装配机以及给载体装配无壳体芯片的方法与流程

文档序号:11136452阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种给载体(190)装配无壳体芯片 (282)的装配机,其尤其用来制造电子元件,这些电子元件分别具有至少一个位于壳体中的芯片(282),该壳体尤其具有硬化的铸造材料,所述装配机(100、300, 500)具有:

机架 (112);

供应装置(140),其用来提供晶片(180),所述晶片具有许多芯片(282),其中所述供应装置(140)设置在所述机架(112)上;

抬升装置(513),其设置在所述机架(112)上;

载体-容纳装置(130),其用来容纳待装配的载体(190),其中

所述载体-容纳装置(130)设置在所述抬升装置(513)上,并且借助抬升装置(513)相对于所述机架(112)沿着z-方向可移支; 以及

以及装配头(120),其用来从提供的晶片(180)上提取芯片(282)并且将提取的芯片(282)定位在该容纳的载体 (190)的预定义的装配位置上,

其中所述载体-容纳装置(130)具有:

单体的支承元件 (132、332、532),其是载体-容纳装置(130)的至少一个上方部件,其中待装配的载体(190)能够平放在该单体的支承元件(132、332、532)上;以及

输送装置(160),其用来沿着输送方向 (T)将所述载体(190)输送到单体的支承元件(132、332、532)的上侧上;其中

在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上,所述输送装置(160)在空间上集成于单体的支承元件(132、332、532)中。

2.根据上述权利要求所述的装置,其中

所述输送装置(160)具有两个输送元件(161、162),它们沿着所述输送方向(T)延伸并且垂直于所述输送方向(T)相互隔开,并且它们构造得使待装配的载体(190)以其下侧平放在这两个输送元件(161、162)的下侧上。

3.根据上述权利要求所述的装置,其中

这两个输送元件分别具有输送皮带(161、162),

其中在单体的支承元件(132、332、532)中分别设置有两个输送凹槽(361a、361b),它们沿着输送方向(T)延伸并且这样构成,即输送皮带(161、162)分别在输送凹槽(361a、361b)中延伸。

4.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中

所述输送装置(160)具有两个运转状态,

在第一运转状态下所述输送装置(160)完全集成于单体的支承元件(132、332、532)中,因此整个输送装置(160)都位于通过单体的支承元件(132、332、532)的上侧确定的支承平面的下方,并且

在第二运转状态中输送装置(160、161、162)的至少一部分位于此支承平面之上。

5.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中

单体的支承元件(132、332、532)具有气动接口(233、533),低压能够借助所述接口施加到载体(190)的下表面上。

6.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中该装置还具有

调温装置(238),其在热量方面与单体的支承元件(132, 332, 532)耦合并且这样构成,即单体的支承元件(132、332、532)至少几乎保持在恒定的温度上。

7.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中

单体的支承元件(132、332、532)具有至少两个标记(234),其在光学上可识别并且尤其设置在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上的空间区域之外,该空间区域设置得用来容纳待装配的载体(190)。

8.根据上述权利要求所述的装配机,其中

单体的支承元件(132、332、532)具有至少两个另外的标记(235),其在光学上可识别并且尤其设置在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上的空间区域之外,该空间区域设置得用来容纳待装配的载体(190)。

9.根据上述权利要求所述的装配机,其中

这两个标记(234)相互具有垂直于输送方向(T)的空间偏置,

这两个另外的标记(235)相互同样具有垂直于输送方向(T)的空间偏置,

这两个标记(234)相对于这两个另外的标记(235)中的每一个都具有沿输送方向(T)的空间偏置。

10.根据上述权利要求7至9中任一项所述的装配机,其中

在单体的支承元件(132 332, 532)上设置有至少一个附加标记(236),其沿着输送方向(T)位于标记(234)和另一标记(235)之间,和/或

其中在单体的支承元件(132 332, 532)上设置有至少另一个附加标记(237),其沿着输送方向(T)位于标记(234)和另一标记(235)之间。

11.根据上述权利要求7至10中任一项所述的装配机,其中

(a)至少一个标记(234)、(b)至少一个另外的标记(235)、(c)至少一个附加标记(236)和/或(d)至少一个另外的附加标记(237)的至少一个记号设置在输送装置(160)的外部。

