半导体元件的制作方法

文档序号:11136619阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体元件,包含:

基底;以及

栅极结构,设于该基底上,该栅极结构包含:

高介电常数介电层,设于该基底上;以及

底部金属阻隔层,设于该高介电常数介电层上,该底部金属阻隔层包含上半部、中半部以及下半部,且该上半部为一富氮部分而该中半部及该下半部各为一富钛部分。

2.如权利要求1所述的半导体元件,其中该上半部的厚度为该底部金属阻隔层的三分之一厚度。

3.如权利要求1所述的半导体元件,其中该中半部的厚度为该底部金属阻隔层的三分之一厚度。

4.如权利要求1所述的半导体元件,其中该下半部的厚度为该底部金属阻隔层的三分之一厚度。

5.如权利要求1所述的半导体元件,其中该上半部的氮对钛的比例为1至1.2比1。

6.如权利要求5所述的半导体元件,其中该中半部的氮对钛的比例为0.5至1比1。

7.如权利要求5所述的半导体元件,其中该下半部的氮对钛的比例为0.5至1比1。

8.一种半导体元件,包含:

基底;以及

栅极结构,设于该基底上,该栅极结构包含:

高介电常数介电层,设于该基底上;以及

底部金属阻隔层,设于该高介电常数介电层上,该底部金属阻隔层包含上半部、中半部以及下半部,且该中半部为一富氮部分且该上半部及该下半部各为一富钛部分。

9.如权利要求8所述的半导体元件,其中该上半部的厚度为该底部金属阻隔层的三分之一厚度。

10.如权利要求第8项所述的半导体元件,其中该中半部的厚度为该底 部金属阻隔层的三分之一厚度。

11.如权利要求8所述的半导体元件,其中该下半部的厚度为该底部金属阻隔层的三分之一厚度。

12.如权利要求8所述的半导体元件,其中该中半部的氮对钛的比例为1至1.2比1。

13.如权利要求8所述的半导体元件,其中该中半部的氮对钛的比例为0.5至1比1。

14.如权利要求8所述的半导体元件,其中该下半部的氮对钛的比例为0.5至1比1。

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