基板切割面辅助检测治具的制作方法

文档序号:6196676阅读:112来源:国知局
基板切割面辅助检测治具的制作方法
【专利摘要】基板切割面辅助检测治具包括底板和第一反射元件。底板包括承载面,承载面具有基板承载区域,基板承载区域具有第一侧边。第一反射元件设置于承载面上,位于基板承载区域外并靠近第一侧边。第一反射元件具有朝向基板承载区域的第一反射面,且第一反射面与承载面具有第一夹角。基板切割面辅助检测治具用于承载待检测基板,并配合显微镜简单方便的对待检测基板的切割面进行检测,有利于节约成本,并有利于检测切割面的真实切割情况。
【专利说明】基板切割面辅助检测治具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及显示面板制作【技术领域】,且特别是涉及一种基板切割面辅助检测治具。
【背景技术】
[0002]在显示面板的生产制造过程中,通常需要利用切割制程来进行切割以分离单个面板,而切割面的均匀性可能会直接影响到后续所组装产品的品质。
[0003]目前,面板的切割面的观察一般有两种方法。第一种方法是采用3D显微镜直接进行切割面的观察检测。但是,3D显微镜价格昂贵,由于面板通常为矩形,长短边的尺寸不一致,导致每次更换不同的边检测切割面都需要重新调整3D显微镜的焦距,而且设置焦距可能无法满足小尺寸(3?5寸)面板的切割面的检测需求,此外,目前还没有既能把面板直立起来方便检查切割面,又保持其他切割面完好无损的治具。因此,采用3D显微镜进行放大观察检测切割面成本较高且操作复杂,也不利于观察完好的切割面。第二种方法是利用显微镜来观察检测面板之外的其他切割区域的切割面来间接观察面板的切割面。但是,目前的面板大多采用一个直接连接一个(side by side)的设计,并不会存在其他切割区域。即使在切割的过程中有其他切割区域的切割面可以观察,其他切割区域的切割面也不能完全准确的反映面板的切割面的实际情况。因此,利用显微镜来观察检测面板之外的其他切割区域的切割面来间接观察面板的切割面的方法并不十分适用和可靠。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于,提供一种基板切割面辅助检测治具,其用于承载待检测切割面的基板,并配合显微镜简单方便的对待检测基板的切割面进行检测,有利于节约成本,并有利于检测切割面的真实切割情况。
[0005]本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。
[0006]一种基板切割面辅助检测治具,其包括底板和第一反射元件。底板包括承载面,承载面具有基板承载区域,基板承载区域具有第一侧边。第一反射元件设置于承载面上,位于基板承载区域外并靠近第一侧边。第一反射元件具有朝向基板承载区域的第一反射面,且第一反射面与承载面具有第一夹角。
[0007]在本实用新型的较佳实施例中,上述第一反射元件的长度方向与第一侧边平行。
[0008]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板承载区域还具有与第一侧边相连接的第二侧边,基板切割面辅助检测治具还包括第二反射元件。第二反射元件设置于承载面上,位于基板承载区域外并靠近第二侧边,且具有朝向基板承载区域的第二反射面,第二反射面与承载面具有第二夹角。
[0009]在本实用新型的较佳实施例中,上述第二反射元件的长度方向与第二侧边平行。
[0010]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板承载区域还具有第二侧边、第三侧边和第四侧边,第三侧边和第一侧边相对,第四侧边和第二侧边相对。基板切割面辅助检测治具还包括第一限位块,第一限位块沿平行于第二侧边的第一方向滑动地设置于承载面上并位于基板承载区域。
[0011]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板切割面辅助检测治具还包括第一标尺,第一标尺的刻度方向平行于第一方向。
[0012]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板切割面辅助检测治具还包括第二限位块,第二限位块沿平行于第一侧边的第二方向滑动地设置于承载面上并位于基板承载区域。
[0013]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板切割面辅助检测治具还包括第二标尺,第二标尺的刻度方向平行于第二方向。
