专利名称：能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构的制作方法
技术领域：
本发明提供一种可便利装配不同大、小尺寸的晶圆盒，进而提升使用效能的承载机构。
背景技术：
在现今，晶圆盒概分有8英寸、12英寸等不同大、小尺寸，并配置于各工作站以供取放不同尺寸的晶圆，各工作站则设有承载板，用来承置及定位晶圆盒，由于晶圆盒是规格品，SEMI (半导体设备及材料研究所)即针对不同大、小尺寸的晶圆盒与专用承载板间的定位方式作一规范，以确保专用承载板精确定位晶圆盒。请参阅图1，是SEMI规范大尺寸晶圆盒11与承载板12的定位方式示意图，该大尺寸晶圆盒11的底面设有一为V型直槽111的卡合部，并设有两个为V型斜槽112、113的卡合部，该承载板12是在顶面相对应大尺寸晶圆盒11的V型直槽111位置设有Y轴向定位销121，并在相对应大尺寸晶圆盒11的二 V型斜槽112、113位置设有X轴向定位销122、 123 ；请参阅图2，在装配大尺寸晶圆盒11时，将大尺寸晶圆盒11的V型直槽111及V型斜槽112、113分别对位嵌置于承载板12的Y轴向定位销121及X轴向定位销122、123上，该承载板12可利用Y轴向定位销121限制大尺寸晶圆盒11作Y轴向位移，并以X轴向定位销122、123限制大尺寸晶圆盒11作X轴向位移，使得大尺寸晶圆盒11定位于承载板12上以供取放晶圆。请参阅图3，是SEMI规范小尺寸晶圆盒13与承载板14的定位方式示意图，该小尺寸晶圆盒13是在两侧板131、132的底部连结有底板133，该底板133的底面则凸设有一为插块134的卡合部，该承载板14是在顶面的两侧分别设有复数个Y轴向定位块141，并在相对应小尺寸晶圆盒13的插块134位置设有二 X轴向定位插座142 ；请参阅图4，在装配小尺寸晶圆盒13时，可将小尺寸晶圆盒13放置于承载板14两侧的各Y轴向定位块141间，使小尺寸晶圆盒13的两侧板131、132贴靠于侧方的各Y轴向定位块141，并使小尺寸晶圆盒 13的插块134插置于承载板14的X轴向定位插座142，进而承载板14可利用各Y轴向定位块141限制小尺寸晶圆盒13作Y轴向位移，并以二 X轴向定位插座142限制小尺寸晶圆盒13作X轴向位移，使得小尺寸晶圆盒13定位于承载板14上以供取放晶圆。然而，不论大、小尺寸的晶圆盒11、13均配置有专用的承载板12、14，导致业者必须购置二种不同定位型态的承载板12、14，方可因应装配不同尺寸的晶圆盒11、13，又，不同定位型态的承载板12、14的数量繁多时，不仅相当占空间而不便于收整，若将复数个承载板12、14混合迭置存放，则不便于管理，再者，若工作站目前装配复数个承载板12，用来承载大尺寸晶圆盒11而执行取放晶圆作业，当工作站下一批次作业需应用小尺寸晶圆盒 13以供取放晶圆时，即必须费时繁琐将大尺寸晶圆盒11专用的承载板12卸除，并重新装配小尺寸晶圆盒13专用的承载板14，造成使用不便的缺失。
发明内容[0006]针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种能够装配不同大小尺寸的晶圆盒，以提升使用效能的承载机构。为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，包含本体，设有容置槽，并在容置槽的周侧设有至少一个第一 Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件；活动件，装配于本体的容置槽内，并在一面设有至少一个第一 X轴向定位件，另一面则设有至少一个第二 X轴向定位件，活动件的第一 X轴向定位件与本体的第一 Y轴向定位件组成第一定位组，供大尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位，第二 X轴向定位件与本体的第二 Y轴向定位件组成第二定位组，供小尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位。该本体在容置槽的后方设有一个为凸柱的第一 Y轴向定位件，并在容置槽的两侧方分别设有两个为凸块的第二Y轴向定位件。该本体为面板、座体或架体，用来承置晶圆盒。该本体在容置槽的至少一个侧面凹设有至少一个缺槽。该活动件在一面设有两个为凸柱的第一 X轴向定位件，另一面则设有两个为定位插座的第二 X轴向定位件。还包含在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有至少一个承置部，在活动件的两端设有至少一个跨接部，并以跨接部跨置于本体的承置部上。