技术特征：
技术总结
本发明公开了一种激光晶化装置及方法。一种激光晶化装置，包括激光振荡器、工作台和反射单元。工作台被配置为支撑基底，基底上设置有目标膜。激光振荡器被配置为将入射激光束照射到目标膜上。工作台被配置为移动基底，使得入射激光束扫描目标膜。入射激光束从目标膜反射以生成反射激光束。反射单元包括定位在反射激光束的路径处的至少两个反射镜。反射单元被配置为通过与入射激光束的路径不同的多条路径将反射激光束两次或更多次地重新照射到目标膜上。
技术研发人员：李洪鲁;朴來喆;李忠焕
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2017.03.23
技术公布日：2017.10.03