[0014]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板切割面辅助检测治具还包括承载台,承载台设置于底板上并位于基板承载区域。
[0015]在本实用新型的较佳实施例中,上述基板切割面辅助检测治具还包括限位元件。限位元件设置于承载面上,位于基板承载区域外并靠近第一侧边,限位元件相对承载面的高度高于承载台相对承载面的高度,并具有朝向承载台的抵靠面,且抵靠面于承载面的正投影线位于与基板承载区域的第一侧边重合。
[0016]本实用新型的基板切割面辅助检测治具,在底板设置有第一反射元件,第一反射元件设置于承载面并位于基板承载区域外,由于第一反射元件具有朝向基板承载区域的第一反射面,且第一反射面与承载面具有第一夹角,当待检测基板设置于基板承载区域时,第一反射面即与待检测基板的切割面倾斜相对,从而将切割面的形貌的光线信息进行反射。此时,配合显微镜来接收第一反射面反射的光线信息,即可简单方便的对待检测基板的切割面进行检测,无需使用昂贵的3D显微镜,也无需使用其他切割区域的间接分析方法,因此,有利于节约成本,并有利于检测获得切割面的真实切割情况。
[0017]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述,为让本实用新型的上述技术内容和其目的、特征、优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明。
【专利附图】

【附图说明】
[0018]图1是本实用新型第一实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。
[0019]图2是图1所示的基板切割面辅助检测治具沿I1-1I线的剖视结构示意图。
[0020]图3是本实用新型第一实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。
[0021]图4是本实用新型第二实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。
[0022]图5是图4所示的基板切割面辅助检测治具沿V-V线的剖视结构示意图。
[0023]图6是图4所示的基板切割面辅助检测治具沿V1-VI线的剖视结构示意图。
[0024]图7是本实用新型第二实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。
[0025]图8是本实用新型第三实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。
[0026]图9是图8所示的基板切割面辅助检测治具沿IX-1X线的剖视结构示意图。
[0027]图10是图8所示的基板切割面辅助检测治具沿X-X线的剖视结构示意图。
[0028]图11是本实用新型第三实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。
【具体实施方式】[0029]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及所达功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本实用新型提出的【具体实施方式】、结构、特征及其功效,作详细说明:
[0030]有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点及功效,在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过【具体实施方式】的说明,当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及所达功效得以更加深入且具体的了解,然而所附图式仅是提供参考与说明之用,并非用来对本实用新型加以限制。
[0031]图1是本实用新型第一实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。图2是图1所示的基板切割面辅助检测装置沿I1-1I线的剖视结构示意图。请一并参阅图1和图2,本实施例中,基板切割面辅助检测治具100主要包括底板110以及第一反射元件120。底板110包括承载面111,承载面111具有基板承载区域112。本实施例中,为了配合大多数待检测基板的矩形形状,基板承载区域112大致呈矩形。具体地,基板承载区域112具有第一侧边112a、第二侧边112b、第三侧边112c以及第四侧边112d,其中第一侧边112a与第三侧边112c相对,第二侧边112b与第四侧边112d相对。因此,第二侧边112b平行于第四侧边112d,并定义平行于第二侧边112b的方向为第一方向Al,第一侧边112a平行于第三侧边112c,并定义平行于第一侧边112a的方向为第二方向A2。较佳地,底板110的承载面111上可设置承载台160,承载台160位于基板承载区域112。本实施例中,承载台160大致呈与基板承载区域112相匹配的矩形,但并不以此为限。
