该部件对面板220上形成的吸附区域的模式图。
[0098]如图5所示，当部件对面板220相对于基底板210位于第二滑动位置Pc时，设置在部件对面板220上的各个基准吸附孔221a及第一追加吸附孔221b位于从设置在基底板210上的各个基底吸附孔211 (用虚线表示)偏离的位置上，而作为第二段的追加吸附孔存在的第二追加吸附孔221c(用黑色的圆形表示)与基底板210的各个基底吸附孔211中的、和该第二追加吸附孔221c同位置存在的基底吸附孔211对向。
[0099]因此，第二追加吸附孔221c(用黑色的圆形表示)、与该第二追加吸附孔221c同位置存在的基底吸附孔211为贯通状态。所以，此时的吸附区域为图5中用一点虚线表示的矩形的区域Ac，该矩形的区域Ac (称为吸附区域Ac)为比部件对面板220中的特定吸附区域Ab (参考图4)更小的区域。另外，为了将吸附区域Ac也与基准吸附区域Aa相区别，有时也标记为“特定吸附区域Ac”。
[0100]另外，在部件对面板220相对于基底板210位于第二滑动位置Pc的情况下，第二滑动位置用定位孔220c与基底板210的基底定位孔210a对向。在此种状态下，通过将定位针410 (参考图1)从基底板210的基底定位孔210a插入，该定位针410贯通基底板210的基底定位孔210a并被插入到部件对面板220的第二滑动位置用定位孔220c中。
[0101]从而，部件对面板220相对于基底板210被正确地定位在第二滑动位置Pc上，各个第二追加吸附孔221c (用黑色的圆形表示)、与该第二追加吸附孔221c同位置存在的基底板210的基底吸附孔211相互正确地对向，并且两者的对向关系能够被保持。
[0102]在此种状态下，通过将平板状部件吸附装置10的部件对面板220配置为特定吸附区域Ac与和特定吸附区域Ac几乎相同尺寸或尺寸稍大的平板状部件(例如，覆盖薄膜)对面，来吸附该平板状部件，从而能够不产生来自吸附板200 (基底板210和部件对面板220)的各个吸附孔的吸附泄露，将该平板状部件切实地吸附。
[0103]如以上的说明，根据实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10，使得吸附板200由基底板210及相对于该基底板210可滑动的部件对面板220所构成，只是进行将部件对面板220相对于基底板210设定在基准位置Pa、或第一滑动位置Pb、或第二滑动位置Pc中的任意一种，就能够形成大小不同的吸附区域。
[0104]S卩、在把部件对面板220设定在基准位置Pa的情况下，能够形成与基底板210的吸附区域AO相同的吸附区域(基准可能区域Aa)。而在把部件对面板220设定在第一滑动位置Pb的情况下，能够形成比基底板210的吸附区域AO小的特定吸附区域Ab，在把部件对面板220设定在第二滑动位置Pc的情况下，能够形成比特定吸附区域Ab更小的特定吸附区域Ac。这样，即使在对比具有适合实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10原本所具有的吸附区域(这时为基底板210的吸附区域A0)的尺寸的平板状部件的尺寸小的平板状部件进行吸附的情况下，也能够不产生吸附泄露而将该小尺寸的平板状部件吸附。
[0105]并且，在实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中，设有在将部件对面板220设定并使其滑动到基准位置Pa、第一滑动位置Pb、第二滑动位置Pc中的任意一种时，用于进行该部件对面板220的定位的定位部400。
[0106]当部件对面板220位于基准位置Pa时，由于基底板210的基底定位孔210a与部件对面板220的基准位置用定位孔220a对向，因此定位部400能够将部件对面板220正确地定位在基准位置Pa。
[0107]并且，当部件对面板220位于第一滑动位置Pb时，由于基底板210的基底定位孔210a与部件对面板220的第一滑动位置用定位孔220b对向，因此定位部400能够将部件对面板220正确地定位在第一滑动位置Pb。
[0108]并且，当部件对面板220位于第二滑动位置Pc时，由于基底板210的基底定位孔210a与部件对面板220的第二滑动位置用定位孔220c对向，因此定位部400能够将部件对面板220正确地定位在第二滑动位置Pc。
[0109]因此，在形成吸附区域Aa、Ab、Ac中的任意一种时，能够在各自的吸附区域Aa、Ab、Ac中保持相互对向的吸附孔之间的对向关系。这样，在进行吸附动作时，部件对面板220的各个吸附孔221与基底板210的各个基底吸附孔211的对向关系也不会被破坏，能够长时间地进行恰当的吸附动作。
[0110][实施方式二]
[0111]在上述的实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中，部件对面板220的吸附孔221 (基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)在部件对面板220上形成的吸附区域Aa、Ab、Ac中，与存在于各个吸附区域Aa、Ab、Ac中的基底板210的各个基底吸附孔211分别对向地被设置在部件对面板220上。但是，部件对面板220的吸附孔221也可以相对于存在于各个吸附区域Aa、Ab、Ac中的基底板210的各个基底吸附孔211以间隔被拉大的状态被设置在部件对面板220上。
[0112]在此种情况下，可以是在每个形成在部件对面板220上的吸附区域Aa、Ab、Ac中，在该吸附区域(例如指定为基准吸附区域Aa)中相对于存在于该基准吸附区域Aa中的基底板210的各个基底吸附孔211，将部件对面板220的吸附孔221拉大间隔设置，另外，也可以仅在该基准吸附区域Aa中的一部分区域(后述)以外的区域中，将部件对面板220的吸附孔221拉大间隔设置。
[0113]在实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20中，对于仅在各个吸附区域Aa、Ab、Ac中的一部分区域(后述)以外的区域中，将部件对面板220的吸附孔221拉大间隔设置的情况进行说明。
