。此时，如图9的虚线所示，水平方向振动的旋转振动模式的固有振动频率也降低，其振动水平几乎不变，但是铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平降低，因此能够实现俯仰运动的抑制。但是，此时，电磁铁的驱动频率变低，因此部件输送速度会降低。
[0019]接下来，对使水平方向振动的旋转振动模式的固有振动频率比铅垂方向振动的旋转振动模式的固有振动频率大的情况进行说明。在图10中示出了该情况下的振动频率与振动水平以及相位的关系。此时，电磁铁的驱动频率的水平方向振动的旋转振动模式与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动波形成为相反相位。因此，部件输送构件的俯仰运动由水平方向振动的旋转振动模式的振动水平与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平之差来表达。
[0020]在图10中的实线的状态下，驱动频率中的水平方向振动的旋转振动模式的振动水平与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平相同，因此不产生部件输送构件的俯仰运动。在该状态下将部件输送构件更换为质量以及惯性力矩较大的部件输送构件的情况下，铅垂方向振动的平移旋转振动模式以及旋转振动模式的固有振动频率变低(图10中的虚线)。此外，虽然实际上水平方向振动的平移以及旋转振动模式的固有振动频率也降低，但是这里将其忽视。此时，驱动频率中的水平方向振动的旋转振动模式的振动水平与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平产生差，因此产生部件输送构件的俯仰运动。
[0021]为了抑制上述俯仰运动，如图11中的虚线所示，升高水平方向振动的旋转振动模式的固有振动频率，而使电磁铁的驱动频率中的水平方向振动的旋转振动模式的振动水平与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平为相同水平即可。此时，水平方向振动的平移振动模式的固有振动频率也升高，但是如上所述，平移振动模式与旋转振动模式的固有振动频率的关系多少有所变化，因此使水平方向振动与铅垂方向振动的旋转振动模式的振动水平为同一水平，能够抑制俯仰运动。并且，在该情况下，水平方向振动的平移振动模式的固有振动频率、即电磁铁的驱动频率不会变低，因此能够维持部件输送速度。
[0022]由以上可知，在本发明中，通过使水平方向振动的旋转振动模式(在图7中的下部刚体B即中间振动体以及基台产生的旋转振动)的固有振动频率，比铅垂方向振动的旋转振动模式(在图7中的上部刚体A即部件输送构件以及上部振动体产生的旋转振动)的固有振动频率大，既能够维持部件输送速度，又能够抑制部件输送构件的俯仰运动。
[0023]在上述结构中，优选在上述基台设置重锤。这是因为通过改变重锤的质量，能够容易地进行在中间振动体以及基台产生的旋转振动的固有振动频率的调整。
[0024]在上述基台与地面之间设置防振构件的情况下，只要以使上述基台的俯仰运动的振幅接近上述部件输送构件相对于基台的相对的俯仰运动的振幅的方式调整基台的质量即可。
[0025]此处，上述重锤可以由多个重锤片构成，并且能够通过增减该重锤片的数量来进行质量调整，并优选设置于上述基台的端部。这是因为，使基台的质量变化的部位离重心越远，由质量的增减实现的对俯仰运动的振幅的影响就越大，越容易进行质量调整。
[0026]另外，优选上述重锤设置于多个部位。这是因为，若仅使基台的一个部位的质量变化，则基台的重心移动，俯仰运动的中心偏离，从而难以进行调整，但是若使重锤的设置部位为多个，则能够以不使基台的重心移动的方式调整重锤的质量。反之，通过调整设置于多个部位的重锤的质量来使基台的重心的位置向装置中心附近移动，也能够实现输送动作的稳定化。另外，即便能够在铅垂方向上调整上述重锤的设置位置，也能够使基台的重心向装置中心附近移动而得到稳定的输送动作。
[0027]上述水平振动用弹性构件可以配置为，朝上述中间振动体的固定位置与朝上述基台或者上述上部振动体的固定位置位于与部件输送方向正交的同一水平线上。如此一来，水平振动用弹性构件的水平方向的变形不会产生铅垂方向的位移，从而抑制由水平方向的振动而引起的铅垂方向的振动的产生。此时，若将上述水平振动用弹性构件在部件输送方向上设置有多个，并配置为各个水平振动用弹性构件朝上述中间振动体的固定位置与朝上述基台或者上述上部振动体的固定位置的位置关系在部件输送方向上相互交替，则也能够在水平面内抑制与部件输送方向正交的方向的振动，从而能够使输送动作更加稳定。
[0028]另一方面，只要将上述铅垂振动用弹性构件固定于与部件输送方向正交的同一水平线上的两个部位的固定位置、或者固定于与部件输送方向平行的同一水平线上的两个部位的固定位置即可。
[0029]如果利用电磁铁和活动铁心构成上述各激振机构，在针对其中一方的电磁铁的施加电压设定电路设置产生施加电压的基准波形的基准波形产生单元、和对上述基准波形调整振幅的波形振幅调整单元，在针对另一方的电磁铁的施加电压设定电路设置产生相对于上述基准波形具有规定的相位差的波形的相位差调整单元、和对由相位差调整单元产生的波形调整振幅的波形振幅调整单元，从而能够自如地控制针对各电磁铁的施加电压的波形、周期、相位差以及振幅，则能够容易地使水平方向的振动与铅垂方向的振动接近期望的振动。
[0030]另外，在针对上述各激振机构的电磁铁的施加电压设定电路设置将利用各自的上述波形振幅调整单元调整了振幅的波形转换为PWM(Pulse Width Modulat1n:脉冲宽度调制)信号的PWM信号产生单元，从而能够通过PWM方式来驱动各激振机构。
[0031]如上所述，本发明的振动式部件输送装置使在中间振动体以及基台产生的旋转振动的固有振动频率比在部件输送构件以及上部振动体产生的旋转振动的固有振动频率大，因此既能够维持部件输送速度，又能够抑制从地面上观察到的部件输送构件的俯仰运动，进而能够容易地对部件输送构件施加期望的振动，由此能够实现稳定的部件输送。
【附图说明】
[0032]图1是实施方式的部件输送装置的局部剖切主视图。
[0033]图2是除去了图1的槽板后的俯视图。
[0034]图3是图1的侧视图。