平板状部件吸附装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置。
【背景技术】
[0002]以往，已提出各种对覆盖电路基板(以下称为基板)及装配在该基板上的电子零件的覆盖薄膜(coverlay film)等平板状部件进行某种加工，或将该平板状部件输送至下一道工序时，将该平板状部件暂时保持的吸附装置(以下称为平板状部件吸附装置)。
[0003]这样的平板状部件吸附装置使得作为吸附对象的平板状部件与形成有多个吸附孔的吸附板(Plate)对面接触并将该平板状部件负压吸附。在这种情况下，为了防止吸引力的下降，重要的是尽可能地减少吸附泄露。另外，“吸附泄露”是指在进行平板状部件的吸附动作时，多个吸附孔中的一部分吸附孔变为从平板状部件露出的状态。
[0004]为了尽可能地减少吸附泄露，重要的是在使平板状部件与吸附板相对面时，预先设定为吸附板中的吸附区域与平板状部件为几乎相同的尺寸或比平板状部件的尺寸略小。这里，“吸附区域”是指设置在吸附板上的吸附孔中的，可进行对作为吸附对象的平板状部件的吸附的区域。另外，该吸附区域可以为各种形状，这里指定为矩形。
[0005]这里，若作为吸附对象的平板状部件的尺寸为一种，则只要设定为吸附区域与该平板状部件几乎相同尺寸或比该平板状部件的尺寸略小，即可不产生吸附泄露而将该平板状部件吸附，然而，想要吸附比吸附区域的尺寸更小的平板状部件的情况也是存在的。在这种情况下，一旦吸附区域的大小被固定，比吸附区域的尺寸更小的平板状部件就不能覆盖整个吸附区域，就会产生吸附泄露。
[0006]如此，能够不产生吸附泄露而将平板状部件吸附装置中的比吸附板的吸附区域的尺寸更小的平板状部件吸附的平板状部件吸附装置以往就为已知的(例如参考专利文献一 )O
[0007]图11是显示用于说明专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900的图。图11(a)是显示平板状部件吸附装置900的结构的斜视图，图11 (b)是显示平板状部件吸附装置900中所使用的带状片材(sheet)910的俯视图。
[0008]在对专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900 (在专利文献一中称为基板吸附固定装置)的结构进行说明之前，首先使用图11(b)来对带状片材910进行说明，之后再使用图11(a)来对平板状部件吸附装置900的结构进行说明。
[0009]带状片材910如图11(b)所示，由复数个的片材部910a、910b、910c、......构成，
各个片材部910a、910b、910c、……中形成有与作为吸附对象的平板状部件(指定为基板)的尺寸相对应的吸附区域Qa、Qb、Qc、......。
[0010]平板状部件吸附装置900如图11(a)所示，具有:安装在基板载置台920上的吸附板930 ;读取打印在作为吸附对象的基板940上的条形码(bar code) 941，输出显示该基板940的尺寸的片材选择信号的条形码读取器(bar-code reader) 950 ;以及基于条形码读取器950输出的片材选择信号，从形成在带状片材910上的复数个的吸附区域Qa、Qb、Qc、……中选择具有与基板940的尺寸相对应的吸附区域(指定为吸附区域Qb)的片材部(指定为片部材910b)，并将选出的片材部910b配置在吸附板930上的配置部960。
[0011]另外，对于吸附板930，在该吸附板930的整个面上设置有多个吸附孔(无图示)，吸附板930的几乎整个面都成为了吸附区域。与此相对，被片材载置部960所选择的片材部的吸附区域比吸附板930的吸附区域更小。并且，片材载置部960具有带状片材910被架设在其上的辊(roller) 961、辊962，旋转驱动辊961、旋转驱动辊962的驱动部932，及控制驱动部963的控制部964。
[0012]根据专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900，由于是基于显示作为吸附对象的基板940的尺寸的片材选择信号，具有与该基板940的尺寸相对应的吸附区域Qb的片材部910b被配置在吸附板930上，因此能够不产生因与基板940的尺寸相对应的区域以外的吸附孔而导致的吸附泄露。
[0013]然而，在专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900中，需要预先对每种作为吸附对象的基板的尺寸都准备具有与基板的尺寸相对应的吸附区域的片材部，并且，不仅需要设置作为用于将具有与基板的尺寸相对应的吸附区域的片材部配置在吸附板上的机构的辊和驱动该辊的驱动板，同时还需要设置控制驱动部的控制部。因此，对于专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900，存在吸附装置整体的结构变得庞大的课题。
[0014]先行技术文献
[0015]专利文献
[0016]专利文献一日本特开2004-322254号公报
【发明内容】
[0017]本发明是基于以上情况而发明的，目的在于提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与作为吸附对象的平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。