[0032]第一反射元件120设置于底板110的承载面111上,位于基板承载区域112之外并靠近第一侧边112a。本实施例中,第一反射元件120的长度方向与第一侧边112a平行,且优选地,第一反射元件120的长度大于或等于第一侧边112a的长度。第一反射元件120具有第一反射面122,第一反射面122朝向基板承载区域112,且第一反射面122与承载面111具有第一夹角ai。本实施例中,为了配合显微镜检测,第一夹角Ci1例如是45°,但并不限定于此。可以理解,第一夹角O1的设置应以配合显微镜检测放置于基板承载区域112的待检测基板的位于第一侧边112a处的切割面为宜。
[0033]此外,基板切割面辅助检测治具100还可包括滑动地设置于承载面111上并位于基板承载区域112的第一限位块141。本实施例中,第一限位块141沿平行于第二侧边112b的第一方向Al滑动地设置于承载台160上并位于基板承载区域112。本实施例中,第一限位块141设置于靠近第三侧边112c—侧,并横跨第二侧边112b和第四侧边112d。例如,在承载台160的位于第二侧边112b和第四侧边112d的侧面上设置有延伸方向平行于第一方向Al的滑轨(图未示),对应地,第一限位块141上设置有配合的定位滑块(图未示),通过定位滑块在滑轨中的滑动来实现第一限位块141沿平行于第二侧边112b的第一方向Al的滑动。第一限位块141具有与第三侧边112c平行的第一抵靠面141a,第一限位块141可沿平行于第二侧边112b的第一方向Al滑动至预定位置并固定,以使得第一抵靠面141a位于预定的位置。值得一提的是,第一限位块141的结构并不以此为限,例如,第一限位块141的长度可缩短,使其上下两端分别位于第四侧边112d或第二侧边112b处。
[0034]另外,为了实现第一限位块141的位置的准确调节定位,基板切割面辅助检测治具100还可包括第一标尺151。本实施例中,第一标尺151设置于承载台160上并位于基板承载区域112的第四侧边112d,且第一标尺151的的刻度方向平行于第一方向Al。可以理解,第一标尺151也可直接设置于承载面111上并位于基板承载区域112之外,只要第一标尺151的刻度方向平行于第一方向Al并便于第一限位块141定位即可。
[0035]图3是本实用新型第一实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。请参照图3,本实施例的基板切割面辅助检测治具100配合显微镜使用,可对待检测基板50进行切割面检测。待检测基板50大致呈矩形,且包括相对的第一表面和第二表面(未标注),以及连接于第一表面和第二表面之间的第一切割面53a、第二切割面53b、第三切割面53c以及第四切割面54d,其中第三切割面53c与第一切割面53a相对,第四切割面53d与第二切割面53b相对。首先,根据待检测基板50的尺寸,通过调整第一限位块141的位置,对第一抵靠面141a进行定位,以配合待检测基板50的尺寸大小。然后,将待检测基板50置于底板110的基板承载区域112的承载台160上,使待检测基板50的第三切割面53c抵靠第一抵靠面141a,进而使得第一切割面53a位于基板承载区域112的第一侧边112a。此时,第一反射元件120可反射第一切割面53a的形貌的光线信息。之后,将固定好待检测基板50的基板切割面辅助检测治具100进一步放置到显微镜(图未示)的工作载台上,并使得显微镜的物镜设于第一反射元件120的一端并可接收第一反射元件120反射的光线信息的位置,然后移动显微镜的工作载台,使得显微镜的物镜沿平行于第一侧边112a的方向(也即第二方向A2)移动,以检测第一切割面53a。然后,可重新调整第一限位块141的位置并重新放置待检测基板50,类似第一切割面53a,来依次实现对第二切割面53b、第三切割面53c和第四切割面53d的检测,在此不再赘述。
