驱动装置。
[0154]通过使得定位部400具有这样的结构，能够自动地进行部件对面板220的定位。例如，操作员通过操作用于选择滑动位置的选择按钮，能够自动地设定为预定的滑动位置，或从预定的滑动位置设定到基准位置。
[0155]并且，在这样的定位部400 (具有用于使得部件对面板220滑动的驱动装置、及控制该驱动装置的控制装置的定位部)中，可以对作为吸附对象的平板状部件进行摄像，基于由此获得的图像数据识别作为吸附对象的平板部件的尺寸，并基于这个识别结果，控制驱动装置从而自动地使得部件对面板到达预定的位置。
[0156](4)在上述各实施方式中，使得部件对面板220的滑动方向为可以向一个方向作往返运动，但也可以设定为在同一平面上分别向正交的两个方向(沿着y轴的方向及X轴的方向)作往返运动。在这种情况下，只要在沿着X轴的方向上也在相邻的基准吸附孔之间设置一个以上的追加吸附孔即可。通过进行这样的设置，能够将吸附区域设定为更多种，并能够将更多种的尺寸及形状的平板状部件作为吸附对象。另外，还可以使得部件对面板220在基底板210上以与该基底板210的表面相接触的状态旋转。
[0157](5)在上述各实施方式中，例示了当把部件对面板220相对于基底板210设定在基准位置Pa和从该基准位置Pa滑动后的各个滑动位置时，将基底板210与吸附装置本体100固定，使得部件对面板220滑动的情况，但也可以与此相反，将部件对面板220的位置固定，而使得基底板210与吸附装置本体100同时滑动。
[0158](6)在上述各实施方式中，例示了基底板210的基底吸附孔211在沿着X轴的方向及沿着y轴的方向上，为矩阵状的配置的情况，但不仅限于此，没有一定要设定为矩阵状的必要，也可以在基底板210中设定为任意的配置。并且，在基底板210中，例如，也可以是某一部分的区域与该一部分的区域以外的区域相比，设置高密度的基底吸附孔。
[0159](7)在上述各实施方式中，例举了部件对面板220的吸附孔(基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)的直径比基底板210的基底吸附孔211的小的情况，但也可以设定为与基底板210的基底吸附孔211的直径相同。
[0160](8)在上述各实施方式中，将基底板210的基底吸附孔211和部件对面板220的基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c在沿着z轴看时的形状设定为了圆形，但不仅限于是圆形，例如，也可以设定为四边形、三角形、星形等各种形状。并且，也可以将基底板210的基底吸附孔211，以及部件对面板220的基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c设定为不同的形状，进一步，还可以使得基底板210的基底吸附孔、部件对面板220的基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b、及第二追加吸附孔221c分别为不同的形状。
[0161](9)在上述各实施方式中，例举了将平板状部件设定为薄膜，特别是覆盖薄膜的情况，但不仅限于此，只要是能通过本发明的平板状部件吸附装置进行吸附的部件均可，例如，也可以是电路基板、金属板等。
[0162](10)作为本发明的平板状部件吸附装置的使用示例，例示了薄膜的剥离装置(参考图10)，但不仅限于此，本发明的平板状部件吸附装可以广泛地被使用于在对平板状部件进行吸附的状态下进行某种工序的装置(例如，曝光装置)。
[0163]符号说明
[0164]10、20…平板状部件吸附装置；100…吸附装置本体；200…吸附板；210…基底板；210a...基底板侧定位孔(基底定位孔)；211…基底板侧吸附孔(基底吸附孔)；220…部件对面板；220a、220b、220c…部件对面板侧定位孔；221…部件对面板侧吸附孔；221a…基准吸附孔；221b…第一追加吸附孔(第一段的追加吸附孔)；221c…第二追加吸附孔(第二段的追加吸附孔)；225…抓取部；400…定位部；410…定位针；500…薄膜的剥离装置的剥离机构部；510…剥离部；A0…形成在基底板210上的吸附区域；Aa…形成在部件对面板220上的吸附区域(基准可能区域)；Ab、Ac…形成在部件对面板220上的吸附区域(特定吸附区域)；Pa…基准位置；Pb…第一滑动位置；Pc…第二滑动位置；S0、Sa、Sb、Sc…一部分的区域(部分区域)；Wc...薄膜(附带衬纸薄膜)；Wm...衬纸。
【主权项】
1.一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置，其特征在于，具有: 基底板，被安装在形成负压室的吸附装置本体上；以及 部件对面板，与所述平板状部件对面，并与所述基底板在平面上以密接的状态层叠，可相对于基底板被设定在基准位置以及从该基准位置进行滑动后的滑动位置上， 其中，在所述基底板上，多个吸附孔作为基底板侧吸附孔被设置，在所述部件对面板上，多个吸附孔作为部件对面板侧吸附孔被设置， 所述基底板侧吸附孔以预定的配置被设置在所述基底板上， 所述部件对面板侧吸附孔由复数个的基准吸附孔及追加吸附孔所构成， 所述复数个的基准吸附孔被设置为当所述部件对面板位于所述基准位置时，与所述基底板侧吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板侧吸附孔中的预定的吸附孔相对向， 所述追加吸附孔在所述部件对面板的预定区域中被设置在沿着该部件对面板的滑动方向相邻的基准吸附孔之间， 当所述部件对面板位于所述基准位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成基准吸附区域， 当所述部件对面板位于所述滑动位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成具有与所述基准吸附区域不同大小的特定吸附区域， 存在被设在所述相邻的基准吸附孔之间的所述追加吸附孔沿着所述滑动方向被设置η个(η为2以上的整数)的区域，在将该η个的追加吸附孔沿着滑动方向依次从第一段的追加吸附孔设置到第η段的追加吸附孔时，所述滑动位置可以设定为从所述第一段到所述第η段的η个阶段，通过在所述η个阶段的各个滑动位置上所述η个的追加吸附孔依次与所述基底板的基底板侧吸附孔相对向，从而在所述η个阶段的各个滑动位置上所述特定吸附区域被形成为各不相同的大小。