[0018][I]本发明的平板状部件吸附装置是一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置，其特征在于，具有:基底板，被安装在形成负压室的吸附装置本体上；以及部件对面板，与所述平板状部件对面，并与所述基底板在平面上以密接的状态层叠，可相对于基底板被设定在基准位置以及从该基准位置进行滑动后的滑动位置上，其中，在所述基底板上，多个吸附孔作为基底板侧吸附孔被设置，在所述部件对面板上，多个吸附孔作为部件对面板侧吸附孔被设置，所述基底板侧吸附孔以预定的配置被设置在所述基底板上，所述部件对面板侧吸附孔由复数个的基准吸附孔及追加吸附孔所构成，所述复数个的基准吸附孔被设置为当所述部件对面板位于所述基准位置时，与所述基底板侧吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板侧吸附孔中的预定的吸附孔相对向，所述追加吸附孔在所述部件对面板的预定区域中被设置在沿着该部件对面板的滑动方向相邻的基准吸附孔之间，当所述部件对面板位于所述基准位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成基准吸附区域，当所述部件对面板位于所述滑动位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成具有与所述基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。
[0019]根据本发明的平板状部件吸附装置，当部件对面板位于基准位置时和位于滑动位置时，能够将可吸附平板状部件的吸附区域形成为基准吸附区域及具有与该基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。这样，根据本发明的平板状部件吸附装置，仅改变相对于基底板的部件对面板的位置，即可改变吸引区域的大小。因此，不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与作为吸附对象的平板状部件的尺寸相对应的吸附区域。具体地，能够形成比本发明的平板状部件吸附装置原本所具有的吸附区域(基准吸附区域)小的吸附区域(特定吸附区域)。这样，即使在对比具有适合本发明的平板状部件吸附装置原本所具有的吸附区域(基准吸附区域)的尺寸的平板状部件的尺寸小的平板状部件进行吸附的情况下，也能够不产生吸附泄露而将该小尺寸的平板状部件吸附。
[0020]另外，当把部件对面板相对于基底板设定在基准位置和从该基准位置滑动后的各个滑动位置时，可以是将基底板的位置与吸附装置本体固定，使得部件对面板滑动，也可以与此相反，将部件对面板的位置固定，而使得基底板与吸附装置本体同时滑动。
[0021][2]本发明的平板状部件吸附装置还具有定位部，分别在当所述部件对面板位于所述基准位置时、及当所述部件对面板位于所述滑动位置时，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。
[0022]通过具有这样的定位部，部件对面板的各个部件对面板侧吸附孔与基底板的各个基底板侧吸附孔分别正确地对向，并且两者的对向关系能够被保持。这样，在进行吸附动作时，部件对面板的各个部件对面板侧吸附孔与基底板的各个基底板侧吸附孔的对向关系也不会被破坏，能够长时间地进行恰当的吸附动作。
[0023][3]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，所述定位部具有:基底板侧定位孔，被设置为贯通所述基底板；复数个的部件对面板侧定位孔，被设置在所述部件对面板上，当所述部件对面板位于所述基准位置或所述滑动位置时，在该基准位置和该滑动位置上分别与所述基底板侧定位孔对向；以及定位针，可插入所述基底板侧定位孔及与该基底板侧定位孔对向的所述部件对面板侧定位孔。
[0024]通过使得定位部具有这样的结构，能够使得定位部的结构单一。并且，对于用于进行定位的操作，只要进行仅将定位针插入基底板侧定位孔及与该基底板侧定位孔对向的部件对面板侧定位孔这样的简单的操作即可，单进行这样的操作即可实现切实的定位。
[0025][4]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，所述定位部具有:驱动装置，用于使得所述部件对面板进行所述滑动；以及控制装置，控制该驱动装置，通过由所述控制装置来控制所述驱动装置，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。
[0026]通过使得定位部具有这样的结构，能够自动地进行部件对面板的定位。例如，操作员通过操作用于选择滑动位置的选择按钮，能够自动地设定为预定的滑动位置，或从预定的滑动位置设定到基准位置。另外，作为驱动装置，可以例举具有电机及驱动器的驱动装置。另外，在设计这样的定位部时，也可使用图像处理技术，基于对作为吸附对象的平板状部件进行摄像而获得的图像数据，识别作为吸附对象的平板部件的尺寸，并基于这个识别结果，进行控制使得部件对面板自动地到达预定的位置。
[0027][5]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，存在被设在所述相邻的基准吸附孔之间的所述追加吸附孔沿着所述滑动方向被设置η个(η为2以上的整数)的区域，在将该η个的追加吸附孔沿着滑动方向依次从第一段的追加吸附孔设置到第η段的追加吸附孔时，所述滑动位置可以设定为从所述第一段到所述第η段的η个阶段，通过在所述η个阶段的各个滑动位置上所述η个的追加吸附孔依次与所述基底板的基底板侧吸附孔相对向，从而在所述η个阶段的各个滑动位置上所述特定吸附区域被形成为各不相同的大小。
[0028]这样，在部件对面板上，在部件对面板位于基准位置时形成的基准吸附区域以外，可以形成部件对面板位于复数个阶段(η个阶段)的滑动位置时分别形成的η种的特定吸附区域。
[0029][6]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，所述基准吸附孔和所述追加吸附孔在所述部件对面板上被