该结合结构在本体的容置槽两端分别设有承置部及嵌合部，并在活动件的两端分别设有第一跨接部及第二跨接部。该结合结构在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的定位销及定位孔，另在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的螺孔及通孔，再以栓具穿置该通孔，该栓具并螺合于螺孔。该结合结构在本体的承置部设有定位销，在活动件的第一跨接部设有第一定位孔，以及在第二跨接部设有第二定位孔。该结合结构在本体的承置部设有螺孔，在活动件的第一跨接部设有第一通孔，以及在第二跨接部设有第二通孔。与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，该承载机构可承置不同大、小尺寸的晶圆盒，不需费时拆卸更换专用承载板，达到提升使用效能及便利性的实用效益。本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，使活动件组装于本体上， 且保持于同一平面，达到平稳承置晶圆盒的实用效益。本发明提供一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，该承载机构的活动件装配于本体上而可一并收置，不仅缩减收置空间，并可便于管理，达到提升使用效能的实用效益。
[0024]图1是现有大尺寸晶圆盒与专用承载板的示意图；图2是现有大尺寸晶圆盒与专用承载板的组装示意图；图3是现有小尺寸晶圆盒与专用承载板的示意图；图4是现有小尺寸晶圆盒与专用承载板的组装示意图；图5是本发明承载机构的零件分解图；图6是本发明承载机构与大尺寸晶圆盒的示意图；图7是本发明承载机构的局部剖视图；图8是本发明承载机构装配大尺寸晶圆盒的组装示意图；图9是本发明承载机构装配大尺寸晶圆盒的平面示意图；图10是本发明承载机构与小尺寸晶圆盒的示意图；图11是本发明承载机构的局部剖视图；图12是本发明承载机构装配小尺寸晶圆盒的组装示意图；图13是本发明承载机构装配小尺寸晶圆盒的平面示意图。附图标记说明现有技术大尺寸晶圆盒11 ；V型直槽111 ；V型斜槽112、113 ；承载板12 ；Y轴向定位销121 ；X轴向定位销122、123 ；小尺寸晶圆盒13 ；侧板131、132 ；底板133 ；插块134 ； 承载板14 ；Y轴向定位块141 ；X轴向定位插座142 ；本发明承载机构20 ；本体21 ；容置槽211 ；缺槽212 ；第一 Y轴向定位件213 ；第二 Y轴向定位件214 ；承置部215 ；嵌合部216 ；定位销217 ；螺孔218 ；活动件22 ；第一 X轴向定位件221 ；第二 X轴向定位件222 ；第一跨接部223 ；第二跨接部224 ；第一定位孔225 ； 第一通孔226 ；第二定位孔227 ；第二通孔228 ；栓具23 ；大尺寸晶圆盒30 ；V型直槽31 ；V型斜槽32、33 ；容置空间34 ；小尺寸晶圆盒40 ；侧板41、42 ；底板43 ；插块44。
具体实施方式
为使贵审查委员对本发明作更进一步的了解，兹举一较佳实施例并配合图式，说明如后请参阅图5，本发明承载机构20包含有本体21及活动件22，该本体21可为面板、 座体或架体，用来承置不同大小尺寸的晶圆盒，并设有可置入活动件22的容置槽211，在本实施例中，该本体21是一框座，并在顶面开设有一可容置活动件22的容置槽211，该容置槽 211是在内侧面凹设有缺槽，在本实施例中，该容置槽211是在两侧面分别凹设有复数个缺槽212，用来辅助便利取出活动件22，又本体21是在容置槽211的周侧设有至少一个第一 Y 轴向定位件及至少一个第二 Y轴向定位件，在本实施例中，是在容置槽211的后方固设有一为凸柱的第一 Y轴向定位件213，并在容置槽211的两侧分别固设有复数个为凸块的第二 Y 轴向定位件214，该活动件22装配于本体21的容置槽211内，并在一面设有至少一个第一 X轴向定位件，在另一面设有至少一个第二 X轴向定位件，在本实施例中，该活动件22在一面设有两个为凸柱的第一 X轴向定位件221，并在另一面设有两个为定位插座的第二 X轴向定位件222，另在活动件22与本体21的容置槽211间设有结合结构，该结合结构是在本体21的容置槽211两端分别设有至少一个承置部，而活动件22的两端则分别设有至少一个跨接部，用来跨置定位于本体21的承置部上，并与本体21保持同一平面，在本实施例中，该结合结构是在本体21的容置槽211两端分别设有承置部215及嵌合部216，并在活动件 