置被设定为多个。将图2(a)中用一点虚线表示的矩形的区域AO作为基底板210的“吸附区域A0”。另夕卜，基底吸附孔211沿着z轴看时的形状呈圆形。
[0070]在部件对面板220中，如图2(b)所示，部件对面板侧吸附孔221被设定为多个。部件对面吸附孔221与基底吸附孔211同样，沿着z轴看时的形状呈圆形。
[0071]部件对面板侧吸附孔221由多个吸引孔和追加吸附孔所构成。多个吸引孔(称为基准吸附孔221a)被设置为在部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa时，与各个基底吸附孔211对向。追加吸引孔被设置在基准吸附孔221a中的，在部件对面板220的预定区域(在图2(b)中，为部件对面板220的中央附近的用虚线显示的区域Cl和用两点虚线显示的区域C2)中沿着该部件对面板220的滑动方向(箭头y_太方向)相邻的基准吸附孔之间。
[0072]并且，在部件对面板220中，存在在沿着滑动方向(箭头y_太方向)相邻的基准吸附孔之间设有复数个(指定为两个)的追加吸附孔的区域(例如，在图2(b)中几乎相当于用两点虚线表示的区域C2的区域)。将这些两个的追加吸附孔作为追加吸附孔221b、追加吸附孔221c。另外，追加吸附孔221b、追加吸附孔221c也与基底吸附孔211同样，沿着z轴看时的形状呈圆形。
[0073]在这些两个的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c中，将位于滑动方向前方侧的(箭头I方向前方侧)的追加吸附孔作为“第一追加吸附孔221b”，将位于该第一追加吸附孔221b的后方侧的追加吸附孔作为“第二追加吸附孔221c”。并且，为了说明简便，在图中将基准吸附孔221a与基底板210的基底吸附孔211同样用白色空心的圆形表示，将第一追加吸附孔221b用灰色的圆形表示，将第二追加吸附孔221c用黑色的圆形表示。
[0074]另外，用灰色表示的“第一追加吸附孔221b”被设置为排列在与滑动方向(y-y'方向)正交的假想的线上(沿着X轴的线上)，用黑色表示的“第二追加吸附孔221c”也被设置为排列在与滑动方向(y_/方向)正交的假想的线上(沿着X轴的线上)。这里，第一追加吸附孔221b排列的沿着X轴的假想的线为在沿着滑动方向相邻的基准吸附孔之间，沿着滑动方向的第一段的假想的线，第二追加吸附孔221c排列的沿着X轴的假想的线为在沿着滑动方向相邻的基准吸附孔之间，沿着滑动方向的第二段的假想的线。
[0075]因此，各个第一追加吸附孔221b作为沿着滑动方向相邻的基准吸附孔之间的第一段的追加吸附孔存在，各个第二追加吸附孔221c也同样，作为第二段的追加吸附孔存在。
[0076]从而，当部件对面板220滑动到各个滑动位置(第一滑动位置Pb和第二滑动位置Pc)时，作为第一段的追加吸附孔存在的各个第一追加吸附孔221b及作为第二段的追加吸附孔存在的各个第二追加吸附孔221c分别滑动同样的滑动量。并且，在每个各个滑动位置(第一滑动位置Pb和第二滑动位置Pc)上，作为第一段的追加吸附孔存在的各个第一追加吸附孔221b及作为第二段的追加吸附孔存在的各个第二追加吸附孔221c依次与基底板210的基底吸附孔211对向。
[0077]具体地，当部件对面板220到达第一滑动位置Pb时，作为第一段的追加吸附孔存在的各个第一追加吸附孔221b与基底板210的基底吸附孔211分别对向，当部件对面板220到达第二滑动位置Pc时，作为第二段的追加吸附孔存在的各个第二追加吸附孔221c与基底板210的基底吸附孔211分别对向。
[0078]另外，图2(b)中用虚线表示的区域Cl是与将部件对面板220设在第一滑动位置Pb时在部件对面板220中形成的吸附区域Ab (参考图4)相对应的区域。图2 (b)中用两点虚线表示的区域C2是与将部件对面板220设在第二滑动位置Pc时在部件对面板220中形成的吸附区域Ac(参考图5)相对应的区域。对这些吸附区域Ab、Ac在后面进行描述。
[0079]基准吸附孔221a与各个基底吸附孔211同样，沿着x轴和y轴以预定的间隔dl被形成。而被设置在滑动方向(箭头y_太方向)上相邻的基准吸附孔221a之间的两个追加吸附孔(第一追加吸附孔221b和第二追加吸附孔221c)被设置在将该相邻的基准吸附孔221a的滑动方向上的间隔dl等分(这时为三等分)每相隔间隔d2的位置上。
[0080]并且，对于基底板210的基底吸附孔211的直径与部件对面板220的吸附孔221 (基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)的直径来说，部件对面板220的吸附孔221 (基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)的直径比基底板210的基底吸附孔211的直径更小。
[0081]通过将基底板210的基底吸附孔211的直径和部件对面板220的吸附孔221的直径如此设定，当使得部件对面板220的吸附孔221与基底板210的基底吸附孔211相对向从而进行吸附动作时，即使部件对面板220的吸附孔221的中心相对于基底吸附孔211的中心多少有些偏离，也能够使得不易产生吸附泄露。
[0082]对于具有这样结构的基底板210和部件对面板220，当部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa时，以及当部件对面板220相对于基底板210位于滑动位置(第一滑动位置Pb和第二滑动位置Pc)时，与基底板210的基底吸附孔211对向的部件对面板220的吸附孔221不同。