[0036]图4是本实用新型第二实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。图5是图4所示的基板切割面辅助检测装置沿V-V线的剖视结构示意图。图6是图4所示的基板切割面辅助检测装置沿V1-VI线的剖视结构示意图。请一并参阅图4至图6,本实施例中,基板切割面辅助检测治具200与第一实施例的基板切割面辅助检测治具100大致相同,基板切割面辅助检测治具200与第一实施例的基板切割面辅助检测治具100相同的结构均使用相同的标号,在此不再赘述。基板切割面辅助检测治具200与基板切割面辅助检测治具100的主要区别在于,基板切割面辅助检测治具200还包括第二反射元件130。
[0037]第二反射元件130设置于底板110的承载面111上,位于基板承载区域112之外并靠近第二侧边112b。本实施例中,第二反射元件130的长度方向与第二侧边112b平行,且优选地,第二反射元件130的长度大于或等于第二侧边112b的长度。第二反射元件130具有第二反射面132,第二反射面132朝向基板承载区域112,且第二反射面122与承载面111具有第二夹角P。本实施例中,为了配合显微镜检测,第二夹角P例如是45°,但并不限定于此。可以理解,第二夹角P的设置应以配合显微镜检测放置于基板承载区域112的待检测基板的位于第二侧边112b处的切割面为宜。
[0038]此外,本实施例中,基板切割面辅助检测治具200还可包括第二限位块142。第二限位块142沿平行于第一侧边112a的第二方向A2滑动地设置于承载面111的基板承载区域112。本实施例中,第二限位块142设置于第一侧边112a—侧。例如,在承载台160的位于第一侧边112a的侧面上设置有延伸方向平行于第二方向A2的滑轨(图未示),对应地,第二限位块142上设置有配合的定位滑块(图未示),通过定位滑块在滑轨中的滑动来实现第二限位块142沿平行于第一侧边112a的第二方向A2的滑动。第二限位块142具有与第四侧边112d平行的第二抵靠面142a,第二限位块142可沿平行于第一侧边112a的第二方向A2滑动至预定位置并固定,以使得第二抵靠面142a位于预定的位置。值得一提的是,第二限位块142的结构并不以此为限,例如,当第一限位块141的长度可缩短至仅位于第四侧边112d或第二侧边112b时,第二限位块142可延长横跨第一侧边112a和第三侧边112c。
[0039]另外,为了实现第二限位块142的位置的准确调节定位,基板切割面辅助检测治具200还可包括第二标尺152。本实施例中,第二标尺152设置于承载台160上并位于基板承载区域112的第一侧边112a,且第二标尺152的刻度方向平行于第二方向A2。可以理解,第二标尺152也可直接设置于承载面111的基板承载区域112之外,只要第二标尺152的刻度方向平行于第二方向A2并便于第二限位块142定位即可。
[0040]图7是本实用新型第二实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。请参照图7,本实施例的基板切割面辅助检测治具200配合显微镜使用,可对待检测基板50进行切割面检测。待检测基板50大致呈矩形,且包括相对的第一表面和第二表面(未标注),以及连接于第一表面和第二表面之间的第一切割面53a、第二切割面53b、第三切割面53c以及第四切割面54d,其中第三切割面53c与第一切割面53a相对,第四切割面53d与第二切割面53b相对。首先,根据待检测基板50的尺寸,通过调整第一限位块141和第二限位块142的位置,对第一抵靠面141a和第二抵靠面142a进行定位,以配合待检测基板50的尺寸大小。然后,将待检测基板50置于底板110的基板承载区域112,使待检测基板50的第三切割面53c抵靠第一抵靠面141a且第四切割面53d抵靠第二抵靠面142a,进而使得第一切割面53a位于基板承载区域112的第一侧边112a,使第二切割面53b位于基板承载区域112的第二侧边112b。此时,第一反射元件120可反射第一切割面53a的形貌的光线信息,第二反射元件130可反射第二切割面53b的形貌的光线信息。之后,将固定好待检测基板50的基板切割面辅助检测治具200进一步放置到显微镜(图未示)的工作载台上,并使得显微镜的物镜设于第一反射元件120远离第二反射元件130的一端并可接收第一反射元件120反射的光线信息的位置,然后移动显微镜的工作载台,使得显微镜的物镜沿第一侧边112 (也即第二方向A2)移动,以检测第一切割面53a。接着,旋转显微镜的工作载台,使得显微镜的物镜再沿第二侧边112(也即第二方向Al)移动,以检测第二切割面53b。然后,可重新放置待检测基板50,使待检测基板50的第一切割面53a抵靠第一抵靠面141a且第二切割面53b抵靠第二抵靠面142a,进而使得第三切割面53c位于基板承载区域112的第一侧边112a,使第四切割面53d位于基板承载区域112的第二侧边112b。同样地,再配合显微镜即可完成第三切割面53c和第四切割面53d的检测。
