基板缓存装置的制造方法_2

文档序号:9818651阅读:来源:国知局
033]具体的,所述顶针231具有真空吸附作用。
[0034]具体的,所述箱体10的左侧壁13及右侧壁14上设置有可视窗口101,从而可供作业员及时检查基板异常。
[0035]具体的,所述箱体10的上壁11上安装有数个风机滤器单元(Fan Filter Units ,FFU);所述隔板40划分为中心区域和位于中心区域四周的边缘区域,所述隔板的边缘区域上具有数个第一通风孔401,可促进上层空气向下流通;所述隔板40的中心区域为实板,用于防止上层的颗粒掉落至下承载台30上的基板上;所述底壁12上均匀分布有数个第二通风孔402,承接空气向下流通,使整个承载台的环境处于上下流通状态,保证承载台内部环境清洁。
[0036]具体的,在本实施例中通过具有四条机械手臂的机械手来转移基板,则所述上承载台20和下承载台30包括四条第一凹槽210和分别位于所述四条第一凹槽210两侧的五条凸台上的五条第二凹槽220,所述四条第一凹槽210对应机械手的四条机械手臂。
[0037]具体的,所述基板缓存装置应用于显示装置的生产时,可设置于两相同机台之间,能够使得两台设备互相成为备用关系,当某一机台当机时,通过基板缓存装置能够使另一机台构成备用,从而不影响该当机的机台所在制程的后续生产,提高产能;例如,如图4所示,机台Al和机台BI构成一道制程,机台A2和机台B2构成相同的另一道制程,其中机台Al实际可供两台机台BI工作,机台Al和机台BI所对应的机械手1、机台A2和机台B2所对应的机械手2均包括四条机械手臂,当机台Al出现异常时,相邻制程的机台A2可成为机台Al的备用机台以供应两台BI继续进行制程;在传动过程中,机械手I将机台Al所在制程内的基板放置于基板缓存装置的上承载台20上,待上承载台旋转180°后由另一机械手2取出放入相邻制程的机台A2中,待机台A2处理完成后,机械手2取出基板放入下层承载台30上,待旋转180后由原机械手I取出放回原制程的机台BI内进行处理,从而防止由于机台Al的异常导致机台BI机台出现空转,浪费机台可运用时间,并提高产能。
[0038]具体的,所述基板缓存装置还可用于产线的相邻两站点之间,当基板需要重工时,可通过所述基板缓存装置将基板从下一站点送回到上一站点,待重工后,再从上一站点转送到下一站点,节约制程时间,从而提高了显示装置的生产产能、节约制程时间和异常处理时间;例如,如图5所示,当主机台I和主机台2为上下站点设备时,可将需重工的基板直接从下一站点送回至上一站点,机械手2从主机台2中取出玻璃放入上承载台20上,上承载台20旋转180°后由另一机械手I取出放入机台I内进行重工,完成后由机械手I放入下承载台30上,待下承载台30旋转180°后,由原机械手2取回则完成制程,从而节约制程时间,提高机台效率和产能。
[0039]具体的,所述基板缓存装置具有存放作用,能够使机台中的基板及时取出,便于快速处理机台和基板的异常;例如,如图6所述,在主机台I侧建立基板缓存装置,可以在主机台I异常当机时,快速通过机械手I将基板取出放入基板缓存装置的上、下承载台20、30上,从基板缓存装置的左、右侧壁13、14的可视窗中检查玻璃,也可90°或180°旋转上、下承载台20、30从不同位置检查基板,以便快速理清设备异常或基板异常,并及时解决。
[0040]综上所述,本发明的基板缓存装置,包括箱体、及位于箱体内的上、下承载台和隔板,所述上、下承载台均可在箱体内独立旋转,从而可保证基板的制程方向,所述箱体的上壁上设有风机滤器单元,所述隔板和箱体的下壁上分别设有第一、第二通风孔,从而使上、下承载台的环境处于空气流通的状态,保证基板缓存装置内部环境清洁;该基板缓存装置,用于显示装置的生产产线中,可以提高显示装置的生产产能、节约制程时间和异常处理时间。
[0041]以上所述,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形,而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种基板缓存装置,其特征在于,包括箱体(10)、位于箱体(10)内的上承载台(20)、位于箱体(10)内且位于上承载台(20)下方的下承载台(30)、及固定于所述箱体(10)上且位于所述上、下承载台(20、30)之间的隔板(40); 所述箱体(10)的前后分别设有开口部(100),所述箱体(10)包括上壁(11)、下壁(12)、左侧壁(13)及右侧壁(14); 所述上、下承载台(20、30)下方分别设置有第一、二旋转轴(50、60),所述上、下承载台(20、30)可分别绕所述第一、二旋转轴(50、60)于水平面内在所述箱体(10)内部独立旋转; 所述基板缓存装置放置于机台的机械手附近,从而在必要时可通过机械手将机台中的基板经由面向该机台的开口部(100)放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上;或通过机台的机械手将已放置到上、下承载台(20、30)上的基板取出放回该机台中;或将基板放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上之后,使所述上、下承载台(20、30)水平旋转180°,再通过相邻另一机台的机械手经由面向该另一机台的开口部(100)将基板转移。2.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述上、下承载台(20、30)上设有数条相互平行且贯穿所述上、下承载台(20、30)前后端面的第一凹槽(210),所述第一凹槽(210)两侧的凸台上设有第二凹槽(220),所述第二凹槽(220)内设有数个顶针(221); 所述第一凹槽(210)对应机械手的机械手臂设置,使用机械手将基板放置于所述上、下承载台(20、30)上时,首先使上、下承载台(20、30)的前后端面分别朝向开口部(100),使机械手臂伸入所述第一凹槽(210)内,机械手上的基板被凸台或凸台的第二凹槽(220)内的顶针(221)所支撑,然后使机械手臂从第一凹槽(210)内抽出,从而将基板放置于所述上、下承载台(20、30)上。3.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述顶针(221)具有真空吸附作用。4.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述箱体(10)的左侧壁(13)及右侧壁(14)上设置有可视窗口(101)。5.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述箱体(10)的上壁(11)上安装有数个风机滤器单元。6.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述隔板(40)划分为中心区域和位于中心区域四周的边缘区域,所述隔板(40)的边缘区域上具有数个第一通风孔(401);所述隔板(40)的中心区域为实板。7.如权利要求6所述的基板缓存装置,其特征在于,所述下壁(12)上均匀分布有数个第二通风孔(402)。8.如权利要求1所述的基板缓存装置,其特征在于,所述上承载台(20)和下承载台(30)包括四条第一凹槽(210)和分别位于所述四条第一凹槽(210)两侧的五条凸台上的五条第二凹槽(220)。
【专利摘要】本发明提供一种基板缓存装置,包括箱体、及位于箱体内的上、下承载台和隔板,所述上、下承载台均可在箱体内独立旋转,从而可保证基板的制程方向,所述箱体的上壁上设有风机滤器单元,所述隔板和箱体的下壁上分别设有第一、第二通风孔,从而使上、下承载台的环境处于空气流通的状态,保证基板缓存装置内部环境清洁;该基板缓存装置,用于显示装置的生产产线中,可以提高显示装置的生产产能、节约制程时间和异常处理时间。
【IPC分类】B65G49/06
【公开号】CN105600446
【申请号】CN201610003302
【发明人】朱海燕, 陆建红
【申请人】武汉华星光电技术有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2016年1月4日
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