竖直最外材料的任一蚀刻掩模之后)。
[0036]在一个实施例中，在其间具有壁的多个并排开口是亚微米，且在一个实施例中较大开口是亚微米。在一个实施例中，较大开口经形成为正交于至少一个直线横截面而纵向伸长的，举例来说如图4及6中所展示。
[0037]移除壁以产生类似图4到6的构造的构造可通过任何现有或尚待开发的方式而发生。在一个实施例中，移除壁的动作通过(举例来说)使用湿式及/或干式各向同性蚀刻动作的蚀刻而发生以移除壁。在一个实施例中，形成在其间具有壁的多个并排开口的动作包括在做出移除那些壁的动作时进行蚀刻。在一个此实施例中，形成的动作及移除的动作包括单独不同化学品的时间间隔蚀刻步骤。在其中开口通过蚀刻形成且壁通过蚀刻移除的再一个实施例中，形成开口的动作的蚀刻及移除壁的动作的蚀刻包括从形成到移除的单个连续蚀刻步骤。举例来说且仅以实例的方式，将如图1到3中所展示的衬底20视为具有直接抵靠衬底20的竖直最外表面的蚀刻掩模(例如，光致抗蚀剂及/或硬掩模)。所述蚀刻掩模可能经制作以最初具有对应于如出现于图1中的开口的开口。可进行等离子蚀刻以蚀刻图1到3中所展示的所描绘开口，其中蚀刻掩模的厚度及材料经选择使得等离子蚀刻的继续导致移除蚀刻掩模的开口之间的壁(例如，通过横向蚀刻)。此蚀刻将借此在蚀刻继续时暴露下伏壁21的竖直最外表面，借此蚀刻掉在并排衬底开口之间的那些壁。导致蚀刻在形成或接近形成非垂直侧壁表面34时有效地停止的蚀刻条件及材料可经选择，其中在不必存在用于蚀刻壁的单独的时间间隔移除步骤的情况下蚀刻掩模自身的持续蚀刻发生。蚀刻条件及或许化学品可稍后在连续蚀刻期间改变以实现比连续蚀刻动作中早期发生的蚀刻掩模的任何移除大的蚀刻掩模的材料的移除。
[0038]图1到3展示其中并排开口 12到18中的每一紧邻开口在衬底中相对于彼此具有不同深度的实例性实施例。具体来说，在每一紧邻对开口 12/13、13/14、14/15、15/16、16/17、17/18中，每一开口在每一对中的衬底中具有不同深度。此外，图1到3展示其中所有并排开口 12到18相对于彼此具有不同深度(S卩，开口 12到18中的任何两者在衬底20内均不具有相同深度)的实例性实施例。在替代实施例中，紧邻并排开口中的仅一些开口在衬底中形成到相对于彼此不同的深度，举例来说如由图7中的替代衬底片段1a所展示。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差别是以后缀“a”指示。举例来说，衬底片段1a具有相同深度相对衬底20的紧邻对个别开口 12、13、14、15、16，其中紧邻衬底开口 12/13、13/14、14/15、15/16之间的深度为相对于彼此不同的。图8展示图7的壁21 (未展示)的后续移除，借此形成其中移除壁的非垂直侧壁表面34a。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0039]图4到6展示其中非垂直侧壁表面34经形成以沿着如图5中所展示的直线垂直横截面沿着其长度的至少大部分(即，50%以上)为直线性的实例性实施例。在一个实施例中且还如图5中所展示，非垂直侧壁表面34沿着在直线垂直横截面中的实质上所有(即，95%以上)其长度为直线性的。图8描绘其中较大开口 30a的非垂直侧壁表面34a沿着其长度的大部分并非直线性的而是(举例来说)具有所描绘不同成角度区段35的替代实施例。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0040]图8还描绘其中非垂直侧壁表面34a经形成以具有不同成角度直线性区段35 (举例来说，所描绘水平成角度区段)与实质上相对于彼此成相同角度(例如，仅与垂直总体不同的两个角度)的所描绘向上/向下成角度区段的组合的实例性实施例。图9展示图8的衬底片段的替代实施例衬底片段10b。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差别是以后缀“b”指示。在图9中，较大开口 30b的非垂直侧壁表面34b具有两个以上不同成角度区段35b。此可由类比于且稍微不同于图7的那些开口的适当深度并排开口形成。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0041]因此，较大开口的非垂直侧壁表面可通过使最初形成的并排开口的深度变化而具有任何所期望配置。进一步举例来说，非垂直侧壁表面可经形成以沿着直线垂直横截面沿着其长度的至少大部分且在一个实施例中沿着其长度的实质上全部为弯曲的。在图10及图11中分别关于衬底片段1c及1d展示实例性此类实施例。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异分别是以后缀“C”及后缀“d”指示。衬底片段1c包含较大开口 30c。其侧壁32c包含非垂直凹面侧壁表面34c。衬底片段1d包含较大开口 30d。其侧壁32d包含非垂直凸面侧壁表面34d。