基板传送装置及其传送方法_3

文档序号:9818654阅读:来源:国知局
;取屏机构中的第二驱动机构驱动取屏机构中的拾取臂拾取往复对位机构上的基板;步往复对位机构中的第一驱动机构驱动承载平台移动到初始位置,重新传递新的基板,同时取屏机构中的第二驱动机构驱动取屏机构中的拾取臂将拾取的基板移送到一放屏手臂上后,拾取臂返回去拾取往复对位机构上的新的基板,同时放屏手臂将其上的基板传送入存储匣的一存储室内,放屏手臂放好一基板后,返回再次拾取新的基板,此时,存储匣沿第三方向移动,待接收下一基板,待存储匣装满基板后,下一工序中的机械手拾取装满基板的存储匣。可以本发明提供的基板传送装置可以先将基板传递给存储匣,待存储匣装满基板(所装基板的数目大于I个),下一工序中的机械手再晶存储匣取走,这样下一工序中的机械手一次可以取多个基板,减少下一工序中的机械手的移动频率,进而可以提尚显不面板的生广效率。
[0090]本发明还提供了一种应用于上述任一项所述的基板传送装置的传送方法,包括:
[0091]步骤一:将待传送的基板放置在往复对位机构的承载平台上;
[0092]步骤二:往复对位机构中的第一驱动机构驱动承载平台带动所承载的基板移动到设定位置;
[0093]步骤三:取屏机构中的第二驱动机构驱动取屏机构中的拾取臂拾取往复对位机构上的基板。
[0094]进一步的,当基板传送装置包括至少一个放屏手臂时,传送方法还包括:
[0095]步骤四:往复对位机构中的第一驱动机构驱动承载平台移动到初始位置,重复步骤一、步骤二和步骤三;同时取屏机构中的第二驱动机构驱动取屏机构中的拾取臂将拾取的基板移送到多个放屏手臂上的一个放屏手臂上后,重复步骤四
[0096]进一步的,当基板传送装置包括存储匣时,传送方法还包括:
[0097]步骤五:放屏手臂用于将其上的基板传送入存储匣的一存储室内;
[0098]步骤六:控制存储匣沿第三方向Z移动,待接收下一基板,重复步骤五和步骤六、直至存储匣装满基板,下一制备工序中的机械手拾取装满基板I的存储匣。
[0099]显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种基板传送装置,其特征在于,包括:往复对位机构和取屏机构;其中: 所述往复对位机构包括:用于承载所述基板的承载平台,用于驱动所述承载平台带动所承载的基板移动到设定位置的第一驱动机构; 所述取屏机构位于所述往复对位机构上的基板的垂直方向上、且包括:用于拾取所述往复对位机构上的基板的拾取臂,用于驱动所述拾取臂移动的第二驱动机构,当所述往复对位机构移动到设定位置时,所述第二驱动机构用于驱动所述拾取臂拾取所述往复对位机构上的基板。2.根据权利要求1所述的基板传送装置,其特征在于,还包括:至少一个放屏手臂,所述取屏机构将拾取的基板移送到一放屏手臂上;其中:每个放屏手臂包括:用于承载所述取屏机构移送来的基板的传送平台,用于驱动所述传送平台移动的第三驱动机构。3.根据权利要求2所述的基板传送装置,其特征在于,所述至少一个放屏手臂的个数为两个,且两个所述放屏手臂相对任一放屏手臂的移动方向对称。4.根据权利要求3所述的基板传送装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括: 用于驱动所述承载平台沿第一方向运动的第一驱动单元; 用于驱动所述承载平台沿第二方向运动的第二驱动单元,其中:所述第二方向平行于所述两个放屏手臂的排列方向,所述第一方向垂直于所述第二方向。5.根据权利要求4所述的基板传送装置,其特征在于,所述第一驱动单元包括: 第一丝杠和用于驱动所述第一丝杠旋转的第一驱动电机,所述承载平台与所述第一丝杠滑动连接;和/或, 所述第二驱动单元包括:第二丝杠和用于驱动所述第二丝杠旋转的第二驱动电机,所述承载平台与所述第二丝杠滑动连接。