设置为在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与所述基底板侧吸附孔对向的所述基准吸附孔和所述追加吸附孔的个数比该一部分的区域以外的区域更多。
[0030]这样，通过在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与该一部分的区域以外的区域相比，设置更多个数的部件对面板的基准吸附孔及追加吸附孔，从而在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与该一部分的区域以外的区域相比，实现更加切实的吸附。通过进行这样的设置，例如，非常适于需要更加切实的吸附的情况。
[0031][7]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，所述一部分的区域为与所述平板状部件的一侧的端部侧相对向的区域。
[0032]这样，通过使得一部分的区域为与平板状部件的一侧的端部侧相对向的区域，例如，适合作为在将可剥离地粘附在衬纸上的薄膜从衬纸上剥离时用于保持吸附薄膜的吸附装置。即、在将薄膜从这样的衬纸附带薄膜上剥离时，重要的是切实地进行薄膜的前端部的剥离，因此，最好是更加切实地保持对前端部一侧的区域的吸附。所以，在这种情况下，只要将基准吸附区域或特定吸附区域中的一部分的区域设置为与薄膜片的前端部的区域对向，就能够切实地进行薄膜片的剥离。
[0033][8]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，平板状部件为片状部件。
[0034]这样，通过使得板状部件为片状部件，能够吸附各种尺寸的薄膜、柔性(flexible)基板等。
[0035][9]在本发明的平板状部件吸附装置中，还具有这样的特征，片状部件为覆盖薄膜。
[0036]这样，通过使得片状部件为覆盖薄膜，从而适合作为在将可剥离地粘附在衬纸上的薄膜从衬纸上剥离时保持吸附覆盖薄膜的吸附装置。
【附图说明】
[0037]图1是显示用于说明实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10的图；
[0038]图2是显示用于说明构成实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10的吸附板200的基底板210和部件对面板220的模式图；
[0039]图3是显示用于说明部件对面板220位于基准位置Pa时在该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图；
[0040]图4是显示用于说明部件对面板220位于第一滑动位置Pb时在该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图；
[0041]图5是显示用于说明部件对面板220位于第二滑动位置Pc时在该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图；
[0042]图6是显示用于说明构成实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20的吸附板200的基底板210和部件对面板220的模式图；
[0043]图7是显示用于说明部件对面板22(V位于基准位置Pa时在该部件对面板22(V上形成的吸附区域的模式图；
[0044]图8是显示用于说明部件对面板22(V位于第一滑动位置Pb时在该部件对面板220'上形成的吸附区域的模式图；
[0045]图9是显示用于说明部件对面板22(V位于第二滑动位置Pc时在该部件对面板220'上形成的吸附区域的模式图；
[0046]图10是显示用于说明薄膜剥离装置的剥离机构部500的图；
[0047]图11是显示用于说明专利文献一中记载的平板状部件吸附装置900的图。
【具体实施方式】
[0048]以下对本发明的实施方式进行说明。
[0049][实施方式一]
[0050]图1是显示用于说明实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10的图。实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10如图1所示，在内部形成负压室(无图示)，包括:一面为开口面的吸附装置本体100 ;被设置为覆盖吸附装置本体100的开口面的吸附板200 ;以及连接在吸附装置本体100的负压室与负压生成栗(pump)(无图示)之间的吸附管(pipe)300。
[0051]吸附板200具有固定在吸附装置本体100上的基底板210，及与作为吸附对象的平板状部件(无图示)相对面的部件对面板220。
[0052]部件对面板220与基底板210在平面上以密接的状态层叠，能够相对于基底板210在由X轴和I轴所形成的xy平面上，在沿着I轴的y-y'方向(前方和后方)上在预定范围内滑动。因此，能够将部件对面板220设定在相对于基底板210的基准位置(后述)以及从该基准位置滑动后的位置(称为滑动位置)上。
[0053]另外，在实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中，在将部件对面板220设定在相对于基底板210的基准位置以及从该基准位置滑动后的滑动位置上时，是将基底板210与吸附装置本体100固定，并使得部件对面板220滑动。这对于后述的实施方式二涉及的平板状部件吸附装置也是同样的。