22的两端分别设有第一跨接部223及第二跨接部224，在活动件22的第一跨接部223跨置于本体21的承置部215上时，第二跨接部2M则嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件 22与本体21相互组装，并保持同一平面，反之，在翻转活动件22使第二跨接部2M跨置于本体21的承置部215上时，第一跨接部223则嵌入于本体21的嵌合部216内，也使得活动件22与本体21相互组装，并保持同一平面，再者，该结合结构更包含于本体21的承置部与活动件22的跨接部间设有相互配合的定位销与定位孔，以及相互配合的螺孔与通孔，再以栓具穿置通孔，并螺合于螺孔，使活动件22组装定位于本体21的容置槽211内，在本实施例中，该结合结构是在本体21的承置部215设有定位销217及螺孔218，在活动件22的第一跨接部223设有第一定位孔225及第一通孔226，以及于第二跨接部2M设有第二定位孔 227及第二通孔228，活动件22的第一定位孔225或第二定位孔227可套置于本体21的定位销217，使活动件22精确定位，而第一通孔2 或第二通孔2 则供栓具23穿置，并螺合于本体21的螺孔218，将活动件22组装于本体21上。请参阅图6、图7，该大尺寸晶圆盒30是规格品，其是在底面相对应承载机构20本体21的第一 Y轴向定位件213位置设有一为V型直槽31的卡合部，并在底面相对应活动件22的第一 X轴向定位件221位置设有两个为V型斜槽32、33的卡合部，另在大尺寸晶圆盒30的底面凹设有容置空间34，当承载机构20欲装配大尺寸晶圆盒30时，先将活动件22 的第一 X轴向定位件221朝向上方，并以第一跨接部223上的第一定位孔225套置于本体 21承置部215的定位销217上，使第一跨接部223跨置于本体21的承置部215上，而辅助活动件22精确定位，由于第二跨接部2M与第一跨接部223具有高低位差，第二跨接部2M 可嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件22与本体21保持同一平面，再以栓具23穿置活动件22的第一通孔226，并螺合于本体21的螺孔218，进而将活动件22锁固组装于本体 21上，使活动件22的第一 X轴向定位件221与本体21的第一 Y轴向定位件213组成第一定位组；请参阅图8、图9，在装配大尺寸晶圆盒30时，可将大尺寸晶圆盒30的V型直槽31 及V型斜槽32、33分别对位嵌套于承载机构20的本体21的第一 Y轴向定位件213及活动件22的第一 X轴向定位件221上，由于大尺寸晶圆盒30的底面凹设有容置空间34，使得本体21的各第二 Y轴向定位件214可位于大尺寸晶圆盒30的容置空间34，进而承载机构20 可利用本体21的第一 Y轴向定位件213与大尺寸晶圆盒30的V型直槽31相互卡掣，以防止大尺寸晶圆盒30作Y轴向位移，并以活动件22的第一 X轴向定位件221与大尺寸晶圆盒30的V型斜槽32、33相互卡掣，以防止大尺寸晶圆盒30作X轴向位移，使得大尺寸晶圆盒30稳固定位于承载机构20上以供取放晶圆。请参阅图10、图11，该小尺寸晶圆盒40是规格品，并在两侧板41、42的底部连结有底板43，该底板43的底面则凸设有一为插块44的卡合部，当承载机构20欲装配小尺寸晶圆盒40时，可先将活动件22上的栓具23卸除，并翻转活动件22，使活动件22的第二 X 轴向定位件222朝向上方，并以第二跨接部2M上的第二定位孔227套置于本体21的定位销217上，使第二跨接部2M跨置于本体21的承置部215上，以辅助活动件22精确定位，由于第二跨接部2M与第一跨接部223具有高低位差，第一跨接部223可嵌入于本体21的嵌合部216内，使活动件22与本体21保持同一平面，再以栓具23穿置活动件22的第二通孔 228，并螺合于本体21的螺孔218，进而将活动件22锁固组装于本体21上，使活动件22的第二 X轴向定位件222与本体21的第二 Y轴向定位件214组成第二定位组；请参阅图12、 图13，在装配小尺寸晶圆盒40时，可将小尺寸晶圆盒40放置于本体21的各第二 Y轴向定位块214间，使小尺寸晶圆盒40的两侧板41、42贴靠于侧方的各第二 Y轴向定位块214， 并以小尺寸晶圆盒40的插块44插置于活动件22的第二 X轴向定位件222，进而承载机构 20可利用本体21的第二 Y轴向定位块214卡掣于小尺寸晶圆盒40的两侧板41、42，以防止小尺寸晶圆盒40作Y轴向位移，并以活动件22的第二 X轴向定位件222与小尺寸晶圆盒40的插块44相互卡掣，以防止小尺寸晶圆盒40作X轴向位移，使得小尺寸晶圆盒40稳固定位于承载机构20上以供取放晶圆。 