[0041]本实用新型的基板切割面辅助检测治具100、200,当待检测基板50设置于基板承载区域112的承载台160上时,第一反射件120的第一反射面122和第二反射件130的第二反射面132即与待检测基板50的切割面倾斜相对,从而将切割面的形貌的光线信息进行反射。此时,配合显微镜来接收第一反射面122和第二反射面132反射的光线信息,即可简单方便的对待检测基板50的切割面进行检测,无需使用昂贵的3D显微镜,无需直立待检测基板50,也无需使用其他切割区域的间接分析方法,因此,有利于节约成本,并能避免切割面的损坏,有利于检测获得切割面的真实切割情况。
[0042]图8是本实用新型第三实施例的基板切割面辅助检测治具的结构俯视示意图。图9是图8所示的基板切割面辅助检测治具沿IX-1X线的剖视结构示意图。图10是图8所示的基板切割面辅助检测治具沿X-X线的剖视结构示意图。请一并参照图8至图10,本实施例中,基板切割面辅助检测治具300主要包括底板310以及第一反射元件320。底板310包括承载面311,承载面311具有基板承载区域312。本实施例中,为了配合大多数待检测基板的矩形形状,基板承载区域312大致呈矩形。具体地,基板承载区域312具有第一侧边312a、第二侧边312b、第三侧边312c以及第四侧边312d,其中第一侧边312a与第三侧边312c相对,第二侧边312b与第四侧边312d相对。因此,第二侧边312b平行于第四侧边312d,并定义平行于第二侧边312b的方向为第一方向Al,第一侧边312a平行于第三侧边312c,并定义平行于第一侧边312a的方向为第二方向A2。此外,基板切割面辅助检测治具300还包括设置于基板承载区域312的承载台305。本实施例中,为了便于取放待检测基板,承载台305包括相对放置的两个支撑部305a,用于支撑待检测基板,但并不以此为限。
[0043]第一反射元件320设置于底板310的承载面311上,位于基板承载区域312之外并靠近第一侧边312a。本实施例中,第一反射元件320的长度方向与第一侧边312a平行,且优选地,第一反射元件320的长度小于第一侧边312a的长度。第一反射元件320具有第一反射面322,第一反射面322朝向基板承载区域312,且第一反射面322与承载面311具有第一夹角a2。本实施例中,第一反射元件320包括支撑体323以及设置于支撑体323倾斜面上的平面反射镜324,且第一反射面322为平面反射镜324的反射面。本实施例中,为了配合显微镜检测,第一夹角a2例如是45°,但并不限定于此。可以理解,第一夹角%的设置应以配合显微镜检测放置于基板承载区域312的待检测基板位于第一侧边312a处的切割面为宜。
[0044]此外,基板切割面辅助检测治具300还包括限位元件340。限位元件340设置于承载面311上,位于基板承载区域312外并靠近第一侧边312a。限位元件340相对承载面311的高度高于承载台305相对承载面311的高度,并具有朝向基板承载区域312的抵靠面342。为了能提供有效的切割面的反射光线信息,如图8所示,抵靠面342于承载面311的正投影线与基板承载区域312的第一侧边312a重合。本实施例中,为了实现较佳的抵靠效果,限位元件340包括两个限位部341,分别位于第一反射元件320的上下两端,但限位元件340的结构并不以此为限。
[0045]图11是本实用新型第三实施例的基板切割面辅助检测治具的使用状态示意图。请参照图11,本实施例的基板切割面辅助检测治具300配合显微镜使用,可对待检测基板30进行切割面检测。待检测基板30大致呈矩形,且包括相对的第一表面和第二表面(未标注),以及连接于第一表面和第二表面之间的第一切割面33a、第二切割面33b、第三切割面33c以及第四切割面34d,其中第三切割面33c与第一切割面33a相对,第四切割面33d与第二切割面33b相对。首先,将待检测基板30置于承载台305上,使待检测基板30的第一切割面33a上下两端部分抵靠于限位元件340的抵靠面342。此时,第一反射元件320可反射部分的第一切割面33a的形貌的光线信息。之后,将固定好待检测基板30的基板切割面辅助检测治具300进一步放置到显微镜(图未示)的工作载台上,并使得显微镜的物镜设于第一反射元件320的一端并可接收第一反射元件320反射的光线信息的位置,然后移动显微镜的工作载台,使得显微镜的物镜沿第一侧边312a (也即第二方向A2)从第一反射元件320的一端向另一端移动,以检测部分第一切割面33a。另外,也可在检测过程中沿第二方向A2移动待检测基板30,使得与抵靠面342接触的部分第一切割面33a露出,并利用显微镜进行检测,以获得全面的切割面情况。然后,可重新放置待检测基板30,类似第一切割面33a,来依次实现对第二切割面33b、第三切割面33c和第四切割面33d的检测,在此不再赘述。
