技术总结
本发明公开了一种硅片单面清洗机，包括箱体、支架、气缸、斜面推头、连接杆、放料板、避让槽、支撑夹紧机构、伺服电机、丝杠、进给螺母、滑座、水箱、针型喷头，打开送料门，手动将硅片放置在放料板上，气缸回程，当斜面推头与楔形块接触后，随着气缸回程，4件对称布置的支撑夹紧机构同时工作，弹簧复位推动楔形块沿滑轨向斜面推头移动，从而带动支撑杆移动，进而带动4件对称布置的支撑夹紧机构收缩合拢将硅片夹紧，伺服电机工作，带动与水箱固连的针型喷头移动，向水箱内泵入高压的清洗液，清洗液经针型喷头喷出对硅片进行单面清洗。该装置结构简单，自动将硅片托起、夹紧，硅片夹紧时处于“浮动”状态，使得冲洗均匀，提高清洗效果。
技术研发人员：李世磊;阳军;吴会旭;李钊
受保护的技术使用者：苏州聚晶科技有限公司
技术研发日：2018.01.10
技术公布日：2018.07.10