基板传送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及平板显示技术领域，特别是涉及一种基板传送装置。
【背景技术】
[0002]目前，在平板显示面板制造业中，玻璃基板采用滚轴带动滚轮托运的传送方式。但这种传送方式在传送过程中，有可能导致玻璃基板的内部结构产生损伤。在玻璃基板经过多组滚轮后，玻璃基板内部结构的损伤将会扩大，在后续镀膜等工艺中，可能导致玻璃基板破碎。
[0003]为了提高传送速率满足生产要求，降低传送过程对产品的损坏，现也有采用机械手传送，利用真空技术将基板吸附在机械手臂上，进行传送。为了提高生产效率以及尽可能降低产品受环境影响的几率，通常把多台设备连接在一起共用一个机械手，导致了机械手的传送节拍可能无法满足生产需求。
[0004]传统的机械手传送玻璃基板，当放置基板时，由于大气压力的存在，机械手释放真空的同时还需要再吹气来破除真空。如此,增加了吹气过程的通信时间和吹气时间,机械手的传送节拍时间长，耗费了大量的干燥压缩空气(Compressed air, CDA)。
【发明内容】
[0005]基于此，有必要针对机械手传送节拍时间长、耗费大量的干燥压缩空气的问题，提供一种基板传送装置。
[0006]一种基板传送装置,包括:
[0007]真空吸盘，形成有容纳腔，所述真空吸盘顶部开设有贯穿孔；
[0008]真空装置，通过真空管道与所述真空吸盘的容纳腔连通，与所述贯穿孔形成真空通道。
[0009]破真空装置，收容安装于所述容纳腔，所述破真空装置包括磁性活动板、弹性装置和电磁装置，所述磁性活动板在正对所述真空吸盘顶部的一侧设有与所述贯穿孔相匹配的顶针，所述电磁装置安装于所述真空吸盘的底部，所述磁性活动板通过所述弹性装置与所述电磁装置连接。
[0010]在其中一实施例中，所述破真空装置还包括限位装置，安装于所述真空吸盘底部。
[0011]在其中一实施例中，所述顶针与所述基板接触的表面为平面。
[0012]在其中一实施例中，所述弹性装置为弹簧。
[0013]在其中一实施例中，还包括真空吸嘴，设置于所述真空吸盘顶部。
[0014]在其中一实施例中，所述真空吸嘴凸出所述真空吸盘顶部I?2_。
[0015]在其中一实施例中，所述电磁装置为可改变磁场方向的电磁装置。
[0016]在其中一实施例中，还包括真空传感器，所述真空传感器安装于所述容纳腔，以传感所述容纳腔的真空状态，所述真空传感器与所述电磁装置连接。
[0017]在其中一实施例中，还包括安装于机械手臂的支撑架叉，所述真空吸盘安装于所述支撑架叉。
[0018]在其中一实施例中，所述真空吸盘在所述支撑架叉排布成一行或多行。
[0019]上述基板传送装置，真空吸盘形成有容纳腔，顶部设有贯穿孔，破真空装置收容于容纳腔，包括磁性活动板、弹性装置和电磁装置，电磁装置安装于真空吸盘底部，磁性活动板通过弹性装置与电磁装置连接。真空装置通过真空管道与真空吸盘的容纳腔连通，与贯穿孔形成真空通道。当需要吸附基板时，磁性活动板在电磁装置磁力的作用下可朝向真空吸盘底部运动，弹性装置受到压缩，真空装置使容纳腔形成真空状态，通过贯穿孔将基板吸附于真空吸盘顶部。当需要放置基板时，电磁装置的磁吸力消失，磁性活动板在弹性装置的复位弹力作用下朝向真空吸盘顶部运动，顶针穿过贯穿孔作用于基板，破坏真空吸盘与基板间的真空状态，实现基板的放置。如此，当放置基板时，机械臂的传送节拍与释放真空同时进行，无需通信，节省了时间，增加了机械臂的传送节拍，提高了生产效率。此外，无需通过吹气来释放真空，节省了干燥压缩空气，降低了运营成本。
【附图说明】
[0020]图1为一实施方式的基板传送装置的俯视图；
[0021]图2为一实施方式的基板传送装置的顶出状态结构示意图；
[0022]图3为一实施方式的基板传送装置的吸附状态结构示意图；
[0023]图4为一实施方式的基板传送装置的支撑架叉的结构示意图；
[0024]图5为一实施方式的基板传送装置的支撑架叉另一视角的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