[0054]在基底板210上，多个吸附孔211 (参考图2)被以预定的配置设置，并且，在部件对面板220上，多个吸附孔221也被以预定的配置设置。但是，对于设置在基底板210上的多个吸附孔211和设置在部件对面板220上的多个吸附孔221，各自的吸附孔的配置有一部分不同。对于这点使用图2在后面进行描述。另外，有时会将设置在基底板210上的吸附孔211称作“基底板侧吸附孔211”，将设置在部件对面板220上的吸附孔221称作“部件对面板侧吸附孔221。
[0055]返回到对图1的说明。在部件对面板220上形成有操作员(operator)能够将部件对面板220抓取的抓取部225。在使得部件对面板220滑动时，操作员抓着抓取部225向身边一侧(前方侧)拉出或向内侧(后方侧)推入。
[0056]通过操作员进行这样的操作，能够使得部件对面板220沿着吸附装置本体100中的左右的导向(guide)部110L、导向部IlOR滑动。然后，当使得部件对面板220在基底板210上向吸附装置本体100的内侧(后方侧)滑动时，该部件对面板220与设置在吸附装置本体100的后端部一侧的壁部120碰接，而不能再继续滑动。另外，将部件对面板220与设置在吸附装置本体100的后端部一侧的壁部120碰接时的该部件对面板220的位置作为“基准位置Pa”。
[0057]并且，对于部件对面板220，通过从上述的基准位置Pa使得该部件对面板220向前方侧滑动，能够将其设定在第一滑动位置Pb、第二滑动位置Pc这两个位置上。即、部件对面板220能够被设定在包含基准位置Pa的复数个阶段(在这种情况下，为基准位置Pa、第一滑动位置Pb及第二滑动位置Pc)的位置上。并且，在三个阶段各自的位置中能够通过定位部400进行定位。
[0058]另外，基准位置Pa虽然为部件对面板220与吸附装置本体100的壁部120碰接时的该部件对面板220的位置，但在后述的各图(例如图3和图7等)中，将该基准位置Pa显示为部件对面板220的前方侧端部226的位置。第一滑动位置Pb和第二滑动位置Pc也同样，在后述的各图(例如图4、图5、图8及图9等)中，将该第一滑动位置Pb和第二滑动位置Pc显示为部件对面板220的前方侧端部226的位置。
[0059]定位部400具有:被设定为贯通基底板210的一个基底板侧定位孔210a(参考图2);被设置在部件对面板220上的复数个(此种情况下为三个)的部件对面板侧定位孔220a、220b、220c ;以及可插入底板侧定位孔210a以及与该基底板侧定位孔210a对向的部件对面板侧定位孔的定位针(pin) 410。
[0060]基底板侧定位孔210a(以下简略标记为基底定位孔210a)被设置在接近基底板
210的前面侧缘部的左右方向(沿着X轴的方向)上的中央部。并且，部件对面板侧定位孔220a、220b、220c沿着y轴被设置在该部件对面板220的左右方向(沿着x轴的方向)上的中央部。
[0061]部件对面板侧定位孔220a、220b、220c被设置为与三个阶段各自的位置(基准位置Pa、第一滑动位置Pb及第二滑动位置Pc)相对应。
[0062]这些部件对面板侧定位孔220a、220b、220c中的部件对面板侧定位孔220a用于进行部件对面板220位于基准位置Pa时的定位。因此，将该部件对面板侧定位孔220a作为“基准位置用定位孔220a”。
[0063]另外，这些部件对面板侧定位孔220a、220b、220c中的部件对面板侧定位孔220b用于进行部件对面板220位于第一滑动位置Pb时的定位。因此，将该部件对面板侧定位孔220b作为“第一滑动位置用定位孔220b”。
[0064]另外，这些部件对面板侧定位孔220a、220b、220c中的部件对面板侧定位孔220c用于进行部件对面板220位于第二滑动位置Pc时的定位。因此，将该部件对面板侧定位孔220c作为“第二滑动位置用定位孔220c”。
[0065]在将部件对面板220设置在基准位置时，基准位置用定位孔220a与设置在基底板210上的基底定位孔210a对向。在此状态下，通过从基底定位孔210a插入定位针410，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的基准位置用定位孔中。从而，部件对面板220被定位在基准位置Pa上。
[0066]在将部件对面板220设置在第一滑动位置Pb时，第一滑动位置用定位孔220b与设置在基底板210上的基底定位孔210a对向。在此状态下，通过从基底定位孔210a插入定位针410，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的第一滑动位置用定位孔220b中。从而，部件对面板220被定位在第一滑动位置Pb上。
[0067]在将部件对面板220设置在第二滑动位置Pc时，第二滑动位置用定位孔220c与设置在基底板210上的基底定位孔210a对向。在此状态下，通过从基底定位孔210a插入定位针410，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的第二滑动位置用定位孔220c中。从而，部件对面板220被定位在第二滑动位置Pc上。
[0068]图2是显示用于说明构成实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10的吸附板200的基底板210和部件对面板220的模式图。图2 (a)是基底板210的俯视图，图2 (b)是部件对面板220的俯视图。并且，图2由于是模式图，因此是简化后的图，吸附孔的数量、配置等与实际的不同。
[0069]在基底板210中，如图2(a)所示，基底板侧吸附孔211 (有时也简略标记为基底吸附孔211)被设置为在该基底板210中具有预定的宽度。在实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中，沿着X轴和y轴在每个预定的间隔dl以矩阵(matrix)状的配