12.按上述权利要求所述的装配机,其中该装置还具有

参照元件(370),其固定在单体的支承元件(132, 332, 532)上,

其中至少一个记号(334、335, 336, 337)设置在参照元件(370)上。

13.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中该装置还具有

照相机(250),其这样定位或可这样定位,即至少一个记号以及装配在载体(190)上的芯片(282)共同地在图像中由照相机(250)拍摄。

14.根据上述权利要求中任一项所述的装配机,其中该装置还具有

另一供应装置(141),其用来提供另一晶片(180),所述晶片同样具有许多芯片(282);

以及另一装配头(121),其用来从提供的另外的晶片(180)上提取芯片(282)并且将提取的芯片(282)定位在该容纳的载体 (190)的预定义的装配位置上。

15.一种方法,用来借助装配机(100、300、500)、尤其借助根据上述权利要求中任一项所述的装配机来给载体(190)装配无壳体芯片( 282),该方法包含

借助供应装置(140)提供晶片(180),所述晶片具有许多芯片(282);

借助输送装置(160)沿着输送方向(T)将待装配的载体(190)输送到载体-容纳装置 (130)的单体的支承元件(132、332、532)的上侧上,因此载体(190)至少几乎位于预定的加工位置的附近,其中输送装置(190)在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上从空间上集成于单体的支承元件中;

将所述载体(190)安放且固定在单体的支承元件(132、332、532)的上侧上;并且

借助装配头 (120)给载体(190)装配芯片(282),该装配头用来从提供的晶片(180)上提取芯片(282)并且将提取的芯片(282)定位在该容纳的载体(190)的预定义的装配位置上;

单体的支承元件(132、332、532)和输送装置(160)是载体-容纳装置 (130) 的部件,其能够借助抬升装置(513)相对于装配机(100、300、500)的机架(112)沿着竖直的z-方向移动,因此待装配的载体(190)的上侧位于预定义的装配平面(595)中。

16.按上述权利要求所述的方法,其中

载体(190)具有板(292)和粘贴薄膜(294),该粘贴薄膜设置在该板(292)的平整上侧上。

17.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中该方法还具有

探测两个光学结构 (296)的位置,如果载体(190)位于加工位置中,则这两个光学结构位于供应的载体(190)上;

在探测到的位置的基础上,确定供应的载体(190)相对于机架(112)的精确空间位置;

在载体 (190)的确定的精确的空间位置的基础上,查明装配机(100、300、500)的坐标系统中预定的装配位置的坐标;

其中载体(190)上的预定的装配位置还取决于该查明的坐标。

18.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中该方法还具有

探测两个至少两个标记(234)的位置,这两个标记位于单体的支承元件(132、332、532)上,

其中载体(190)上的预定的装配位置还取决于至少两个标记(234)的位置。

19.按上述权利要求所述的方法,其中

在装配载体(190)时以预先设定的时间间隔重复地探测这至少两个标记(234)的位置,并且在探测到的位置的基础上校正预定的装配位置的坐标。

20.按上述权利要求15至19中任一项所述的方法,该方法还具有

测量装配在载体(190)上的模块(282、372)的位置;

在给载体(190)装配无壳体芯片 (282)期间,随后重新测量模块(282、372)的位置;以及

确定模块(282、372)在所述测量和重新测量之间的相对位移;

其中载体(190)上的预定的装配位置还取决于模块(282, 372)的位移。

21.按上述权利要求20所述的方法,其中

该模块是校正模块(372)并且具有可光学识别的结构。

22.按上述权利要求20所述的方法,其中

所述模块是经装配的无壳体的芯片 (282)。

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