[0026]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0027]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0028]如图1、图2所示，一种基板传送装置，包括真空吸盘110、真空装置120和破真空装置130。真空吸盘110形成有容纳腔114，真空吸盘110顶部开设有贯穿孔112。真空装置120通过真空管道140与真空吸盘110的容纳腔114连通，与贯穿孔112形成真空通道。破真空装置130收容于容纳腔114，包括磁性活动板132、弹性装置136和电磁装置138。磁性活动板132在正对真空吸盘110顶部的一侧设有顶针134，所述顶针134与贯穿孔112相匹配。电磁装置138安装于真空吸盘110的底部，磁性活动板132通过弹性装置136与电磁装置138连接。
[0029]真空吸盘110形成有容纳腔114，真空吸盘110顶部开设有贯穿孔112。
[0030]在本实施例中，真空吸盘110的端面呈圆形，顶部开设有贯穿孔112，贯穿孔112为4个，呈对称排布，真空吸盘110采用具有一定硬度且防静电的高分子材料制成，如聚醚醚铜(Polyetheretherketone, PEEK)。可以理解的是,真空吸盘110的截面也可为其他形状如多边形等，只要实现便于安装的目的即可。贯穿孔112的个数可为多个，根据真空吸盘110的大小，和吸附的基板的大小等情况来确定贯穿孔112的个数和排布，只要实现将基板可稳定的吸附即可，例如，当吸附的基板较大，则贯穿孔112的大小、个数以及排布需要根据实际情况确定，只要可稳定的将基板吸附于真空吸盘110即可。
[0031]破真空装置130收容于容纳腔114，包括磁性活动板132、弹性装置136和电磁装置138，磁性活动板132靠近真空吸盘110顶部一侧设有与贯穿孔112相匹配的顶针134，电磁装置138安装于真空吸盘110底部，磁性活动板132通过弹性装置136与电磁装置138连接。
[0032]当需要吸附基板时，电磁装置138产生磁吸力，磁性活动板132受到磁吸力作用朝向电磁装置138方向运动，弹性装置136受到压缩。当放置基板时，电磁装置138磁力消失，磁性活动板132受到弹性装置136回复力的作用朝向贯穿孔112的方向运动，顶针134从贯穿孔112穿出，可作用于基板，使基板与真空吸盘110之间的真空状态破除，实现基板的放置，将基板传送。
[0033]可以理解的是，磁性活动板132的尺寸小于容纳腔114的尺寸，以使磁性活动板132可在容纳腔114内往复运动。磁性活动板132靠近顶部一侧设有顶针134，顶针134与磁性活动板132可一体成型，也可可拆卸地连接，如螺纹连接，只要实现顶针134与磁性活动板132的固定连接即可。
[0034]顶针134可采用具有一定弹性的高分子材料制成，如橡胶、聚醚醚铜等，只要实现可作用于基板，且不损坏基板的目的即可。弹性装置136也可采用其他具有弹性的物质制成，如优力胶等，只要实现具有一定的压缩距离，在磁性活动板132朝向电磁装置138运动时，有足够的压缩距离使顶针134与基板分离，且在磁性活动板132朝向远离电磁装置138运动时提供给一定的回复力即可。
[0035]电磁装置138与外部电源连通，电磁装置138的控制节拍与机械臂的传送节拍相匹配，当机械臂移动至下一工站时，电磁装置138断电，磁性活动板132在弹性装置136的回复力的作用下朝向贯穿孔112的方向运动，顶针134穿过贯穿孔112作用于基板。当基板被放置完毕，电磁装置138产生吸引力，磁性活动板132在吸引力的作用下朝向远离贯穿孔112的方向运动，通过真空装置120与贯穿孔112形成的真空通道，将基板吸附。如此，与机械臂的传送节拍相匹配，节省了通信时间和吹气破真空的时间，加快了传送节拍，增加了生产效率。
[0036]上述基板传送装置，当需要吸附基板时，电磁装置138产生磁吸力，磁性活动板132在磁吸力的作用下朝向电磁装置138方向运动，弹性装置1