1.一种清洗硅片用的废水回收装置，包括机体(1)，所述机体(1)上设有清洗池(2)，其特征是，所述清洗池(2)与水池一(3)连接，所述水池一(3)右侧设有水池二(4)和水池三(5)，所述水池三(5)右侧设有储水池(12)，所述储水池(12)下方连接水泵(10)，所述储水池(12)与水泵(10)之间设有过滤层(9)，所述水泵(10)与清洗池(2)之间设有通过水管(11)连接。
2.根据权利要求1所述的清洗硅片用的废水回收装置，其特征是，所述水池一(3)、水池二(4)、水池三(5)和储水池(12)之间都通过出水口(8)联通。
3.根据权利要求1所述的清洗硅片用的废水回收装置，其特征是，所述水池一(3)和水池二(4)的出水口(8)下方设有挡板(6)。
4.根据权利要求1所述的清洗硅片用的废水回收装置，其特征是，所述水池二(4)和水池三(5)的出水口(8)前方设有出水口挡板(7)。