连接结构及其制作方法与流程

文档序号:12274962阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种连接结构用以与位于一基板上的一导电层电性接触,包括:

一导电连结构件,位于该基板上,且该导电连结构件包括:

一连接部,具有一底部与该导电层电性接触;以及

一延伸部,由该连接部的一顶部横向向外延伸,且该延伸部与该连接部分别由不同的材料所形成。

2.根据权利要求1所述的连接结构,其中该延伸部具有一上部宽度及一下部宽度,该上部宽度是等于或小于该下部宽度。

3.根据权利要求1所述的连接结构,其中构成该延伸部的材料是一介电材料或者是选自于由金属、金属氧化物、金属硅化物、半导体和上述的任意组合所组成的一族群。

4.根据权利要求1所述的连接结构,其中该导电连结构件具有T型的一纵向截面。

5.根据权利要求1所述的连接结构,更包括一介电间隙壁(dielectric spacer),邻接于该延伸部的一下方表面以及该连接部的至少一侧壁。

6.一种连接结构的制作方法,包括:

提供一基板使其具有至少一导电层位于该基板上;

于该基板上形成至少一导电连结构件,使该导电连结构件具有一连接部和一延伸部;其中该连接部的一底部与该导电层电性接触;该延伸部由该连接部的一顶部横向向外延伸,且该延伸部与该连接部分别由不同的材料所形成。

7.根据权利要求6所述的连接结构的制作方法,其中形成该导电连结构件步骤更包括:

形成一介电层覆盖于该导电层上;

形成至少一开口穿过该介电层,并将至少一部分该导电层暴露于外;

填充一导电材料于该开口中,藉以形成该连接部;以及;

于该连接部的该顶部的至少一侧壁上形成该延伸部。

8.根据权利要求7所述的连接结构的制作方法,其中形成该延伸部的步骤包括:

移除部分该介电层以暴露该顶部;

形成一薄膜层覆盖该介电层及该顶部;以及

移除一部分该薄膜层,于该顶部的该至少一侧壁形成至少一自对准间隙壁(self-aligned spacer)。

9.根据权利要求8所述的连接结构的制作方法,其中构成该薄膜层的材料是一介电材料或是选自于由金属、金属氧化物、金属硅化物、半导体和上述的任意组合所组成的一族群。

10.根据权利要求7所述的连接结构的制作方法,其中形成该延伸部之后更包括:

以该延伸部为一刻蚀掩模,移除一部分该介电层,以形成至少一介电间隙壁。

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