[0083]S卩、当部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa时，与基底板210的基底吸附孔211对向的部件对面板220的吸附孔221为基准吸附孔221a。而当部件对面板220相对于基底板210位于第一滑动位置Pb时，与基底板210的基底吸附孔211对向的部件对面板220的吸附孔221为第一追加吸附孔221b。而当部件对面板220相对于基底板210位于第二滑动位置Pc时，与基底板210的基底吸附孔211对向的部件对面板220的吸附孔221为第二追加吸附孔221c。
[0084]这样，当部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa时、位于第一滑动位置Pb时、位于第二滑动位置Pc时，与基底板210的基底吸附孔211对向的部件对面板220的吸附孔221不同。因此，当部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa、第一滑动位置Pb、第二滑动位置Pc时在各自位置上形成的吸附区域就分别具有不同的大小。
[0085]图3是显示用于说明部件对面板220位于基准位置Pa时在该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图。
[0086]如图3所示，当部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa时，部件对面板220的各个基准吸附孔221a(用白色空心的圆形表示)与基底板210的各个基底吸附孔
211(用虚线表示)对向。
[0087]因此，基底板210的各个基底吸附孔211与部件对面板220的各个基准吸附孔221a为贯通状态。所以，在部件对面板220上形成的吸附区域为图3中用一点虚线表示的矩形的区域Aa，该矩形的区域Aa(称为吸附区域Aa)具有与基底板210中的吸附区域AO相同的大小。另外，由于吸附区域Aa为部件对面板220位于基准位置Pa时在该部件对面板220上形成的吸附区域，因此有时也标记为“基准吸附区域Aa”。
[0088]另外，在部件对面板220相对于基底板210位于基准位置Pa的情况下，基准位置用定位孔220a与基底板210的基底定位孔210a对向。在此状态下，通过将定位针410 (参考图1)从基底板210的基底定位孔210a插入，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的基准位置用定位孔220a中。
[0089]从而，部件对面板220相对于基底板210被正确地定位在基准位置Pa上，基准吸附孔221a(用白色空心的圆形表示)、与该基准吸附孔221a同位置存在的基底板210的基底吸附孔211相互正确地对向，并且两者的对向关系能够被保持。
[0090]在此种状态下，通过将平板状部件吸附装置10的部件对面板220配置为基准吸附区域Aa与和基准吸附区域Aa几乎相同尺寸或尺寸稍大的平板状部件(例如，覆盖薄膜)对面，来吸附该平板状部件，从而能够不产生来自吸附板200 (基底板210和部件对面板220)的各个吸附孔的吸附泄露，将该平板状部件切实地吸附。
[0091]图4是显示用于说明部件对面板220位于第一滑动位置Pb时在该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图。
[0092]如图4所示，当部件对面板220相对于基底板210位于第一滑动位置Pb时，设在部件对面板220上的各个基准吸附孔221a位于从设在基底板210上的各个基底吸附孔211 (用虚线表示)偏离的位置上，而作为第一段的追加吸附孔存在的第一追加吸附孔221b (用灰色的圆形表示)与基底板210的各个基底吸附孔211中的、和该第一追加吸附孔221b同位置存在的基底吸附孔211对向。
[0093]因此，第一追加吸附孔221b(用灰色的圆形表示)、与该第一追加吸附孔221b同位置存在的基底吸附孔211为贯通状态。所以，此时的吸附区域为图4中用一点虚线表示的矩形的区域Ab，该矩形的区域Ab (称为吸附区域Ab)为比基底板210中的吸附区域AO (部件对面板220中的基准吸附区域Aa)小的区域。另外，为了将吸附区域Ab与基准吸附区域Aa相区别，有时也标记为“特定吸附区域Ab”。
[0094]另外，在部件对面板220相对于基底板210位于第一滑动位置Pb的情况下，第一滑动位置用定位孔220b与基底板210的基底定位孔210a对向。在此种状态下，通过将定位针410 (参考图1)从基底板210的基底定位孔210a插入，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的第一滑动位置用定位孔220b中。
[0095]从而，部件对面板220相对于基底板210被正确地定位在第一滑动位置Pb上，各个第一追加吸附孔221b (用灰色的圆形表示)、与该第一追加吸附孔221b同位置存在的基底板210的基底吸附孔211相互正确地对向，并且两者的对向关系能够被保持。
[0096]在此种状态下，通过将平板状部件吸附装置10的部件对面板220配置为特定吸附区域Ab与和特定吸附区域Ab几乎相同尺寸或尺寸稍大的平板状部件(例如，覆盖薄膜)对面，来吸附该平板状部件，从而能够不产生来自吸附板200 (基底板210和部件对面板220)的各个吸附孔的吸附泄露，将该平板状部件切实地吸附。
[0097]图5是显示用于说明部件对面板220位于第二滑动位置Pc时在