以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，包含本体，设有容置槽，并在容置槽的周侧设有至少一个第一 Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件；活动件，装配于本体的容置槽内，并在一面设有至少一个第一 X轴向定位件，另一面则设有至少一个第二 X轴向定位件，活动件的第一 X轴向定位件与本体的第一 Y轴向定位件组成第一定位组，供大尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位，第二 X轴向定位件与本体的第二 Y轴向定位件组成第二定位组，供小尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位。
2.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体在容置槽的后方设有一个为凸柱的第一 Y轴向定位件，并在容置槽的两侧方分别设有两个为凸块的第二Y轴向定位件。
3.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体为面板、座体或架体，用来承置晶圆盒。
4.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该本体在容置槽的至少一个侧面凹设有至少一个缺槽。
5.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该活动件在一面设有两个为凸柱的第一 X轴向定位件，另一面则设有两个为定位插座的第二 X轴向定位件。
6.根据权利要求1所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，还包含在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有至少一个承置部，在活动件的两端设有至少一个跨接部，并以跨接部跨置于本体的承置部上。
7.根据权利要求6所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的容置槽两端分别设有承置部及嵌合部，并在活动件的两端分别设有第一跨接部及第二跨接部。
8.根据权利要求7所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的定位销及定位孔，另在本体的承置部与活动件的第一、二跨接部间设有相互配合的螺孔及通孔，再以栓具穿置该通孔，该栓具并螺合于螺孔。
9.根据权利要求8所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部设有定位销，在活动件的第一跨接部设有第一定位孔，以及在第二跨接部设有第二定位孔。
10.根据权利要求8所述的能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，其特征在于，该结合结构在本体的承置部设有螺孔，在活动件的第一跨接部设有第一通孔，以及在第二跨接部设有第二通孔。
专利摘要一种能够装配不同尺寸晶圆盒的承载机构，包含有一具容置槽的本体及活动件，该本体是在容置槽的周侧设有至少一个第一Y轴向定位件及至少一个第二Y轴向定位件，该活动件装配于本体的容置槽内，并在一面设有至少一个第一X轴向定位件，另一面则设有至少一个第二X轴向定位件，另在活动件与本体的容置槽间设有结合结构，以使活动件与本体于组装后保持平面，进而活动件的第一X轴向定位件与本体的第一Y轴向定位件组成第一定位组，以供大尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位，在翻转活动件后，则使活动件的第二X轴向定位件与本体的第二Y轴向定位件组成第二定位组，以供小尺寸晶圆盒的卡合部嵌合定位；如此，该承载机构可承置不同大、小尺寸的晶圆盒，不需费时拆卸更换及购置专用承载板，达到提升使用效能的实用效益。
文档编号H01L21/673GK202268335SQ20112033411
公开日2012年6月6日 申请日期2011年9月7日 优先权日2011年9月7日
发明者刘东波 申请人:承澔科技股份有限公司