[0032]6.转轴，
[0033]7.凹槽，
[0034]8.酸嘴，
[0035]9.水嘴。
【具体实施方式】
[0036]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
[0037]本实用新型为一种旋转夹具，包括环形承片台，在所述环形承片台上端边缘均匀设有至少2个环形凸起，所述环形承片台下端通过至少两根支撑肋连接的支撑环，所述支撑环套装有转轴，环形凸起的设计有利于固定芯片，因为芯片在进行快速旋转被腐蚀时，由于离心力的惯性作用，芯片易被甩出，环形凸起有利于防止芯片离开环形承片台位置；每两根支撑肋之间形成一个框型进水口，有利于水嘴进行喷水；所述支撑环套装有转轴，可便于控制芯片旋转的速度；本实用新型将转轴套装在支撑环上的一端设计为散射椎形，并且散射椎优选为圆锥状且切线为内凹弧线，当水嘴向散射椎进行喷水时，水是通过散射椎旋转间接散射在芯片底部，在正常水压范围内，都能正常工作，极大地减少了对水压稳定性的要求，同时水不会溢出到芯片顶部，防止水稀释芯片上端的腐蚀酸液，影响腐蚀效果；本实用新型结构上将散射椎尖端与环形承片台中心设计成对应关系，即散射椎尖端能够与芯片中心吻合，有利于减少离心力的惯性作用，防止芯片在旋转时脱离环形承片台中心；更有利于减少水嘴喷水时对水流量大小的依赖程度，因为以往水嘴直接对芯片底部射水，对水压的稳定性要求较高，如果水流量大，冲击芯片底部，芯片在水冲击下直接脱离承片台或水会溢出到芯片顶部四周台面上，对酸产生稀释作用，影响腐蚀效果；如果水流量小，水不能完全保护芯片底部，造成芯片背面被酸侵蚀；本实用新型将环形凸起外侧向外倾斜设计成坡状以及在环形凸起之间设有凹槽，有利于多余腐蚀酸液顺沿坡度和凹槽流走，防止腐蚀酸液渗入芯片下方，将芯片背面侵蚀，并且凹槽的设计有利于用镊子夹取芯片；本实用新型将环形承片台直径设计时小于支撑环直径，使多余的腐蚀酸液经环形凸起向外倾斜的坡状部分或凹槽排出后，不会落到旋转的支撑环上影响芯片背面。
[0038]实施例:
[0039]参见图1和图2，一种旋转夹具，包括环形承片台1，在所述环形承片台1上端边缘均匀设有至少两个个环形凸起2，所述环形承片台1下端通过至少两根支撑肋3连接的支撑环4，所述支撑环4套装有转轴6，
[0040]在使用时，将芯片放在环形承片台1的环形凸起2内，启动转轴6，芯片随之开始转动，此时开始喷酸腐蚀芯片上表面边缘，环形凸起2的有利于固定芯片，因为芯片在进行快速旋转被腐蚀时，由于离心力的惯性作用，芯片易被甩出，环形凸起2有利于防止芯片离开环形承片台1位置；每两根支撑肋3之间形成一个框型进水口，有利于水嘴进行喷水；转轴6便于控制芯片旋转的速度；
[0041]所述转轴6上端为散射椎形5，
[0042]水嘴通过两根支撑肋3之间形成的框型进水口向散射椎5进行喷水，散射椎5旋转将水间接洒射在芯片底部，水不会溢出到芯片顶部，在正常水压范围内，都能正常工作，极大地减少了对水压稳定性的要求，同时水不会溢出到芯片顶部，防止水稀释芯片上端的腐蚀酸液，影响腐蚀效果；
[0043]所述散射椎5为圆锥状且切线为内凹弧线，
[0044]使水更加快速的向下流淌，避免腐蚀酸液被稀释；
[0045]所述散射椎5尖端与所述环形承片台中心对应，
[0046]即散射椎5尖端能够与芯片中心重合，能够减少离心力的惯性作用，防止芯片在旋转时脱离环形承片台1中心，增加稳定性；
[0047]所述环形凸起2之间开设有凹槽7，
[0048]便于用镊子从环形承片台1夹取芯片，同时有利于多余腐蚀酸液排出；
[0049]所述环形承片台1直径小于支撑环4，
[0050]可使多余的腐蚀酸液经环形凸起2向外倾斜的坡状部分或凹槽7排出后，不会落到旋转的支撑环4上影响芯片背面；
[0051]所述旋转夹具为耐酸塑料，
[0052]因为该材质不易被腐蚀酸液侵蚀，易于清洗，耐老化，延长旋转夹具使用寿命。
[0053]本实用新型的目的是提供一种结构简单的旋转夹具，解决现有的电子芯片旋转腐蚀生产过程中腐蚀酸液被稀释和芯片背面易被腐蚀酸液误侵蚀的问题，改善对水流量大小的依赖程度，使其易于操作。
[0054]以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种旋转夹具，其特征在于，包括环形承片台，在所述环形承片台上端边缘均匀设有至少两个环形凸起，所述环形承片台下端通过至少两根支撑肋连接的支撑环，所述支撑环套装有转轴。2.根据权利要求1所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述转轴上端为散射椎形。3.根据权利要求2所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述散射椎尖端与所述环形承片台中心对应。4.根据权利要求3所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述散射椎为圆锥状且切线为内凹弧线。5.根据权利要求4所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述环形承片台上端的所述环形凸起外侧向外倾斜。6.根据权利要求5所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述环形凸起之间开设有凹槽。7.根据权利要求6所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述环形承片台直径小于所述支撑环直径。8.根据权利要求1-7所述的一种旋转夹具，其特征在于，所述旋转夹具为耐酸塑料。
【专利摘要】本实用新型涉及一种旋转夹具，包括环形承片台，在所述环形承片台上端边缘均匀设有至少两个环形凸起，所述环形承片台下端通过至少两根支撑肋连接的支撑环，所述支撑环套装有转轴，所述转轴上端为散射椎形，所述散射椎尖端与所述环形承片台中心对应，所述散射椎为圆锥状且切线为内凹弧线，所述环形承片台上端的所述环形凸起外侧向外倾斜，所述环形凸起之间开设有凹槽，所述环形承片台直径小于所述支撑环直径，所述旋转夹具为耐酸塑料。本实用新型提供了一种结构简单的旋转夹具，解决现有的电子芯片旋转腐蚀生产过程中腐蚀酸液被稀释和芯片背面易被腐蚀酸液误侵蚀的问题，并且改善对水流量大小的依赖程度，使其易于操作。
【IPC分类】H01L21/687, H01L21/67
【公开号】CN205050820
【申请号】CN201520802182
【发明人】徐爱民, 王友所, 高占成, 顾标琴, 陈广辉
【申请人】润奥电子(扬州)制造有限公司
【公开日】2016年2月24日
【申请日】2015年10月13日