一种硅片单面清洗机的制作方法

文档序号:14913136发布日期:2018-07-10 23:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片单面清洗机,其特征在于包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头,所述的支架位于箱体内侧底部,所述的支架与箱体通过螺栓相连,所述的气缸位于支架下端,所述的气缸与支架通过螺栓相连,所述的斜面推头位于气缸上端且贯穿支架,所述的斜面推头与气缸螺纹相连,所述的连接杆位于斜面推头上端,所述的连接杆与斜面推头螺纹相连,所述的放料板位于连接杆上端,所述的放料板与连接板螺纹相连,所述的避让槽数量为4件,沿放料板对称布置,所述的支撑夹紧机构数量为4件,沿所述支架对称布置,所述的伺服电机位于箱体顶部左侧,所述的伺服电机与箱体通过螺栓相连,所述的丝杠位于伺服电机右侧且位于箱体顶部,所述的丝杠与伺服电机键相连且与箱体转动相连,所述的丝杠贯穿进给螺母,所述的进给螺母与丝杠螺纹相连,所述的滑座位于进给螺母外侧且位于箱体顶部,所述的滑座与进给螺母通过螺栓相连且与箱体滑动相连,所述的水箱位于滑座下端,所述的水箱与滑座通过螺栓相连,所述的针型喷头位于水箱下端,所述的针型喷头与水箱螺纹相连。

2.如权利要求1所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的箱体还设有送料门,所述的送料门与箱体铰链相连。

3.如权利要求1所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的箱体还设有废液盒,所述的废液盒位于箱体底部,所述的废液盒与箱体焊接相连。

4.如权利要求3所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的废液盒还设有排污管,所述的排污管位于废液盒外侧,所述的排污管与废液盒螺纹相连。

5.如权利要求1所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的放料板还设有若干定位片,所述的定位片位于放料板侧面,所述的定位片与放料板通过螺栓相连。

6.如权利要求1所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的支撑夹紧机构还包括导套、导杆、楔形块、弹簧、支撑杆、L形护套,所述的导套位于支架上端,所述的导套与支架通过螺栓相连,所述的导杆贯穿导套,所述的导杆可以沿导套左右滑动,所述的楔形块位于导杆外侧且位于支架上端,所述的楔形块与导杆螺纹相连且与支架通过螺栓相连,所述的弹簧位于导杆外侧且位于楔形块和导套之间,所述的支撑杆位于楔形块上端,所述的支撑杆与楔形块焊接相连,所述的L形护套位于支撑杆顶部,所述的L形护套与支撑杆粘接相连。

7.权利要求6所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的楔形块还设有滑轨,所述的滑轨位于支架上端且贯穿楔形块,所述的滑轨与支架通过螺栓相连,所述的楔形块可以沿滑轨左右滑动。

8.如权利要求6所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的导杆还设有限位头,所述的限位头与导杆一体相连。

9.如权利要求6所述的硅片单面清洗机,其特征在于所述的限位头还设有防撞垫,所述的防撞垫与限位头粘接相连。

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