基板吸附治具及采用其进行基板吸附的方法与流程

文档序号:15486765发布日期:2018-09-21 19:54阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种基板吸附治具及采用其进行基板吸附的方法。该治具包括:基台;设置于基台上的多个支撑柱,每一支撑柱远离基台一端的表面形成支撑面;吸附驱动结构,每一支撑柱分别与一个吸附驱动结构相连接;通过吸附驱动结构,每一支撑柱的高度可调,支撑面相较于基台的距离变化,多个支撑面相组合的构成面与待吸附的基板的形状对应,并能够吸附设置于支撑面上的基板。该治具通过设置多个高度可以调节的支撑柱,多个支撑柱上支撑面相组合的构成面可以与基板形状对应,实现多种不同形状基板的吸附,解决现有技术曲面基板贴合,曲面基板吸附固定困难,必须采用人工辅助,造成贴合效率低下、良率低、无法对复杂曲面进行贴合的问题。

技术研发人员:章善财;马韬;陈守年
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
技术研发日:2018.01.03
技术公布日:2018.09.21
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