[0046]本实用新型的基板切割面辅助检测治具300,当待检测基板30设置于基板承载区域312的承载台305上时,第一反射件320的第一反射面322即与待检测基板30的切割面倾斜相对,从而将切割面的形貌的光线信息进行反射。此时,配合显微镜来接收第一反射面322反射的光线信息,即可简单方便的对待检测基板30的切割面进行检测,无需使用昂贵的3D显微镜,无需直立待检测基板,也无需使用其他切割区域的间接分析方法,因此,有利于节约成本,并能避免切割面的损坏,有利于检测获得切割面的真实切割情况。
[0047]以上所述,仅是本实用新型的实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,虽然本实用新型已以实施例揭露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【权利要求】
1.一种基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该检测治具包括: 底板,包括承载面,该承载面具有基板承载区域,该基板承载区域具有第一侧边;以及 第一反射元件,设置于该承载面上,位于该基板承载区域外并靠近该第一侧边,该第一反射元件具有朝向该基板承载区域的第一反射面,且该第一反射面与该承载面具有第一夹角。
2.根据权利要求1所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该第一反射元件的长度方向与该第一侧边平行。
3.根据权利要求1所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板承载区域还具有与该第一侧边相连接的第二侧边,该基板切割面辅助检测治具还包括第二反射元件,该第二反射元件设置于该承载面上,位于该基板承载区域外并靠近该第二侧边,且具有朝向该基板承载区域的第二反射面,该第二反射面与该承载面具有第二夹角。
4.根据权利要求3所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该第二反射元件的长度方向与该第二侧边平行。
5.根据权利要求1所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板承载区域还具有第二侧边、第三侧边和第四侧边,该第三侧边和该第一侧边相对,该第四侧边与该第二侧边相对,该基板切割面辅助检测治具还包括第一限位块,该第一限位块沿平行于该第二侧边的第一方向滑动地设置于该承载面上并位于该基板承载区域。
6.根据权利要求5所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板切割面辅助检测治具还包括第一标尺,该第一标尺的刻度方向平行于该第一方向。
7.根据权利要求5所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板切割面辅助检测治具还包括第二限位块,该第二限位块沿平行于该第一侧边的第二方向滑动地设置于该承载面上并位于该基板承载区域。
8.根据权利要求7所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板切割面辅助检测治具还包括第二标尺,该第二标尺的刻度方向平行于该第二方向。
9.根据权利要求1所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板切割面辅助检测治具还包括承载台,该承载台设置于该底板上并位于该基板承载区域。
10.根据权利要求9所述的基板切割面辅助检测治具,其特征在于,该基板切割面辅助检测治具还包括限位元件,该限位元件设置于该承载面上,位于该基板承载区域外并靠近该第一侧边,该限位元件相对该承载面的高度高于该承载台相对该承载面的高度,并具有朝向该承载台的抵靠面,且该抵靠面于该承载面的正投影线与该基板承载区域的该第一侧边重合。
【文档编号】G01N21/84GK203465185SQ201320519830
【公开日】2014年3月5日 申请日期:2013年8月23日 优先权日:2013年8月23日
【发明者】郭理超, 王雷 申请人:昆山龙腾光电有限公司
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