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0042]在一个实施例中，非垂直侧壁表面经形成以具有至少一个直线性区段与至少一个弯曲区段的组合，举例来说如关于图12中的衬底片段1e所展示。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“e”指示。较大开口 30e包含侧壁32e，所述侧壁具有非垂直侧壁表面34e，所述非垂直侧壁表面具有直线性区段39及弯曲区段37。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0043]图4到6 ；8 ；9 ；10 ；11及12的上文所描述的实施例展示其中较大开口经形成以包括在所描绘直线垂直区段中与非垂直侧壁表面34、34a、34b、34c、34d或34e横向相对的垂直侧壁表面41的实例。在一个实施例中，较大开口可经形成为无与非垂直侧壁表面横向相对的任何垂直侧壁表面，且在一个实施例中无任何垂直表面。举例来说，图13描绘替代实施例衬底片段10f。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“f”指示。衬底片段1f具有既无与非垂直侧壁表面横向相对的任何垂直侧壁表面又无任何垂直表面的较大开口 30f。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0044]图14及15分别描绘进一步实例性此类替代实施例衬底片段10g、1h0已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异分别是以后缀“g”及“h”指示。在图14中，衬底片段1g具有经形成以在所描绘直线垂直横截面中为“V”形状的较大开口 30g。在图15中，衬底片段1h具有经形成以在所描绘直线垂直横截面中为“W”形状的较大开口 30h。可使用其它形状。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0045]在一个实施例中，较大开口经形成以包括为垂直的且与非垂直侧壁表面接合的竖直最外侧壁表面。此实例性衬底片段1j展示于图16中。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“j”或以不同编号指示。较大开口 30 j包括侧壁32 j，所述侧壁具有为垂直的且与非垂直侧壁表面34 j接合的竖直最外侧壁表面50。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0046]在一个实施例中，所有并排开口经形成为正交于直线垂直横截面而纵向伸长的，举例来说如在观看图1的俯视图时固有的。在一个实施例中，并排衬底开口中的至少一者经形成为并非纵向伸长的。此举例来说在图17中关于衬底片段1k而展示。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“k”或不同编号指示。衬底片段图1Ok具有并排衬底开口 61、62、63、64、65、66、67，所述并排衬底开口在其间具有壁21。衬底开口 61如所展示经形成为正方形的，借此(举例来说)与为纵向伸长(例如，矩形)的开口 62到67中的每一者相比并非纵向伸长的。替代地，开口 62到67中的一或多者可为正方形的(未展示)。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0047]图4到6的上文实例性实施例将较大开口 30描绘为经形成以具有正交于直线垂直横截面的水平基底表面29 (图6)，所述直线垂直横截面正交于经移除壁(图4及5)通过侧壁表面。在一个实施例中且如所展示，水平基底表面29沿着正交于所述直线垂直横截面的较大开口的实质上所有部分(即，至少95%)延伸。替代地，较大开口可经形成以具有正交于直线垂直横截面的某一非水平基底表面，举例来说如图18中关于衬底片段1m所展示。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“m”指示。图18在位置上对应于图6的位置。衬底片段1m的较大开口 30m展示为具有正交于所述直线垂直横截面(例如，类似图5的横截面的横截面)的非水平基底表面29m，且所述非水平基底表面沿着较大开口的实质上全部正交于所述直线垂直横截面延伸。可采用如上文所描述的任何其它属性。
[0048]此类非水平基底表面的形成可以任何适合方式实现。在一个此实施例中，并排衬底开口可经形成以个别地具有多个不同最外敞开尺寸，举例来说如关于图19到21中的替代实施例衬底片段1s所展示。已在适当的情况下使用来自上文所描述的实施例的相同编号，其中一些构造差异是以后缀“s”或以不同编号指示。衬底片段1s具有形成于衬底20中的并排开口 71、72、73、74。这些并排开口个别地具有多个不同最外敞开尺寸(举例来说)，其中在俯视图(图19)中各自展示为具有