1.一种含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述含氟烷烃废气焚烧处理工艺包括：
S1、对具有耐火材料的焚烧炉进行预热，向预热后的焚烧炉中通入含氟烷烃废气；
S2、根据废气中含氟烷烃的分子含量，向焚烧炉中通入水蒸气进行反应；
S3、向焚烧炉中通入天然气，以控制焚烧炉的炉温；
S4、由含氟烷烃废气和天然气总量，按比例控制空气的补入量；
S5、将焚烧后的高温烟气送入石墨急冷塔，对急冷后的烟气中卤素的氢化物进行水洗吸收。
2.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述焚烧炉的预热温度为1100℃以上。
3.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述耐火材料为氧化铬和三氧化二铝，所述氧化铬和三氧化二铝含量大于95wt%，且所述氧化铬含量≥10 wt %。
4.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述空气的补入量由所述含氟烷烃废气流量和天然气量之间的比例值确定。
5.根据权利要求4所述的含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述空气的补入量作为变频补风机的设定值，补入空气时，根据所述设定值，对通过补风流量计实际测的空气量进行修订。
6.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理工艺，其特征在于，所述焚烧后的高温烟气中HF浓度不高于5%。
7.一种含氟烷烃废气焚烧处理装置，其特征在于，所述含氟烷烃废气焚烧处理装置包括：废气缓冲罐、焚烧炉、变频补风机以及石墨急冷塔；
所述废气缓冲罐通过废气管线与所述焚烧炉相连接，所述变频补风机通过空气管线与所述焚烧炉相连接，所述石墨急冷塔通过高温烟气管线与所述焚烧炉相连接，所述焚烧炉还连接有燃料管线和水蒸气管线。
8.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理装置，其特征在于，所述焚烧炉的顶部设置有燃烧器，所述燃料管线和水蒸气管线与所述燃烧器相连接。
9.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理装置，其特征在于，所述废气管线上还并联有废气放空管线。
10.根据权利要求1所述的含氟烷烃废气焚烧处理装置，其特征在于，所述变频补风机为两组，两组变频补风机相互并联，并分别通过各自的空气管线与所述焚烧炉相连接。