2.一种负压吸附平板状部件的平板状部件吸附装置，其特征在于，具有: 基底板，被安装在形成负压室的吸附装置本体上；以及 部件对面板，与所述平板状部件对面，并与所述基底板在平面上以密接的状态层叠，可相对于基底板被设定在基准位置以及从该基准位置进行滑动后的滑动位置上， 其中，在所述基底板上，多个吸附孔作为基底板侧吸附孔被设置，在所述部件对面板上，多个吸附孔作为部件对面板侧吸附孔被设置， 所述基底板侧吸附孔以预定的配置被设置在所述基底板上， 所述部件对面板侧吸附孔由复数个的基准吸附孔及追加吸附孔所构成， 所述复数个的基准吸附孔被设置为当所述部件对面板位于所述基准位置时，与所述基底板侧吸附孔中的全部的吸附孔或所述基底板侧吸附孔中的预定的吸附孔相对向， 所述追加吸附孔在所述部件对面板的预定区域中被设置在沿着该部件对面板的滑动方向相邻的基准吸附孔之间， 当所述部件对面板位于所述基准位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成基准吸附区域， 当所述部件对面板位于所述滑动位置时，通过所述基准吸附孔与被设置在和该基准吸附孔同位置上的所述基底板侧吸附孔相对向，从而在所述部件对面板上形成具有与所述基准吸附区域不同大小的特定吸附区域， 所述基准吸附孔和所述追加吸附孔在所述部件对面板上被设置为在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与所述基底板侧吸附孔对向的所述基准吸附孔和所述追加吸附孔的个数比该一部分的区域以外的区域更多。3.根据权利要求1或2所述的平板状部件吸附装置，其特征在于，还具有: 定位部，分别在当所述部件对面板位于所述基准位置时、及当所述部件对面板位于所述滑动位置时，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。4.根据权利要求3所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，所述定位部具有: 基底板侧定位孔，被设置为贯通所述基底板； 复数个的部件对面板侧定位孔，被设置在所述部件对面板上，当所述部件对面板位于所述基准位置或所述滑动位置时，在该基准位置和该滑动位置上分别与所述基底板侧定位孔对向；以及 定位针，可插入所述基底板侧定位孔及与该基底板侧定位孔对向的所述部件对面板侧定位孔。5.根据权利要求3所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，所述定位部具有: 驱动装置，用于使得所述部件对面板进行所述滑动；以及 控制装置，控制该驱动装置， 通过由所述控制装置来控制所述驱动装置，将所述部件对面板定位在所述基准位置或所述滑动位置上。6.根据权利要求1所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，所述基准吸附孔和所述追加吸附孔在所述部件对面板上被设置为在所述基准吸附区域和所述特定吸附区域中的一部分的区域中，与所述基底板侧吸附孔对向的所述基准吸附孔和所述追加吸附孔的个数比该一部分的区域以外的区域更多。7.根据权利要求2或6所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，所述一部分的区域为与所述平板状部件的一侧的端部侧相对向的区域。8.根据权利要求1?7中任一项所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，平板状部件为片状部件。9.根据权利要求8所述的平板状部件吸附装置，其特征在于: 其中，片状部件为覆盖薄膜。
【专利摘要】本发明提供一种不使得平板状部件吸附装置整体的结构变得庞大，便能通过简单的操作来形成与平板状部件的尺寸相对应的吸附区域的平板状部件吸附装置。本发明的平板状部件吸附装置具有与基底板210层叠，且可被设在基准位置和滑动位置上的部件对面板220，在基底板210上设有基底板侧吸附孔211，在部件对面板220上设有部件对面板侧吸附孔221，部件对面板侧吸附孔221由基准吸附孔221a和设在基准吸附孔之间的追加吸附孔221b、追加吸附孔221c构成，当把部件对面板220设在基准位置时基准吸附孔221a与基底板侧吸附孔211对向从而形成基准吸附区域，当设在滑动位置时，例如，追加吸附孔221b与基底板侧吸附孔211对向从而形成具有与基准吸附区域不同大小的特定吸附区域。
【IPC分类】H05K13/02, B23Q3/06
【公开号】CN105472958
【申请号】CN201510617417
【发明人】河东和彦, 羽生慎一, 河东稜介
【申请人】倍科有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年9月24日