6.根据权利要求4所述的基板传送装置,其特征在于,还包括:位于所述往复对位机构上方的导轨,所述导轨的延伸方向平行于所述第二方向; 所述取屏机构与所述导轨滑动连接、可沿所述导轨滑动。7.根据权利要求6所述的基板传送装置,其特征在于,所述第二驱动机构包括: 设置于所述安装架内、用于驱动所述拾取臂沿第三方向移动的第三驱动单元; 用于驱动所述拾取臂沿所述第二方向移动的第四驱动单元,其中:所述第三方向与所述第一方向和第二方向均垂直。8.根据权利要求7所述的基板传送装置,其特征在于,所述第三驱动单元包括:第三丝杠和用于驱动所述第三丝杠旋转的第三驱动电机,所述拾取臂与所述第三丝杠滑动连接。9.根据权利要求2所述的基板传送装置,其特征在于,所述拾取臂上设有用于吸附所述基板的真空吸盘。10.根据权利要求2所述的基板传送装置,其特征在于,所述传送平台设有用于吸附所述取屏机构移送来的基板的多个真空吸孔。11.根据权利要求10所述的基板传送装置,其特征在于,所述第三驱动机构包括:第四丝杠和用于驱动所述第四丝杠旋转的第四驱动电机,所述传送平台与所述第四丝杠滑动连接。12.根据权利要求4?11任一项所述的基板传送装置,其特征在于,还包括: 设置于每个放屏手臂远离所述往复对位机构一端的存储匣,每个所述存储匣用于存储对应的放屏手臂传送的基板,每个所述存储匣包括至少两层存储室,每个存储室用于容纳一所述基板; 与每个存储匣一一对应的第四驱动机构,每个第四驱动机构用于驱动对应的存储匣沿第三方向移动;其中:所述第三方向与所述第一方向和第二方向均垂直。13.—种应用于如权利要求1?12任一项所述的基板传送装置的传送方法,其特征在于,包括: 步骤一:将待传送的基板放置在往复对位机构的承载平台上; 步骤二:所述往复对位机构中的第一驱动机构驱动所述承载平台带动所承载的基板移动到设定位置; 步骤三:所述取屏机构中的第二驱动机构驱动所述取屏机构中的拾取臂拾取所述往复对位机构上的基板。14.根据权利要求13所述的传送方法,其特征在于,当所述基板传送装置包括至少一个放屏手臂时,所述传送方法还包括: 步骤四:所述往复对位机构中的第一驱动机构驱动所述承载平台移动到初始位置,重复步骤一、步骤二和步骤三;同时所述取屏机构中的第二驱动机构驱动所述取屏机构中的拾取臂将拾取的基板移送到一放屏手臂上后,重复步骤四。15.根据权利要求14所述的传送方法,其特征在于,当所述基板传送装置包括存储匣时,所述传送方法还包括: 步骤五:所述放屏手臂用于将其上的基板传送入存储匣的一存储室内; 步骤六:控制所述存储匣沿第三方向移动,待接收下一基板,重复步骤五和步骤六、直至所述存储匣装满所述基板。
【专利摘要】本发明公开了一种基板传送装置及其传送方法,用以提高基板被传送效率,减少基板传送时的磨损,提高显示面板的制备效率。其中基板传送装置包括往复对位机构和取屏机构;往复对位机构包括:用于承载基板的承载平台,用于驱动承载平台带动所承载的基板移动到设定位置的第一驱动机构;取屏机构位于往复对位机构上的基板的垂直方向上、且包括:用于拾取往复对位机构上的基板的拾取臂,用于驱动拾取臂移动的第二驱动机构,当往复对位机构移动到设定位置时,第二驱动机构用于驱动拾取臂拾取往复对位机构上的基板。
【IPC分类】B65G49/06
【公开号】CN105600449
【申请号】CN201610162770
【发明人】齐乐, 孙富元, 李龙, 张进, 韩云龙, 徐东升, 曹斌
【申请人】京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2016年3月21日
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