[0114]对于实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20，基本的外观结构与实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10相同(参考图1)。在实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20中，部件对面板220的吸附孔221 (基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)的配置方式与实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10不同。另外，在用于说明实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20的各图中，对与实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10相同的构成要素付与相同的符号。
[0115]图6是显示用于说明构成实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20的吸附板200的基底板210和部件对面板220的模式图。图6 (a)是基底板210的俯视图，图6 (b)是部件对面板220的俯视图。
[0116]另外，由于实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20中的基底板210与实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10的基底板210的结构相同，因此省略对其的说明。而对于实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20中的部件对面板220，其吸附孔221 (基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)的配置方式与实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10不同。另外，将实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20中的部件对面板220标记为“部件对面板220' ”来进行说明。
[0117]另外，对于实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20，是将实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中的部件对面板220作为部件对面板220'。因此，只要使得实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中的部件对面板220相对于基底板210可自由装卸，仅将部件对面板220替换为部件对面板220'，就能够实现实施方式二涉及的平板状部件吸附装置20的结构。
[0118]部件对面板220'如图6(b)所示，该部件对面板220'的吸附孔(基准吸附孔221a、第一追加吸附孔221b及第二追加吸附孔221c)在该部件对面板220'中的一部分的区域SO(为图6(b)的左端侧的区域)中，被设置为与基底板210的基底吸附孔211分别对应，而在该一部分的区域SO以外的区域内，被设置为相对于基底板210间隔被拉大。另外，以下将“一部分的区域S0”称为“部分区域S0”。
[0119]图7是显示用于说明部件对面板220'位于基准位置Pa时在该部件对面板220'上形成的吸附区域的模式图。在这种情况下，通过基准位置用定位孔220a被插入定位针410，部件对面板22(V被定位在基准位置Pa。
[0120]如图7所示，当部件对面板22(V位于基准位置Pa时，设置在部件对面板22(V上的各个基准吸附孔221a与设置在基底板210上的各个基底吸附孔211 (用虚线表示)中的、和各个基准吸附孔221a同位置存在的基底吸附孔211对向。
[0121]因此，各个基准吸附孔221a、与各个基准吸附孔221a同位置存在的基底吸附孔211为贯通状态。所以，形成在部件对面板220'上的吸附区域为图7中用一点虚线表示的矩形的区域Aa，该矩形的区域Aa(基准吸附区域Aa)如在实施方式一涉及的平板状部件吸附装置10中说明的那样，具有与基底板210中的吸附区域AO相同的大小。
[0122]这里，在位于图7所示的基准吸附区域Aa的右端侧的一部分的区域Sa(图6(b)中的与部分区域SO对应的区域)中，部件对面板220'的基准吸附孔221a被设置为与存在于该一部分的区域Sa(以下称为部分区域Sa)中的基底板210的各个基底吸附孔211分别对应。因此，当部件对面板220'位于基准位置Pa时，在该部分区域Sa中，部件对面板220'的各个基准吸附孔221a与基底板210的各个基底吸附孔211分别对向。
[0123]而在基准吸附区域Aa的部分区域Sa以外的区域中，部件对面板220'的各个基准吸附孔221a被设置为相对于基底板210的基底吸附孔211间隔被拉大。因此，当部件对面板220'位于基准位置Pa时，在该部分区域Sa以外的区域中，部件对面板220'的基准吸附孔221a仅与基底板210的各个基底吸附孔211中的、与部件对面板22(V的基准吸附孔221a同位置存在的基底吸附孔211对向。
[0124]图8是显示用于说明部件对面板22(V位于第一滑动位置Pb时在该部件对面板220'上形成的吸附区域的模式图。在这种情况下，通过定位针410被插入第一滑动位置用定位孔220b，部件对面板220'被定位在第一滑动位置Pb。
[0125]如图8所示，当部件对面板22(^位于第一滑动位置Pb时，设置在部件对面板220'上的各个第一追加吸附孔221b与设置在基底板210上的各个基底吸附孔211 (用虚线表示)中的、与各个基准吸附孔221a同位置存在的第一追加吸附孔221b对向。